本发明专利申请是申请日为2016年10月21日、申请号为201680056814.4、发明名称为“用于控制可转移半导体结构的释放的结构及方法”的发明专利申请案的分案申请。优先权申请本申请案主张2015年11月20日提出申请的标题为“用于控制可转移半导体结构的释放的系统及方法(Systemsand...

本发明涉及微流道的设计与加工，尤其是涉及一种亲疏水性可控的微流道加工方法。随着微机电系统(Micro-electro-mechanicalSystem，MEMS)技术的迅猛发展，诸如微流道散热器、微泵、微阀、微混合器、微喷嘴、微生物芯片等微流体器件的应用越来越广泛。在这些器件中，微流道是...

本发明涉及半导体，具体涉及一种MEMS器件及其制备方法。MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem，微机电系统)技术是指一种可将机械构件、驱动部件、光学系统、电控系统集成为一个整体的微型系统，它用微电子技术和微加工技术(如硅体微加工、硅表面微加工、晶片...

本发明涉及半导体，具体涉及一种MEMS器件及其制备方法。MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem，微机电系统)技术是指一种可将机械构件、驱动部件、光学系统、电控系统集成为一个整体的微型系统，它用微电子技术和微加工技术(如硅体微加工、硅表面微加工、晶片...

本公开涉及一种半导体封装及其制造方法，且涉及一种包含衬底以及微机电装置的半导体封装及其制造方法。在制造与微机电装置集成的封装的比较性工艺中，可使用特定材料，例如LiNbO3或LiTaO3。然而，可能难以将由LiNbO3或LiTaO3形成的封装与其它硅基封装集成，这可能会产生关于结构性强...

本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种基于零维欧姆接触的硅基纳米线量子点的装置。随着半导体微纳加工工艺的不断发展，芯片器件一方面不断提高集成度，另一方面不断缩小单个处理器件单元的尺度。目前，商用的芯片已经进入几纳米的量级。并且研究者已经在实验室制备出可精确调控载流子隧穿的门型电控栅极量子点...

本实用新型涉及芯片的封装结构，更具体地，本实用新型涉及一种可防攀爬的封装结构；本实用新型还涉及一种电子设备。MEMS芯片的封装结构通常包括具有一端开口的壳体以及连接在壳体开口端的电路板，所述电路板将壳体的开口端封闭住，从而形成了MEMS芯片的外部封装结构。在现有的封装工艺中，壳体通过锡焊接...

本实用新型涉及InGaN纳米柱领域，特别涉及生生长在Ti衬底上的InGaN纳米柱。氢能具有能量密度高、可循环利用和绿色环保等优点，在国防科技、航天航空、工业生产中已经大量运用。作为一种理想的能源载体，氢可以通过燃烧产生动力(如氢燃气轮机、氢汽车发动机等)，也可以通过氢燃料电池等方式驱动各类...

本实用新型涉及微电子器件及其制备，特别涉及一种集成CMOS加MEMS热膜结构微加热器。目前，现有的微加热器制备工艺主要采用正面或背面体硅刻蚀工艺。微加热器MEMS的器件与CMOS/ASIC等读出电路的连接方式主要通过引线键合wire-bonding的封装技术。该工艺制备的微加热器...

本实用新型属于微机电系统封装领域，具体是一种MEMS惯性传感器封装用陶瓷外壳。MEMS技术开辟了微型化、集成化的新和产业，而其封装好坏关系到器件性能的优劣，同时封装成本过高也会降低MEMS器件的市场竞争力。MEMS中一些可动部分或悬空结构、硅杯空腔、梁、沟、槽、膜片，甚至是流体部件...

本发明涉及纳米技术研究领域，尤其涉及一种金属纳米颗粒点阵的制备方法。当金属颗粒材料的三维尺度进入纳米量级以后，由于特殊的表面效应和量子尺寸效应，表现出诸多与传统材料不同的化学物理特性，如：极大的比表面积、超顺磁性、量子隧道效应以及库仑阻塞效应，因此被广泛地应用于光电、磁电、气体传感和催化等...

本发明涉及真空微电子技术与微纳加工制备的交叉领域，更具体地，涉及一种基于MEMS的电离真空计及其制备方法。传感器是一种在工业以及研究领域极其重要的硬件。依托于微电子技术与计算机技术的发展，使用传感器可以更好地获取与处理信息。因而传感器技术成为在社会、工程、科研领域中不可或缺的重要技术。气压...

本发明涉及质谱仪，更具体地说，特别涉及一种微尺度飞行时间质谱仪。过去十年中，分析系统小型化发展较为迅速，突破传统的庞杂结构，使得新的设备和技术能够在现场进行环境勘探，深空探索或国土安全应用。随着微电子机械系统(MEMS)制造方法的不断发展完善，很多元件都向着更小的数量级发展。近年来...

本发明涉及流体散热，尤其涉及一种惯性导航模块散热装置。陀螺仪(又称角运动检测器)是一种利用角动量守恒特性获取运动物体精确方位的仪器，它是现代航空航天和国防工业中广泛使用的一种惯性导航备件，其在现代无人机或反无人机的飞控系统中被广泛应用，具有十分重要的战略意义。一般来说，陀螺仪和加速...

本发明涉及微机电和光学检测领域，具体涉及一种基于双光栅检测的微机电陀螺仪及其加工封装方法。微机电陀螺仪是采用MEMS加工技术制造的测量物体运动角速度的关键器件，它是基于哥氏效应，通过敏感模态和检测模态之间的切换，来实现角度的测量。光栅检测技术是一门新兴的技术，通过光的衍射条纹的变化进行检测...

本发明涉及一种原子气室及其制备方法，特别是涉及一种纵向双腔原子气室及其制备方法。原子气室作为原子钟与原子陀螺仪的核心部件，其设计与制造技术会直接影响原子钟与陀螺仪的性能。为了获得气密性好、气体纯度高、体积小的原子气室，各国研究人员们做出了各种尝试与设计。随着MEMS加工技术的发展，原子气室...

本发明涉及RF-MEMS器件制造，特别是指一种RF-MEMS开关复合牺牲层制备方法。RF-MEMS（RF即RadioFrequency，射频；MEMS即Micro-Electro-MechanicalSystem，微机电系统）开关因具有低损耗、高隔离度、可集成、微型化等优势，被...

本发明属于纳微结构制备，具体涉及一种具有电磁场增强性能的连续月牙型纳微结构及其制备方法。背景方法等离子体纳微结构吸引了众多的注意力，因为它能在纳米尺度上限域光，可以在表面增强光谱[1-3]、生物传感器[4-6]、非线性光学[7-9]等应用中发挥巨大的作用。当纳微结构引入不对称性因素时，相比...

本发明属于柔性电子相关，更具体地，涉及一种仿生柔性力传感器及其制备方法。随着物联网和机器人技术的发展，人类对于人机交互提出了更高的要求，推动柔性电子技术诞生并迅速发展，这项技术在电子皮肤、人机交互界面、生理信号检测等方面发挥着重要的作用。对比于传统的硅基电子，柔性电子产品在不同种类...

本发明涉及一种金刚石表面复杂结构及其制备方法。由于金刚石具有极高的硬度、热导率、绝缘性、光透过率，以及耐酸、耐热、耐辐射等优异的物理、化学性能，被广泛地应用于工业、科研等各领域。同时由于金刚石极高的硬度以及化学稳定性，在金刚石表面制备微纳米结构非常困难。目前，金刚石表面微纳米结构制备目前通...