本发明涉及微流控芯片加工，具体涉及一种新型PDMS微流控芯片键合方法。目前的PDMS芯片键合通常是采用PDMS与玻璃进行键合的方式进行，PDMS与玻璃之间的键合通常对于玻璃的材质有要求且对玻璃表面的洁净程度要求很高，如果玻璃材质变化或者玻璃表面洁净程度不够均会导致键合强度不够从而漏...

本发明涉及纳米材料领域，具体涉及阳极氧化铝膜表面纳米阵列的形貌及在纳米限域空间里控制其形貌生长的方法、应用。自20世纪90年代提出了纳米孔DNA测序的猜想，而孔径稳定，物化性能良好的固态纳米孔道成为生物物理和生物化学研究的研究对象。通过孔道内部修饰，功能化后的固态纳米孔道，在研究生物大分子...

本发明涉及医疗器械，具体地涉及一种触诊探头及其制造方法。MEMS传感器可以用于乳腺触诊融合超声检查，将MEMS传感器与探头基座之间的连接封装会直接影响到触诊探头的制作难度、封装的可靠性、抗干扰性能以及信噪比等方面。例如，在将MEMS传感器封装在印刷电路板上时，可以采用自由形状的点胶...

本发明属于微电子机械系统领域，特别是涉及一种微热导检测器及其制作方法。热导检测器是气相色谱仪的一种重要的检测器，这种检测器只对被检测气体的浓度敏感，几乎对所有气体都响应。传统的气相色谱仪热导检测器一般采用不锈钢或陶瓷加工而成，体积大、重量重，功耗大、更重要的是由于加工技术制约，传统热导检测...

本发明涉及一种在中性水溶液中表现为两侧表面带异种电荷的全无机纳米流体二极管的制备方法。该纳米流体二极管具有离子整流效应，而且整流性能可以通过电解质溶液pH值进行调控。属于功能材料。仿生人工纳米流体二极管具有类似于生物体离子通道的离子整流特性，并且其环境稳定性和功能化程度通常优于生物...

本发明属于微型机械电子系统，特别涉及一种基于压电陶瓷的MEMS微结构四轴式底座激励装置。由于MEMS微器件具有成本低、体积小和重量轻等优点，使其在汽车、航空航天、信息通讯、生物化学、医疗、自动控制和国防等诸多领域都有着广泛的应用前景。对于很多MEMS器件来说，其内部微结构的微小位移...

本发明属于微型机械电子系统，特别涉及一种用于MEMS微结构动态特性测试的三轴式激振装置。由于MEMS微器件具有成本低、体积小和重量轻等优点，使其在汽车、航空航天、信息通讯、生物化学、医疗、自动控制和国防等诸多领域都有着广泛的应用前景。对于很多MEMS器件来说，其内部微结构的微小位移...

本发明涉及微机电系统(MEMS)器件领域，尤其涉及一种微机电系统的三维隧道结构的制备方法。技术背景微电子机械系统(MEMS)是一项多学科交叉的高新技术，为各学科的发展开辟了新的领域。MEMS可以应用在许多不同的领域，例如通信、生物、光学能源等。其中流体是MEMS领域重要的基础科学和应用方向，...

本发明涉及一种多孔硅基底表面修饰的方法，具体地说，是通过对多孔硅基底表面进行修饰使该表面成为一种结合有特定疾病抗体的超疏水生物功能表面，利用其超疏水性和生物功能该材料可用来快速检测待测样品中是否含有特定的疾病抗原。硅材料在作为生物传感器、生物芯片等研究中有广泛的应用，可以用来作为生物传感器...

本发明属于微型机械电子系统，特别涉及一种可动态驱动MEMS微结构的四轴式激励装置。由于MEMS微器件具有成本低、体积小和重量轻等优点，使其在汽车、航空航天、信息通讯、生物化学、医疗、自动控制和国防等诸多领域都有着广泛的应用前景。对于很多MEMS器件来说，其内部微结构的微小位移和微小...

本实用新型属于实验用具，尤其涉及一种阳极键合装置。直接提高键合电压能提高静电力，但受到埋氧层击穿电压的限制，静电键合的电压一般不超过1000V。T.R.Anthony认为阳极键合最好的电压方式是直流电压与交流电压同时存在，键合的静电力随交流电压的频率变化。太原理工大学孟教授等认为，...

本公开涉及一种MEMS设备和微流体设备，该MEMS设备包括体积减少的压电致动器。众所周知，目前有许多MEMS设备可用，每个MEMS设备均包含一个或多个压电致动器。例如，代表本申请人于2016年11月23日提交的、与美国申请序列号15/601,623相对应的意大利专利申请号102016000...

本发明提出一种DNA导电薄膜的制备方法及其产品和应用，未来可应用于医疗电子和光子学设备等领域。由于以硅为主导的半导体技术已经接近其物理极限，因此，对于新技术、新材料的探索从未停止。测定一种材料导电性能的主要方法通常是施加外加电压。在许多情况下，电场效应通过改变半导体中载流子的浓度来改变其中...

本发明属于MEMS芯片，特别是涉及一种MEMS晶圆芯片的分离方法。微机电系统(MEMS，Micro-Electro-MechanicalSystem)是一种集微电子技术和微加工技术于一体的系统，MEMS技术可将机械构件、驱动部件、电控系统、数字处理系统等集成为一个整体的微型单元，...

本发明涉及MEMS(微机电系统)技术，更具体地，涉及MEMS结构、MEMS组件及其制造方法。MEMS(微机电系统)是采用光刻和蚀刻等工艺在半导体衬底上形成的微型系统。MEMS结构内部包括空腔、电极等微结构，已经衍生出多种类型的产品，包括加速度计、压力传感器、湿度传感器、指纹传感器、陀螺仪、...

本发明属于纳米压印，具体涉及一种调控金属互连线各向异性收缩率的方法。当今，微纳金属互连线在半导体集成电路、太阳能电池、主动矩阵显示器件、超材料微纳结构等领域具有广泛而重要的应用，互连线材料从铝基互连到目前常用的铜基互连，都在推动着相关技术产业快速发展。然而，伴随着集成电路特征线宽的...

本发明涉及微纳电子加工、MEMS及压力测量领域，尤其涉及一种浓硼掺杂硅纳米线压阻式MEMS压力传感器的制备方法。在体硅中扩散或注入，形成p-n结隔离的压阻条，已被广泛使用在多种传感器中。基于压阻效应的MEMS压力传感器，是MEMS技术在传感器领域应用最成功的器件之一。硅压阻式MEMS压力传...

本发明涉及一种半导体制造方法，具体涉及一种硅球面微凸块刻蚀方法。MEMS传感器已经广泛应用于众多电子产品中。有的MEMS传感器需要设计固定角度的坡面硅衬底，由于角度要求误差小，这种结构的MEMS传感器的加工工艺目前还不成熟。为了得到某一固定坡面角度，一种已知的工艺是先得到一定的光刻胶的坡面...

本发明涉及自动化监测、控制领域，尤其涉及一种电离式传感器的制造方法。传感器广泛应用于航天、航空、国防、科技和工农业生产、环境监控等各个领域中，根据监控对象、以及对监测自动化、智能化要求的不同，对作为监测信号转换基础器件的传感器提出了更高的要求，如用于室内环境控制的信号转换反馈节点的气体传感...

本发明主要涉及压力测量，特指一种用于电涡流微压传感器的薄膜片及其制备方法。目前的电涡流微压传感器中，敏感膜片采用金属波纹膜片，当差压作用在金属波纹膜片上时，膜片中心会上下移动，与电涡流激励线圈距离发生变化，距离变化最终被转换为电信号的变化。该方法利用的是金属波纹膜片作为敏感元件，但...