微观装置的制造及其处理技术
  • 用于微机电系统MEMS传感器器件封装的混合电流连接系统的制作方法
    本公开一般涉及微机电系统(MEMS)封装,并且更特别地,涉及具有混合电流连接系统的MEMS传感器器件封装。发明内容下面阐述了在此公开的特定实施例的概述。应当理解的是,这些方面仅仅是为了向读者提供这些特定实施例的简要概述而呈现的,并且这些方面并不意图限制本公开的范围。实际上,本公开可以涵盖可能未在下...
  • 基于可编程纳米线为模板实现大面积石墨烯纳米带阵列的制备方法与流程
    本发明涉及一种基于可编程纳米线为模板实现大面积石墨烯纳米带阵列的制备方法,实现了仅利用光刻技术,制备大面积、形貌可编程调控、纳米级石墨烯条带阵列,该技术可应用于图形化定义任意薄膜材料,且兼具电子束曝光纳米级精度与紫外光刻技术大面积定义的优势。本发明提供了一种获得大面积石墨烯纳米带阵列及逻辑阵列的可...
  • 两转动一平动大行程无耦合并联压电微动平台的制作方法
    本发明属于纳米定位,涉及纳米定位系统中的微位移机构,特别涉及一种两转动一平动大行程无耦合并联压电微动平台。压电微动平台是一种通过压电执行器驱动可产生弹性变形的柔性机构来传递位移与力的微位移机构。由于它没有铰链和轴承,所以不需要装配,不存在传动间隙,不产生摩擦与磨损;由于采用压电执行...
  • 一种动态特性测试的激波底座激励装置及其工作方法与流程
    本发明涉及一种动态特性测试的激波底座激励装置及其工作方法,属于微型机械电子。由于MEMS微器件具有成本低、体积小、重量轻、集成度高和智能化程度高等一系列特点,目前已经在汽车、航空航天、信息通讯、生物化学、医疗、自动控制、消费品及国防等很多领域都得到广泛的应用。在设计和开发MEMS时...
  • 一种平板式三维大行程纳米操作平台的制作方法
    本发明涉及一种纳米操作平台,特别是一种平板式三维大行程纳米操作平台。随着科学的发展和技术的进步,在宏观尺度下技术已经相对成熟的加工和操作,在微纳领域也在经历快速的发展,比如生物医疗领域的细胞和组织操作、半导体领域的三维图案加工与表征等。在这些应用领域内,具有纳米级精度的操作平台是其中的核心...
  • MEMS器件及其制造方法与流程
    本发明涉及半导体器件领域,更具体地,涉及一种MEMS器件及其制造方法。在微机电系统(MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem)材料表面制备出单或者多分子层的超薄膜可以在不降低其承载能力的情况下,显著降低MEMS材料表面的摩擦系数,甚至出现超滑状态,是解决ME...
  • 表面增强拉曼散射基底、制备方法及3D富集与检测方法与流程
    本发明涉及表面增强拉曼散射检测,尤其涉及一种表面增强拉曼散射基底、制备方法及3D(即三维)富集与检测方法。拉曼散射光谱检测技术是一种不需要对待检测样品进行标记的物质结构分析手段,具有非破坏性、无需接触等特点。随着激光技术和弱信号探测接收技术的发展,作为一种可实现物质结构分子水平检测...
  • MEMS芯片结构及制备方法、掩膜版、器件与流程
    本发明涉及半导体,具体涉及一种MEMS芯片结构及其制备方法,以及掩膜版、MEMS器件。传统的MEMS芯片包括扫描微镜和扫描平台。并且在MEMS芯片结构外围设置外围电路板,外围电路是与MEMS芯片结构相电连的,外围电路包括控制器电路等。MEMS芯片结构中,扫描微镜耦合于扫描平台。扫描...
  • 一种焊料隔离结构以及电子器件的制作方法
    本发明涉及晶圆级封装,特别是涉及一种焊料隔离结构以及电子器件。由于各种半导体MEMS器件晶圆级真空封装与传统的金属封装、陶瓷封装相比具有封装结构简单、体积小、成本低、真空寿命长等特点,MEMS行业封装形式已经开始向晶圆级封装转变,晶圆级封装最关键的技术是晶圆级键合。一般而言,晶圆级...
  • 超导集成电路的制作方法
    相关申请的交叉引用本申请根据美国专利法35U.S.C.119(e)要求于2009年2月27日提交的名称为“SystemsandMethodsforFabricationofSuperconductingIntegratedCircuits”的美国临时专利申请序列号61/156,37...
  • 纳米尖锥状聚合物阵列的简易制备方法及SERS应用与流程
    本发明涉及一种纳米尖锥状聚合物阵列的简易制备方法及SERS应用。自1974年表面增强拉曼散射(SERS)效应被发现以来,已经广泛应用于食品安全检查、成分分析及单分子检测等领域,成为一种快速、准确、无痕的表面分析检测技术。制备具有高SERS活性的基底是该的研究热点,其主要困难在于构建...
  • 透射电镜和压电力显微镜通用的氮化硅薄膜窗口制备方法与流程
    本发明属于半导体加工领域,涉及一种透射电镜和压电力显微镜通用的氮化硅薄膜窗口制备方法。透射电子显微镜(TransmissionElectronMicroscope,TEM)用电子束作为光源,用电磁场作为透镜,通过电子与样品的相互作用来获得材料的结构信息,分辨率可达亚埃量级,是...
  • 一种加载高温环境的激波聚焦激励装置及其工作方法与流程
    本发明涉及一种加载高温环境的激波聚焦激励装置及其工作方法,属于微型机械电子。由于MEMS微器件具有成本低、体积小、重量轻、集成度高和智能化程度高等一系列特点,目前已经在汽车、航空航天、信息通讯、生物化学、医疗、自动控制、消费品及国防等很多领域都得到广泛的应用。在设计和开发MEMS...
  • 一种植入式器件及其封装方法与流程
    本发明涉及微纳制造,具体涉及一种植入式器件及其封装方法。封装技术在植入式器件中起着举足轻重的作用,甚至可以说,没有适当的封装技术,就不会有临床应用的植入式器件。在所有的植入式器件中,包括一大类具有可动结构的植入式器件,如机械量传感器、执行器等,因具有可动结构,使得这一大类植...
  • 盖板结构及其制作方法、电容式传感器与流程
    本公开属于微机电器件设计与制造,涉及一种盖板结构及其制作方法、电容式传感器。微机电器件(MEMS器件)封装,是将可动结构密封于腔室内,为可动器件提供支撑和保护,同时能够连通密封腔室内外的电学信号,用于驱动或检测微机电器件的动作。因此微机电器件的封装必须同时保证封装的气密性和封装腔室...
  • 一种基于双梯度锥形孔阵列的复合结构膜及其制备方法与流程
    本发明涉及一种基于复合结构膜及其制备方法。随着人口的持续增长和淡水资源的日益短缺,如何快速的获取淡水资源成为科研人员面临的难题。空气中淡水资源可以经过大气环流进行源源不断的补充,是用之不竭的淡水来源。受到自然界一些生物身体表皮结构的启发,利用材料对水的润湿性从空气中收集水分吸引了人们的注意...
  • 一种立体构造石墨烯纳米发电装置及其制备方法与流程
    本发明涉及纳米能源领域,特别涉及一种立体构造石墨烯纳米发电装置及其制备方法。能源危机以及超微移动电子设备的特殊供电需求已经成为限制人类发展、影响人们生活品质的重要因素,研究先进的能量转换技术意义重大。近年随着科学技术的不断进步,纳米发电技术得到快速发展。针对环境中的不同能源,科学家们提出了...
  • 用于电化学感测、电容感测和场发射感测的基于纳米结构阵列的传感器的制作方法
    本发明要求2016年3月30日提交的美国临时申请号62/315,609的优先权,其全部内容通过引用并入本文。发明领域本发明涉及一种电气器件,其包括呈阵列的单独可寻址的纳米结构,用于使用电化学光谱、电容和场发射技术来感测分析物。所述器件可用来操纵、监测和检测细胞。所述器件还可用作高分辨率电化学相机。...
  • 用于制造微机械传感器的方法与流程
    本发明涉及一种用于制造微机械传感器的方法。用于测量加速度和转速的微机械惯性传感器针对在汽车和消费领域中的不同应用批量生产地制造。尤其在惯性传感装置的领域中越来越多地使用所谓的垂直集成、或混合集成或3D集成的方法。在这些制造方法中使至少一个MEMS晶片和分析处理ASIC晶片通过晶片键合方法相...
  • 具有膜片的微机械构件、用于这种构件的制造方法和用于运行压力传感器的方法与流程
    本发明涉及一种微机械构件、一种麦克风和一种压力传感器。本发明同样涉及用于微机械构件的制造方法。此外,本发明涉及一种用于运动压力传感器的方法。在DE102014200500A1中描述了微机械压力传感器设备和用于制造这种微机械压力传感器设备的制造方法。微机械压力传感器设备具有带着结构...
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