印刷基板检查装置以及检查方法_3

文档序号:9563503阅读:来源:国知局
图案E1?E4中的某1个,每次使第2连接装置15的所有切换开关B1?B4同时动作,通过测量电路16检测此时的电位的变化,从而,逐一检查导电图案El、E2、E3或者E4的导通状态。
[0088]另外,也可以是下述情况,S卩,在检查印刷基板1的导电图案E1?E4是否全部是合格品的情况下,将第1连接装置的所有切换开关A1?A4同时闭合,然后,使第2连接装置15的所有切换开关B1?B4同时动作,通过测量电路16检测此时的电位的变化。上面所述的内容对于后面所述的第2?第5实施例也是相同的。
[0089][第2实施方式]
[0090]图8以及图9表示第2实施方式的印刷基板检查装置31,在该印刷基板检查装置31中,在第2探头P5?P8与第2连接装置15的各切换开关B1?B4之间分别设置有具有规定的电容的电容器C1?C4。
[0091]在该第2实施方式中,除此以外的其他结构与第1实施方式相同,因此,标注相同的标号并省略说明。另外,该第2实施方式的印刷基板检查装置31所实现的印刷基板检查方法与图3所示的第1实施方式的情况相同,对于第1探头P1?P4的电位随时间的变化状态,虽然其绝对值等不同,但是,与图4?图7所示的第1实施方式的情况相同,因此,省略其说明。后面的各实施方式中也同样地对与前面的实施方式相同的部分标注相同的标号,简化说明。
[0092]在第1实施方式中,通过包含杂散电容在内的配线部本身所具有的电容,产生第2连接装置15的动作时的电位变化,但是,在第2实施方式中,能够通过在第2探头P5?P8与第2连接装置15之间设置具有规定的电容的电容器C1?C4,从而,增大使第2连接装置15动作时的电容的变化,能够与之对应地使电位变化量变大,实施更加准确的检查。
[0093][第3实施方式]
[0094]图10以及图11表示第3实施方式的印刷基板检查装置41,在前述的第2实施方式中,在第2探头P5?P8与第2连接装置15的各切换开关B1?B4之间分别设置有电容器C1?C4,相对于此,在该印刷基板检查装置41中,在第2连接装置15的各切换开关B1?B4与恒流源12的基准电位之间分别设置具有规定的电容的电容器C5?C8。仅设置这些电容器C5?C8的位置与第2实施方式不同,其他结构与第2实施方式相同。
[0095]由此,在该第3实施方式中,能够通过设置在第2连接装置15与恒流源12的基准电位之间的电容器C5?C8,从而增大使第2连接装置15动作时的电容的变化,电位变化量变大,实施更加准确的检查。
[0096]此外,也可以是下述结构,即,将前述的第2实施方式与该第3实施方式组合,在第2探头P5?P8与第2连接装置15的各切换开关B1?B4之间、以及第2连接装置15的各切换开关B1?B4与恒流源12的基准电位之间这两方分别设置电容器C1?C4、C5?C8。
[0097][第4实施方式]
[0098]图12以及图13表示第4实施方式的印刷基板检查装置51。该印刷基板检查装置51是如下结构,即,相对于第1实施方式的印刷基板检查装置11,在第1连接装置14与恒流源12的基准电位之间设置具有切换开关S的第3连接装置23。除此以外的其他结构与第1实施方式的情况相同。
[0099]图14表示使用第4实施方式的印刷基板检查装置51而实现的印刷基板检查方法的流程图。在该流程图中,对与图3的流程图相同的步骤标注相同的标号并简化说明,以不同的步骤为主进行说明。
[0100]另外,图15?图18中示出了第1探头(导体图案的一端)的电位的变化,这些图15?图18与第1实施方式的图4?图7相对应。
[0101]S11:在比时刻T1提前t31的时刻T3,将第3连接装置23设为导通状态。由此,第3连接装置23的切换开关S处于0N状态,在第1连接装置14等的配线部带有电荷的情况下,将该电荷释放。
[0102]S12:在时刻T4,将第3连接装置23设为断开状态(将切换开关S设为OFF),该时刻T4是从时刻T1经过了规定的时间tl4并在时刻T2之前的时刻。在早于该S12的S2中将第1连接装置14设为导通状态,因此,在该S12中,通过将第3连接装置23设为断开状态,从而开始向第1探头P1?P4侧充电,如图15?图18所述,第1探头P1?P4侧的电位上升。
[0103]图15以及图16是使第2连接装置15动作时,第1探头P1?P4的电位上升中途的状态的情况,对于图15所示的情况,在时刻T2电位变化量发生变化,因此进入S5,对于图16所示的情况,在时刻T2电位变化量没有发生变化,因此进入S8。
[0104]图17以及图18是在即将使第2连接装置15动作之前,导体图案E1?E4的一端的电位达到恒流源12的开路电压V。的情况,在如图17所示在时刻T2确认到电位的下降的情况下,进入S7,在如图18所示在时刻T2电位没有变化的情况下,行进至S8。
[0105]在该第4实施方式中,设置有第3连接装置23,由此即使在配线部等的电容部分中带电的情况下,也能够在由第3连接装置23使其放电之后,开始进行检查,因此,能够更加准确地测定第1探头P1?P4的电位。另外,在通过第3连接装置23而将第1探头P1?P4与基准电位连接的状态下,将第1连接装置14连接,此后,断开第3连接装置23,因此,能够使从恒流源12向导体图案E1?E4的电流的值在短时间内稳定,能够实施更加迅速的检查。
[0106][第4实施方式的变形方式]
[0107]可以将图12以及图13所示的第4实施方式的印刷基板检查装置51作为基本结构,在该基础上,以图8以及图9所示的第2实施方式的方式,在第2探头P5?P8与第2连接装置15的各切换开关B1?B4之间分别设置电容器C1?C4。
[0108]另外,也可以以图10以及图11所示的第3实施方式的方式,在第2连接装置15的各切换开关B1?B4与恒流源12的基准电位之间分别配置电容器C5?C8。
[0109]另外,也可以配置它们两者的电容器C1?C4、C5?C8。
[0110]无论哪种情况,都能够通过设置电容器C1?C4或者C5?C8,使电位变化量变大,实施更加准确的检查。
[0111][第5实施方式]
[0112]图19以及图20表示第5实施方式的印刷基板检查装置61。在该印刷基板检查装置61中,除了与印刷基板1的导体图案E1?E4的一端直接接触的第1探头P1?P4以及经由绝缘体13而配置在导体图案E1?E4的另一端的第2探头P5?P8以外,还具有与恒流源12的基准电位连接的导体板25。而且,在该图19以及图20所示的例子中,第1探头P1?P4以及第2探头P5?P8均配置在印刷基板1的一面侧,导体板25与印刷基板1的另一面的绝缘层2接触,并与恒流源12的基准电位连接。在该情况下,导体板25形成为能够与印刷基板1的绝缘层2的整个面接触的大小,但至少形成为能够经由绝缘层2而与作为检查对象的导体图案E1?E4的一部分相对的大小即可。
[0113]如前述的“关于印刷基板”栏所说明的那样,在导体图案E1?E4的两端分开设置在印刷基板1的两面的情况下,第2探头P5?P8经由绝缘层而在与导体板25相同的一侧配置于避开导体板25的位置处。
[0114]由该印刷基板检查装置61进行基板检查的情况下的流程图如图21所示,在检查的最初的准备中,在将第1探头P1?P4直接与导体图案E1?E4的一端接触、第2探头P5?P8经由绝缘体13而配置在导体图案E1?E4的另一端时,在印刷基板1的绝缘层2的面上配置导体板25(S15),除此以外,与图3的流程图的S2及其以后的步骤相同。
[0115]通过配置该导体板25,由此,如果在时刻T1将第1连接装置14设为导通状态,从恒流源12向第1探头P1?P4流过电流(S2),则对存在于导体图案E1?E4与导体板25之间的电容充电,测量电路16所检测的电位上升。然后,在时刻T2使第2连接装置15动作,使第2探头P5?P8相对于恒流源12的基准电位的连接状态变化。
[0116]图22表示在与导体图案E1?E4和导电板25之间的电容相比,配线部的电容极小的情况下,使第2连接装置15动作时的第1探头P1?P4的电位的变化,对于导体图案E1?E4与导体板25之间的电容,如果导体图案E1?E4是合格品,则由于包含有导体图案E1?E4的配线部的电容的连接状态发生变化,从而随着表观上的电容的变化,每单位时间tu的电位变化量减少。如果与导体图案E1?E4的基准电位相对的电容发生变化,则电位变化量发生变化。图22表示电容增加的例子。
[0117]在导体图案E1?E4是不合格品的情况下,如图23所示,即使使第2连接装置15动作,电位变化量也不发生变化,维持使第2连接装置15动作之前的状态。
[0118]对此,在与导体图案E1?E4和导电板25之间的电容相比配线部的电容较大的情况下,或者在导体图案E1?E4与导电板25之间的电容相比于配线部的电容几乎没有差异的情况下,如图24所示,如果导体图案E1?E4是合格品,则通过使第2连接装置15动作,在第1探头P1?P4的电位少量下降之后,电位以比连接之前的电位变化量小的电位变化量上升。如果与导体图案El?E4的基准电位相对的电容发生变化,则电位发生变化。图24表示电容增加的例子。
[0119]在导体图案E1?E4是不合格品的情况下,如图25所示,即使使第2连接装置15动作,电位变化量也不变化,维持使第2连接装置15动作之前的状态。
[0120]在与该导体图案E1?E4和导电板25之间的电容相比配线部的电容较大的情况下,或者在导体图案E1?E4与导电板25之间的电容相比于配线部的电容几乎没有差异的情况下,使第2连接装置15动作之前的每时间tu的电位变化量较小,由此,第1探头P1?P4的电位达到开路电压V。需要花费时间,因此,没有例示在时刻T2之前电位达到恒流源12的开路电压V。的情况,但是,在时刻T2之前电位达到恒流源12的开路电压V。的情况下,与第1实施方
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