技术特征：
技术总结
本发明公开了一种黑硅制绒清洗机及其工艺，由机架、机械手板块、硅片花篮、槽体板块、冷热循环用液板块、控制台、上料台和下料台组成，所述机械手板块运载硅片花篮横向偏移和纵向升降，使硅片花篮浸入槽体板块中，所述槽体板块首尾连接冷热循环用液板块，所述控制台位于机架中部且控制机械手板块、槽体板块、冷热循环用液板块、上料台和下料台的工作状态，所述槽体板块包括32个工位槽，制成绒面反射率低，硅片表面清洗充分，实现了制绒清洗工序的自动化，碎片率较低，本发明适用于黑硅制绒清洗机及其工艺。
技术研发人员：邵玉林
受保护的技术使用者：无锡琨圣科技有限公司
技术研发日：2017.07.14
技术公布日：2017.09.29