硅片吸片装置和自动插片装置的制作方法

文档序号:12020924阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片吸片装置,其特征在于,包括支架,所述支架底部具有与水平面呈一定夹角的工作面,所述工作面上开设有至少一个气孔,该气孔与负压吸气装置连接,所述支架的两侧分别对称安装有三个导轮,位于一侧的三个导轮呈三角形排列,其中位于下方的两个导轮所在直线平行于所述工作面,且该两个导轮的底面凸伸于所述工作面的下方,位于同一侧的三个导轮的外侧绕设有传送带,所述硅片吸片装置还包括一电机,位于两侧的导轮之间连接有传动轴,所述电机连接于传动轴并可驱动其转动,所述支架高度相对低的一端并列设置有多个轴承,该多个轴承转动设置于支架上,所述轴承的底端凸伸于所述工作面的下方,所述支架高度相对低的一端还设置有可上下浮动的套环,所述支架上还设置有行程开关,该行程开关设置于套环的上方。

2.根据权利要求1所述的硅片吸片装置,其特征在于:所述支架高度相对低的一端并列设置有两个轴承,所述套环设置于所述两个轴承之间。

3.一种自动插片装置,其特征在于,包括机架、以及安装于机架上的第一提升装置、分片装置、权利要求1或2所述的硅片吸片装置、硅片传动装置和第二提升装置,所述第一提升装置和第二提升装置分别位于硅片传动装置在传动方向的两端,所述第一提升装置包括第一托板、滑杆、第二动力装置和滑块,所述第一托板具有水平的支撑面,所述滑杆竖直安装于机架上,所述滑块套设于滑杆上,所述第二动力装置连接于滑块并可驱动其在竖直方向上移动,所述滑块与第一托板之间相固定,所述硅片吸片装置设置于第一托板的正上方,所述分片装置设置于硅片吸片装置的下方,且位于第一提升装置和硅片传动装置之间,所述分片装置面向硅片的侧面方向开设有多个喷水孔,所述硅片传动装置包括沿硅片输送方向上设置的多个导轮、以及被导轮传动的输送条,所述第二提升装置包括支架、第二托板和第二动力装置,所述第二托板沿竖直方向可滑动于支架上,所述第二动力装置连接于第二托板并可驱动其在竖直方向上移动。

4.根据权利要求3所述的自动插片装置,其特征在于:所述第一托板的支撑面上支撑有硅片围挡,所述硅片围挡与第一托板之间可拆卸固定,所述第一托板的上表面凸伸有多个定位部,所述硅片围挡的底部配合定位部凹设形成有凹槽。

5.根据权利要求3所述的自动插片装置,其特征在于:所述第二动力装置包括螺杆和电机,电机连接于螺杆并可驱动其转动,螺杆与滑杆并列设置,滑块与螺杆之间通过螺纹配合。

6.根据权利要求3所述的自动插片装置,其特征在于:所述第二提升装置包括支架、第二托板和第二动力装置,所述第二托板沿竖直方向可滑动于支架上,所述第二动力装置连接于第二托板并可驱动其在竖直方向上移动。

7.根据权利要求6所述的自动插片装置,其特征在于:所述第二托板的顶面凹设形成有对花篮侧面进行定位的凹槽,花篮定位后,其开口面向所述硅片传动装置的末端。

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