技术总结
本申请公开了一种硅片吸片装置和自动插片装置，该硅片吸片装置包括支架，支架底部具有与水平面呈一定夹角的工作面，工作面上开设有至少一个气孔，支架的两侧分别对称安装有三个导轮，位于一侧的三个导轮呈三角形排列，位于同一侧的三个导轮的外侧绕设有传送带，硅片吸片装置还包括一电机，位于两侧的导轮之间连接有传动轴，电机连接于传动轴并可驱动其转动，支架高度相对低的一端并列设置有多个轴承，该多个轴承转动设置于支架上，支架高度相对低的一端还设置有可上下浮动的套环，支架上还设置有行程开关，该行程开关设置于套环的上方。本实用新型硅片吸片装置通过水流实现上下硅片的分离，同时通过套环与行程开关的配合控制硅片上移速度。
技术研发人员：杨宣教
受保护的技术使用者：张家港市德昶自动化科技有限公司
文档号码：201720295527
技术研发日：2017.03.24
技术公布日：2017.10.24