受满足阈值的信号时，气体在密封室内形成等离子体，其中，当形成等离子体时，第一电极经由等离子体电耦接至第二电极，并且其中，当没有形成等离子体时，第一电极与第二电极电隔离；以及
[0080]电耦接至第一电极的第一连接器以及电耦接至第二电极的第二连接器，其中，第一连接器或者第二连接器被配置为将信号提供到第一电极或者第二电极。
[0081]项2:根据项I所述的开关器件，进一步包括电耦接至第一电极、第二电极、或者第一电极和第二电极的至少一个偏置连接器，其中，基于施加到偏置连接器的偏置信号，该阈值是可调整的。
[0082]项3:根据项2所述的开关器件，其中，偏置信号是直流信号或者射频信号并且该信号是直流信号或者射频信号。
[0083]项4:根据项I所述的开关器件，其中，阈值包括功率阈值、频率阈值、或者功率阈值和频率阈值。
[0084]项5:根据项I所述的开关器件，其中，密封室由盖和底座限定，其中，所述盖、底座、或者盖和底座限定腔，并且其中，盖气密密封到底座以封闭气体。
[0085]项6:根据项I所述的开关器件，其中，第一连接器和第二连接器被配置为耦接至电路并且从电路接收信号。
[0086]项7:根据项6所述的开关器件，其中，该电路包括发送器电路、接收器电路、或者发送器电路和接收器电路。
[0087]项8: —种系统包括:
[0088]射频(RF)电路；
[0089]天线接口；以及
[0090]开关器件，包括:
[0091]第一电极，耦接至RF电路并且至少部分布置在密封室内，所述密封室封入一些气体；以及
[0092]第二电极，耦接至天线接口并且至少部分布置在密封室内，第二电极与第一电极物理分离;并且
[0093]其中，当经受满足阈值的信号时，该气体在密封室内形成等离子体，其中，当形成等离子体时，第一电极经由等离子体电耦接至第二电极，并且其中，当没有形成等离子体时，第一电极与第二电极电隔离。
[0094]项9:根据项8所述的系统，其中，RF电路包括发送器电路。
[0095]项10:根据项8所述的系统，其中，RF电路包括接收器电路。
[0096]项11:根据项8所述的系统，其中，射频电路、天线接口和开关器件是雷达系统的部件。
[0097]项12:根据项8所述的系统，进一步包括耦接至开关器件的偏置电路，其中，基于通过偏置电路施加到开关器件的第一电极、第二电极或者第一电极和第二电极的偏置信号，该阈值是可调整的。
[0098]项13:根据项8所述的系统，进一步包括耦接至天线接口的天线阵，该天线阵包括多个天线元件。
[0099]项14:根据项13所述的系统，其中，至少两个开关器件耦接至多个天线元件的特定天线元件，至少两个开关器件包括:
[0100]第一开关器件，电耦接在特定天线元件与特定天线元件相关的接收器电路之间；以及
[0101]第二开关器件，电耦接在特定天线元件与特定天线元件相关的发送器电路之间。
[0102]项15:根据项14所述的系统，其中，在接收操作期间，在第一开关器件中形成等离子体并且在第二开关器件中没有形成等离子体。
[0103]项16:根据项14所述的系统，其中，在发送操作期间，在第二开关器件中形成等离子体并且在第一开关器件中没有形成等离子体。
[0104]项17:根据项8所述的系统，进一步包括基板，其中，包括所述开关器件的多个开关器件形成在基板中或者基板上。
[0105]项18:根据项17所述的系统，其中，基板包括玻璃或者硅。
[0106]项19:根据项18所述的系统，进一步包括耦接至多个开关器件中的第一开关器件的偏置电路，其中，用于形成第一开关器件的等离子体的第一阈值独立于用于形成多个开关器件中的第二开关器件的等离子体的第二阈值是可调整的。
[0?07] 项20: —种方法，包括:
[0108]将信号施加到开关器件的第一电极，所述开关器件包括:
[0109]第一电极，至少部分布置在密封室内，该密封室封入一些气体;以及
[0110]第二电极，至少部分布置在密封室内，第二电极与第一电极物理分离；以及
[0111]当信号满足阈值时，在密封室内形成等离子体，
[0112]其中，当形成等离子体时，第一电极经由等离子体电耦接至第二电极，并且其中，当没有形成等离子体时，第一电极与第二电极电隔离。
[0113]项21:根据项20所述的方法，进一步包括将偏置信号施加到第一电极、第二电极、或者第一电极和第二电极，其中，偏置信号改变该阈值。
[0114]项22:根据项21所述的方法，其中，偏置信号是直流信号并且施加到开关器件的第一电极的信号是射频信号。
[0115]应当理解，提交的本公开内容的摘要将不用于解释或者限制权利要求的范围或者含义。此外，在上述【具体实施方式】中，为了简化本公开内容的目的，各种特征可以被组合到一起描述或者在单个实施方式中描述。如所附权利要求反映的，所要求保护的主题可针对少于任何所公开实例中的全部特征的特征。
【主权项】
1.一种开关器件(300)，包括: 第一电极(316)，至少部分布置在密封室(314)内，所述密封室(314)封入一些气体； 第二电极(318)，至少部分布置在所述密封室(314)内，所述第二电极(318)与所述第一电极(316)物理分离，其中，当所述气体经受满足阈值的信号(360/361)时，所述气体在所述密封室(314)内形成等离子体，其中，当形成所述等离子体时，所述第一电极(316)经由所述等离子体电耦接至所述第二电极(318)，并且其中，当没有形成所述等离子体时，所述第一电极(316)与所述第二电极(318)电隔离；以及 电耦接至所述第一电极(316)的第一连接器(404)以及电耦接至所述第二电极(318)的第二连接器(406)，其中，所述第一连接器(404)被配置为将所述信号(360/361)提供给所述第一电极或者所述第二连接器(406)被配置为将所述信号(360/361)提供给所述第二电极。2.根据权利要求1所述的开关器件(300)，进一步包括电耦接至所述第一电极(316)、所述第二电极(318)、或者所述第一电极(316)和所述第二电极(318)两者的至少一个偏置连接器(120/123)，其中，所述阈值基于施加到所述偏置连接器(120/123)的偏置信号(142/144)是能调整的。3.根据权利要求2所述的开关器件(300)，其中，所述偏置信号(142/144)是直流信号或者射频信号，并且提供给所述第一电极的所述信号(360/361)或提供给所述第二电极的所述信号(360/361)是直流信号或者射频信号。4.根据权利要求1至3中任一项所述的开关器件(300)，其中，所述阈值包括功率阈值、频率阈值、或者功率阈值和频率阈值两者。5.根据权利要求1所述的开关器件(300)，其中，所述密封室(314)由盖(500)和底座(400)限定，其中，所述盖(500)、所述底座(400)、或者所述盖(500)和所述底座(400)两者限定腔(411)，并且其中，所述盖(500)气密密封到所述底座(400)以封闭所述气体。6.根据权利要求1所述的开关器件(300)，其中，所述第一连接器(404)和所述第二连接器(406)被配置为耦接至电路(128/130)并且从所述电路接收所述信号。7.根据权利要求6所述的开关器件(300)，其中，所述电路(128/130)包括发送器电路(128)、接收器电路(130)、或者所述发送器电路(128)和所述接收器电路(130)两者。8.一种切换方法(1100)，包括: 将信号(360/361)施加到开关器件(300)的第一电极(316)，所述开关器件(300)包括: 所述第一电极(316)，至少部分布置在密封室(314)内，所述密封室(314)封入一些气体；以及 第二电极(318)，至少部分布置在所述密封室(314)内，所述第二电极(318)与所述第一电极(316)物理分离;并且 当所述信号(360/361)满足阈值时，在所述密封室(314)内形成(1106)等离子体， 其中，当形成所述等离子体时，所述第一电极(316)经由所述等离子体电耦接至所述第二电极(318)，并且其中，当没有形成所述等离子体时，所述第一电极(316)与所述第二电极(318)电隔离。9.根据权利要求8所述的方法(1100)，进一步包括将偏置信号(142/144)施加到所述第一电极(316)、所述第二电极(318)、或者所述第一电极(316)和所述第二电极(318)两者，其中，所述偏置信号改变所述阈值。10.根据权利要求9所述的方法(1100)，其中，所述偏置信号(142/144)是直流信号并且施加到所述开关器件(300)的第一电极(316)的所述信号(360/361)是射频信号。
【专利摘要】本申请公开了等离子体集成开关器件。一种开关器件包括至少部分布置在密封室(314)内的第一电极(316)。密封室(314)封入等离子体相变材料。开关器件(300)包括至少部分布置在密封室(314)内的第二电极(318)。第二电极(318)与第一电极(316)物理分离。当经受满足阈值的信号(360/361)时，等离子体相变材料在密封室(314)内形成等离子体。当形成等离子体时，第一电极(316)经由等离子体电耦接至第二电极(318)。当没有形成等离子体时，第一电极(316)与第二电极(318)电隔离。开关器件包括电耦接至第一电极的第一连接器(404)以及电耦接至第二电极的第二连接器(406)。第一连接器、第二连接器、或者第一连接器和第二连接器均被配置为接收信号。
【IPC分类】H01L45/00, H01L27/24, H03K17/70
【公开号】CN105633278
【申请号】CN201510809351
【发明人】塔伊·A·兰, 朱利奥·纳瓦罗, 克劳迪奥·G·帕拉佐利, 本杰明·E·科尔滕巴赫
【申请人】波音公司
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2015年11月19日
【公告号】EP3024086A1, US20160149287