发明的技术领域的 技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具 体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语"及/或"包括一个或多个 相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0038] 如图1及图3所示，一种多层线路板对准度检测方法，用于检测多层线路板的对准 度。多层线路板包括层叠设置的多个线路板，线路板包括设有第一检测图案的基准板与设 有第二检测图案的检测板。第一检测图案与第二检测图案部分重叠。多层线路板对准度检 测方法包括如下步骤：
[0039]S110:将多个线路板之一设为基准板，基准板上设有第一检测图案，并将多个线路 板之另一设为检测板，检测板上设有第二检测图案。
[0040] S120 :用X射线检测检测板上的第一检测图案相对基准板上的第二检测图案的偏 移量，得到层间对准度。
[0041]上述多层线路板对准度检测方法，通过X射线直接检测层叠设置的基准板与检测 板上对应的部分重叠的第一检测图案与第二检测图案，即可得到第一检测图案相对第二检 测图案的偏移量，从而得到层间对准度，而无需对多层线路板进行切片等操作，从而缩短了 检测时间，具有$父尚的检测效率。
[0042]第一检测图案与第二检测图案分别设于基准板与检测板的四个角上。第一检测图 案包括多个间隔设置的第一条纹，第二检测图案包括与第一条纹数量相同的多个间隔设置 的第二条纹对应的第一检测图案的第一条纹与第二检测图案的第二条纹相互平行，且重叠 方向为第一条纹与第二条纹的延伸方向。第一条纹的宽度与第二条纹的宽度相同，相邻第 一条纹之间的间隙大于相邻第二条纹之间的间隙。如此，基于可通过移动第二条纹可使不 同的第二条纹依次与其中一条第一条纹对齐的原理，得到第一检测图案相对第二检测图案 的偏移量。
[0043] 进一步地，步骤S120用X射线检测检测板上的检测图案相对基准板上的检测图案 的偏移量包括如下步骤：
[0044] S121 :将位于第一检测图案中间的第一条纹作为检测基准。
[0045] S122:逐一判断第一检测图案上的第一条纹是否与第二检测图案上的任意一条第 二条纹重合。
[0046] S123:当其中一个第一条纹与其中一个第二条纹重合时，得到第二检测图案相对 第一检测图案的偏移量。
[0047] 由于第一条纹的宽度与第二条纹的宽度相同，且相邻第一条纹之间的间隙大于相 邻第二条纹之间的间隙，因此当第一检测图案相对第二检测图案的偏移时，会使其中一个 第一条纹与其中一个第二条纹对齐，即可得到第一检测图案相对第二检测图案的偏移量。
[0048] 在本实施例中，当位于第一检测图案中间的第一条纹与位于第二检测图案中间的 第二条纹重合时，第二检测图案相对第一检测图案的偏移量为零。当位于第一检测图案中 间的第一条纹与位于第二检测图案中间的第二条纹不重合时，第二图案相对第一检测图案 的偏移量为非零的其他数值。
[0049] 当第一检测图案与第二检测图案错位，找出重合的第一条纹与第二条纹，即可得 到第一检测图案相对第二检测图案的偏移量。并且，可根据重合的第一条纹与第二条纹位 于中间的第一条纹及第二条纹的左侧或右侧而得到偏移的方向。
[0050] 如图1及图2所示，在本实施例中，第一检测图案包括第一横向检测图案20与第 一纵向检测图案40,第一条纹包括构成第一横向检测图案20的第一横向条纹22与构成第 一纵向检测图案40的第一纵向条纹42,第一横向条纹22与第一纵向条纹42相互垂直。
[0051] 第二检测图案包括第二横向检测图案60与第二纵向检测图案80,第二条纹包括 构成第二横向检测图案60的第二横向条纹62与构成第二纵向检测图案80的第二纵向条 纹82,第二横向条纹62与第二纵向条纹82相互垂直。
[0052] 请参考图3,步骤S120用X射线检测检测板上的检测图案相对基准板上的检测图 案的偏移量，测量层间对准度包括如下步骤：
[0053] S121 :逐一判断第一横向检测图案20上的第一横向条纹22是否与第二横向检测 图案60上的第二横向条纹62重合。
[0054] S122 :当其中一个第一横向条纹22与其中一个第二横向条纹62重合时，得到第二 横向检测图案60相对第一横向检测图案20的横向偏移量。
[0055] S123 :检测第一纵向检测图案40上的第一纵向条纹42与第二纵向检测图案80上 的第二纵向条纹82是否重合。
[0056] S124 :当其中一个第一纵向条纹42与其中一个第二纵向条纹82重合时，得到第二 纵向检测图案80相对第一纵向检测图案40的纵向偏移量。
[0057] 进一步地，检测板包括间隔设置的第一检测板与第二检测板，基准板上设有分别 与第一检测板与第二检测板上的第二检测图案对应的多个第一检测图案，且第一检测板的 第二检测图案及第二检测板的第二检测图案分别与基准板上的对应的第一检测图案形成 的两个检测区域间隔设置，且间距为2mil(毫英寸）以上，避免由于多层线路板的错位而导 致检测区域移动而相互发生干扰，影响检测结果的准确性。
[0058] 请再次参考图3,步骤S120用X射线检测检测板上的第一检测图案相对基准板上 的第二检测图案的偏移量，测量层间对准度还包括以下步骤：
[0059] S125 :判断第一检测板与第二检测板的横向偏移方向。具体地，检测第一检测板与 第二检测板上的第二横向条纹62与基准板上的第一横向条纹22的相对位置，判断对齐的 第一横向条纹22与第二横向条纹62在位于中间的第一横向条纹22的左侧还是右侧。
[0060] S126 :当第一检测板与第二检测板的横向偏移方向相同时，第一检测板的横向偏 移量与第二检测板的横向偏移量的较大值为横向总偏移量。具体地，当对齐的第一横向条 纹22与第二横向条纹62均在位于中间的第一横向条纹22的左侧或右侧时，第一检测板与 第二检测板的横向偏移量的较大值为横向总偏移量。
[0061] S127 :当第一检测板与第二检测板的横向偏移方向相反时，第一检测板的横向偏 移量与第二检测板的横向偏移量之和为横向总偏移量。具体地，当第一检测板与第二检测 板对齐的第一横向条纹22与第二横向条纹62分别位于中间的第一横向条纹22的左侧与 右侧时，第一检测板与第二检测板的横向偏移量之和为横向总偏移量。
[0062] S128 :当第一检测板与第二检测板的纵向偏移方向相同时，第一检测板的纵向偏 移量与第二检测板的纵向偏移量的较大值为纵向总偏移量。具体地，当对齐的第一纵向条 纹42与第二纵向条纹82均在位于中间的第一纵向条纹42的左侧或右侧时，第一检测板与 第二检测板的纵向偏移量的较大值为纵向总偏移量。
[0063] S129 :当第一检测板与第二检测板的纵向偏移方向相反时，第一检测板的纵向偏 移量与第二检测板的纵向偏移量之和为纵向总偏移量。具体地，当对齐的第一纵向条纹42 与第二纵向条纹82分别位于中间的第一纵向条纹42的左侧或右侧时，第一检测板与第二 检测板的纵向偏移量之和为纵向总偏移量。
[0064] S130 :根据横向总偏移量与纵向总偏移量得到层间对准度。
[0065] 如此，可根据层间对准度迅速判断压制的多层线路板的是否符合要求。
[0066] 其中，层间对准度的公式为：
（A为层间对准度，X为横向总偏移量， Y为纵向总偏移量）。
[0067] 在本实施例中，具体地，基准板位于层叠设置的线路板的第二层，第一检测板与第 二检测板分别位于层叠设置的线路板的第五层与第七层。
[0068] 第一条纹与第二条纹的数量均为15条，且宽度均为9mil。相邻第一条纹之间的 距离为lOmil，相邻第二条纹之间的距离为9mil。如此，当一第二条纹与位于中间的（即第 八条）第一条纹对齐时，第一检测图案与第二检测图案的偏移量为Omil。