r>[0236]在该显示装置1中，各像素通过写入晶体管Tr2的栅极从扫描线驱动电路130接收扫描信号，并且从信号线驱动电路120供给的图像信号通过写入晶体管Tr2被保持在储存电容器Cs中。也就是说，对应于该储存电容器Cs中所保持的信号，对驱动晶体管Trl的开/关进行控制。由此，驱动电流Id被供给到红色有机EL元件10R、绿色有机EL元件10G和蓝色有机EL元件10B中，从而通过空穴与电子的再结合而发光。
[0237]这时，从红色有机EL元件10R、绿色有机EL元件10G、蓝色有机EL元件10B分别产生红色的光(波长为620nm?750nm)、绿色的光(波长为495nm?570nm)、蓝色的光(波长为 450nm ?495nm)。
[0238]在本实施方式的显示装置1的制造方法中，分别对红色发光层163R、绿色发光层163G、蓝色发光层163B进行图案化，以使它们分别具有与设置在基板11上的掩模21R、21G、21B的平面形状相同的形状(图5C?图9B)。因此，能够抑制红色发光层163R、绿色发光层163G、蓝色发光层163B的劣化。以下对此进行说明。
[0239]图10A?图10D顺次表示比较例的显示装置的制造方法。该显示装置的发光层(红色发光层1163R、绿色发光层1163G、蓝色发光层1163B)通过反转胶版印刷法以如下方法形成。首先，将红色发光层1163R的构成材料溶解在溶剂中调制成油墨，并将其涂布在橡皮布31的整个表面(参照图6A)。接着，使用版在橡皮布31上形成具有规定图案的红色发光层1163R(参照图6B?图7B)。然后，使该橡皮布31与空穴输送层162对置(图10A)并且使它们接触，由此将红色发光层1163R转印到空穴输送层162 (基板)上(图10B)。对于绿色发光层1163G和蓝色发光层1163B也一样(图10C、图10D)。
[0240]在使用这种反转胶版印刷法的红色发光层1163R(绿色发光层1163G、蓝色发光层1163B)的形成工序中，红色发光层1163R被形成在橡皮布31上。也就是说，红色发光层1163R在与橡皮布31接触后(图10A)，被转印到空穴输送层162上。通过与该橡皮布31的接触，有可能在红色发光层1163R(绿色发光层1163G、蓝色发光层1163B)中混入杂质，导致发光效率、发光寿命等特性降低。该杂质是指在橡皮布31的表面的硅橡胶等中含有的硅油和硅氧烷等。硅油是在制造硅橡胶时添加于主要原料硅氧聚合物中的一种配合剂。硅氧烷是在制造硅橡胶时没有聚合而残留下来的未反应物。
[0241]另外，调制油墨时的溶剂虽然能够使用例如芳香烃等，但是因为该溶剂与橡皮布31 (表面的硅橡胶等)的亲和性高，所以有可能导致油墨渗入橡皮布31的整个表面。该渗入橡皮布31的油墨(油墨1163RE)也将附着在空穴输送层162上的红色发光层1163R以外的部分(图10B)。如果在该油墨1163RE上形成绿色发光层1163G或蓝色发光层1163B，那么将发生混色，色纯度下降。在形成绿色发光层1163G、蓝发光层1163B时渗入橡皮布31的油墨1163GEU163BE也一样，有可能引起混色(图10C、图10D)。
[0242]对此，因为上述红色发光层163R、绿色发光层163G、蓝色发光层163B利用掩模21R、21G、21B的形状进行图案化，所以不需要使用橡皮布31与版的图案化。也就是说，红色发光层163R、绿色发光层163G、蓝色发光层163B不接触橡皮布31便可形成。因此，能够防止杂质从橡皮布31混入红色发光层163R、绿色发光层163G、蓝色发光层163B中。另外，也能够防止起因于油墨渗入橡皮布31的混色。在转印掩模21R、21G、21B时，橡皮布31也有可能与红色材料层163RA、绿色材料层163GA、蓝色材料层163BA的一部分接触。然而，掩模21R、21G、21B的正下部(成为红色发光层163R、绿色发光层163G、蓝色发光层163B的部分)以外的红色材料层163RA、绿色材料层163GA、蓝色材料层163BA被除去。因此，橡皮布子31所接触的部分不影响各个元件的特性。
[0243]更进一步说，因为掩模21R、21G、21B由印刷法形成，所以与金属掩模相比，可以高精度地形成。因此，能够形成高精细的显示器。另外，印刷法也易于应用于大型基板工艺。此外，因为印刷法能够在大气压下进行，所以不需要大型真空装置等设备，能够抑制设备成本、耗电量。
[0244]特别是印刷法中的反转胶版印刷法，因为印刷线宽为几μπι?ΙΟμπι，并且可以进行对准精度约为几微米的高精度印刷，所以可以说是制造高精细有机EL显示装置的适宜的方法。例如，通过使用反转胶版印刷法，能够制造300ppi以上(像素间距约为84μπι以下)的显示装置。
[0245]如上所述，在本实施方式中，因为使用掩模21R、21G、21B对红色发光层163R、绿色发光层163G、蓝色发光层163B进行了图案化，所以可以防止发光效率、发光寿命等特性的劣化。另外，可以防止其他发光颜色的油墨混入红色发光层163R、绿色发光层163G和蓝色发光层163B，抑制混色的发生。
[0246]在使用柔版印刷、凹版印刷、凹版胶版印刷、胶版印刷和丝网印刷等形成掩模21R、21G、21B的情况下，与反转胶版印刷法相比，印刷精度有可能下降。然而，在这些方法中，不需要每次印刷后的版清洗工序，可以抑制成本。另外，喷墨法、喷嘴印刷法和激光转印法是不使用版就可以印刷的方法。因此，在不必要高精度地形成掩模21R、21G、21B的情况下，也可以通过使用这些印刷法，来抑制成本。
[0247]例如，在使用凹版胶版印刷形成掩模21R、21G、21B时，使用平滑的印刷辊。通过设置高度约为0.Ιμπι?0.3μm的隔壁15，可以由凹版胶版印刷形成掩模21R、21G、21B。另一方面，在使用喷墨法形成掩模21R、21G、21B的情况下，因为要防止油墨从隔壁15流出，所以需要例如高度约为2 μ m的隔壁15。像这样可以根据显示装置的构造，来选择掩模21R、21G、21B的形成方法。再有，在凹版胶版印刷和喷墨法等中，虽然难以形成厚度均一的掩模21R、21G、21B，但是它们影响有机层16 (红色发光层163R、绿色发光层163G、蓝色发光层163B)的可能性小。这是因为如果能够在蚀刻时对有机层16进行保护，作为掩模21R、21G、21B就充分发挥了其功能。例如，在凹版胶版印刷中，由于油墨的流动性和表面张力的影响，掩模21R、21G、21B的截面形状容易成为中央部分凸起的形状、即弧线形形状。即使是喷墨法，起因于对隔壁15的涂面上升(由于润湿而上升)，掩模21R、21G、21B的厚度也难以均一。
[0248]从掩模21R(或掩模21G、21B)露出的红色材料层163RA(或绿色材料层163GA、蓝色材料层163BA)可以根据情况通过湿式蚀刻或干式蚀刻加以除去。例如，在通过等离子体照射而发光层163和发光层163下层的有机层16可能劣化的情况下，优选使用湿式蚀亥IJ。另一方面，使用干式蚀刻，就容易控制侧面蚀刻，可以提高发光层163的图案的设计自由度。另外，因为可以进行蚀刻的材料的种类很多，所以能够容易地蚀刻由多种材料构成的发光层163。此外，湿式蚀刻需要蚀刻溶液的干燥工序，而干式蚀刻则不需要该工序。
[0249]下面对本实施方式的变形例和其他实施方式进行说明，在以下的说明中，对于与上述实施方式相同的结构部分使用相同的符号，并且适当省略其说明。
[0250]<变形例1>
[0251]图11是表示用上述实施方式的变形例1的方法制造的显示装置(显示装置1A)的主要部的截面构成图。该显示装置1A的隔壁(隔壁15A)具有疏液性。除了这一点之外，显示装置1A具有与显示装置1相同的结构。在图11中省略了 TFT层12、平坦化层13、空穴注入层161、空穴输送层162、电子输送层164、电子注入层165和上部电极17 (以上在图1中表不)。对于后述的图12A?图13C也一样。
[0252]隔壁15A与隔壁15(图1) 一样，用于确保下部电极14与上部电极17之间的绝缘性，并使发光区域形成为期望的形状。隔壁15A例如具有锥形形状，从下部电极14朝向上部电极开口直径变大。隔壁15A可以是任何形状，其开口直径也可以为一定。隔壁15A例如由具有疏液性的材料构成。例如能够由氟类树脂材料构成隔壁15A。另外，也可以通过对聚酰亚胺树脂等施加疏液处理，来提高隔壁15A的疏液性。作为疏液处理，例如可以列举四氟甲烷(CF4)等离子体处理等氟等离子体处理。
[0253]具有这种隔壁15A的显示装置1A例如以如下方法制造(图12A?图13C)。
[0254]首先，以与在上述显示装置1中说明的方法相同的方法，在基板11上顺次形成TFT层12、平坦化层13和下部电极14。然后，例如对聚酰亚胺树脂进行图案化之后，对其施加四氟甲烷等离子体处理形成隔壁15A。也可以由氟类树脂材料形成隔壁15A。再有，发明人已经确认下列事项:对由氟类树脂材料构成的隔壁15A水的接触角为95°，对将聚酰亚胺树脂施加四氟甲烷等离子体处理构成的隔壁15A水的接触角为106°。这时，对聚酰亚胺树脂水的接触角为77°。
[0255]在形成隔壁15A之后，顺次形成空穴注入层161和空穴输送层162。接着，例如按绿色发光层163G、红色发光层163R、蓝色发光层163B的顺序形成发光层163。具体地说，首先，在空穴输送层161的整个表面上，涂布将绿色发光层163G的构成材料溶解在溶剂中的油墨，形成绿色材料层163GA(图12A)。这时，在绿色材料层163GA中含有的溶剂干燥的过程中，由于隔壁15A的疏液性，涂布在隔壁15A的表面上的绿色材料层163GA受到排斥，移动到相邻的隔壁15A之间(图12B)。换句话说，该绿色材料层163GA的侧面被隔壁15A覆盖。油墨中的绿色发光层163G的构成材料的浓度例如约为1?3%。
[0256]关于溶解绿色发光层163G的构成材料的溶剂，优选使用对隔壁15A具有50°以上接触角的溶剂。作为这样的溶剂，例如可以列举:苯甲醚(Anisole)、四氢化萘(Tetralin)、1，3_ 二甲氧基苯(1，3-dimethoxy benzene)、2_ 叔丁基苯酸(2-tert-butylphenol)和1-甲基萘(Ι-Methylnaphthalene)等。这些溶剂对将聚酰亚胺树脂施加四氟甲烧等离子体处理形成的隔壁15A具有50°以上的接触角。
[0257]在使绿色材料层163GA移动到隔壁15A之间之后，如图12C所示，在绿色有机EL元件10G的形成预定区域，例如使用反转胶版印刷法形成掩模21G。然后，例如通过蚀刻除去设置有该掩模21G的区域以外的部分的绿色材料层163GA，形成绿色发光层163G(图13A)。
[0258]接着，在绿色发光层163G的上表面被掩模21G覆盖的状态下，在空穴输送层162的整个表面上，涂布将红色发光层163R的构成材料溶解在溶剂中的油墨，形成红色材料层163RA(图13B)。与绿色材料层163GA—样，该红色材料层163RA由于隔壁15A的疏液性移动到相邻的隔壁15A之间(图13C)。此后，与上述绿色材料层163GA—样，使用掩模21R(图5C)除去红色有机EL元件10R的形成预定区域以外的红色材料层163RA，形成红色发光层163R。以同样的方法使用掩模21B (图9A)形成蓝色发光层163B，并且除去分别覆盖在绿色材料层163GA、红色发光层163R和蓝色发光层163B上表面的掩模21G、21R、21B。绿色材料层163GA、红色发光层163R和蓝色发光层163B的形成顺序没有特别限制，例如也可以顺次形成红色发光层163R、绿色发光层163G和蓝色发光层163B。
[0259]以这种方法形成发光层163之后，用与显示装置1同样的方法，形成电子输送层164、电子注入层165、上部电极17和保护层。最后，在设置有上述构成部分的基板11上贴合密封基板，形成显示装置1A。
[0260]在该显示装置1A的制造方法中，因为隔壁15A具有疏液性，所以绿色材料层163GA(红色材料层163RA、蓝色材料层163BA)移动到相邻的隔壁15A之间(图12B)。另外，在设置有掩模21G(掩模21R、21B)的状态下，涂布随后要形成的发光层的油墨(图13B)。也就是说，在绿色发光层163G的侧面被隔壁15A覆盖、上表面被掩模21G覆盖的状态下，涂布下一道工序的发光层(红色发光层163R、蓝色发光层163B)的油墨。关于红色发光层163R也一样。因此，可以防止绿色发光层163G被该油墨中所含的溶剂溶解，抑制不良图案的发生。因此，在该显示装置1A的制造方法中，能够形成具有精确图案的红色发光层163R、绿色发光层163G和蓝色发光层163B。
[0261]〈第二实施方式〉
[0262]图14A?图16C顺次表示本技术的第二实施方式的显示装置1的制造方法。在图14A?图16C中，省略了基板11、TFT层12、平坦化层13、下部电极14和隔壁15 (以上在图1中表示)。在该方法中，使用疏液性掩模(掩模22R、22G、22B)形成发光层163。除了这一点之外，用与上述第一实施方式相同的方法制造显示装置1。
[0263]首先，在基板11上，以与上述第一实施方式的显示装置1相同的方法顺次形成TFT层12、平坦化层13、下部电极14、隔壁15、空穴注入层161和空穴输送层162。然后，例如按红色发光层163R、绿色发光层163G和蓝色发光层163B的顺序形成发光层163。
[0264]具体地说，首先，在空穴输送层162上，在红色有机EL元件10R的形成预定区域(第一区域)形成具有开口 22RM的掩模22R(图14A)。掩模22R例如使用反转胶版印刷法以与空穴输送层162接触的方式形成。掩模22R(以及后述的掩模22G、22B)除了反转胶版印刷法之外，也可以通过柔版印刷、凹版印刷、凹版胶版印刷、胶版印刷或丝网印刷等来形成。也可以使用喷墨法、喷嘴印刷法或激光转印法等形成掩模22R。该掩模22R具有疏液性，例如使用氟类树脂以与空穴输送层162接触的方式形成。掩模22R虽然可以使用水溶性树脂和乙醇可溶性树脂形成，但是在树脂的疏液性低的情况下，优选施加氟等离子体处理等疏液处理。也可以由抗蚀材料形成掩模22R。
[0265]在形成掩模22R之后，在空穴输送层162上，涂布将红色发光层163R的构成材料溶解在溶剂中的油墨。这时，由于掩模22R的疏液性，涂布在掩模22R上的油墨受到排斥，移动到掩模22R的开口 22RM部分、即红色有机EL元件10R的形成预定区域。由此形成了红色发光层163R(第一有机层)(图14B)。
[0266]接着，如图14C所示，例如将掩模22R用溶剂溶解、除去。该溶剂可以根据掩模22R的材料来选择，优选使用能使掩模22R溶解、并且红色发光层163R不溶解的溶剂。作为这样的溶剂可以列举氟类溶剂、水和乙醇类溶剂等。即使在掩模22R上残留有形成红色发光层163R时的油墨，也能够在该工序中与掩模22R—起除去。对于后述的掩模22G、22B也一样。
[0267]在除去掩模22R之后，如图15A所示，在空穴输送层162上，在绿色有机EL元件10G的形成预定区域形成具有开口 22GM的疏液性掩模22G。掩模22G以与空穴输送层162接触的方式形成，另外，也形成在红色发光层163R上。掩模22G例如通过反转胶版印刷法，使用与上述掩模22R相同的材料形成。
[0268]在形成掩模22G之后，在空穴输送层162上，涂布将绿色发光层163G的构成材料溶解在溶剂中的油墨。这时，由于掩模22G的疏液性，涂布在掩模22G上的油墨受到排斥，移动到掩模22G的开口 22GM部分、即绿色有机EL元件10G的形成预定区域。由此形成了绿色发光层163G (第二有机层)(图15B)。
[0269]接着，如图15C所示，例如将掩模22G用溶剂溶解、除去。该溶剂可以使用与上述掩模22R相同的溶剂。在除去掩模22G之后，在空穴输送层162上的蓝色有机EL元件10B的形成预定区域形成具有开口 22BM的掩模22B(图16A)。掩模22B以与空穴输送层162接触的方式形成，另外，也形成在红色发光层163R和绿色发光层163G上。掩模22B例如通过反转胶版印刷法，使用与上述掩模22R相同的材料形成。
[0270]在形成掩模22B之后，在空穴输送层162上，涂布将蓝色发光层163B的构成材料溶解在溶剂中的油墨。这时，由于掩模22B的疏液性，涂布在掩模22B上的油墨受到排斥，移动到掩模22B的开口 22BM部分、即蓝色有机EL元件10B的形成预定区域。由此形成蓝色发光层163B (第二有机层)，从而形成发光层163 (图16B)。在此之后，例如将掩模22B用溶剂溶解、除去(图16C)。该溶剂可以使用与上述掩模22R相同的溶剂。红色发光层163R、绿色发光层163G和蓝色发光层163B的形成顺序没有特别限制，例如也可以顺次形成绿色发光层163G、红色发光层163R和蓝色发光层163B。在以这种方法设置发光层163之后，用与上述第一实施方式的显示装置1相同的方法形成电子输送层164、电子注入层165、上部电极17和保护层。最后，在设置有上述构成部分的基板11上贴合密封基板，形成显示装置。
[0271]在该显示装置1的制造方法中，因为利用疏液性掩模22R、22G、22B在所选择的区域(掩模22R、22G、22B的开口 22RM、22GM、22BM)形成红色发光层163R、绿色发光层163G、蓝色发光层163B，所以不需要使用橡皮布和版的图案化(图10A?图10D)。也就是说，与上述第一实施方式一样，能够防止杂质从橡皮布31混入红色发光层163R、绿色发光层163G、蓝色发光层163B中。因此，可以防止红色有机EL元件10R、绿色有机EL元件10G、蓝色有机EL元件10B的发光效率、发光寿命等特性的劣化。另外，也能够防止起因于油墨渗入橡皮布31的混色。
[0272]<变形例2>
[0273]图17A?图18C表示变形例2的显示装置1的制造方法。在图17A?图18C中省略了基板11、TFT层12、平坦化层13、下部电极14和隔壁15 (以上在图1中表示)。在该方法中，在用掩模(掩模23G、23B)覆盖所形成的发光层(红色发光层163R、绿色发光层163G)的上表面与其侧面之后，涂布用于形成发光层(绿色发光层163G、蓝色发光层163B)的下一道工序的油墨。除了这一点之外，用与上述第二实施方式相同的方法制造显示装置
Ιο
[0274]首先，以与上述第一实施方式的显示装置1相同的方法，在基板11上顺次形成TFT层12、平坦化层13、下部电极14、隔壁15、空穴注入层161和空穴输送层162。然后，例如按红色发光层163R、绿色发光层163G和蓝色发光层163B的顺序形成发光层163。
[0275]具体地说，首先，以与在上述第二实施方式中说明的方法相同的方法，形成红色发光层163R(图14A?图14C)。接着，如图17A中所示，在空穴输送层162上的绿色有机EL元件10G的形成预定区域形成具有开口 23GM的疏液性掩模23G。这时，掩模23G以覆盖红色发光层163R的上表面及其侧面的方式形成。掩模23G例如通过反转胶版印刷法，使用与在上述掩模22R、22G、22B中说明的材料相同的材料，以与空穴输送层162接触的方式形成。掩模23G(以及后述的掩模23B)除了反转胶版印刷法之外，也可以通过柔版印刷、凹版印刷、凹版胶版印刷、胶版印刷或丝网印刷等来形成。也可以使用喷墨法、喷嘴印刷法或激光转印法等形成掩模23G。
[0276]在形成掩模23G之后，如图17B所示，在空穴输送层162上，涂布将绿色发光层163G的构成材料溶解在溶剂中的油墨，形成绿色发光层163G。这时，因为红色发光层163R的侧面被掩模23G覆盖，所以油墨浸入红色发光层163R被抑制，能够防止由该油墨引起的红色发光层163R的侧面蚀刻。特别是，在溶解绿光发光层163G的构成材料的溶剂对发光材料显示出高溶解性的情况下，使用这样的掩模23G是用于防止红色发光层163R的侧面蚀