。然后，如图48B所示，在电子注入材料层162GA上的绿色有机EL元件10G的形成预定区域形成掩模26G。然后，除去从该掩模26G露出的空穴注入材料层161GA、空穴输送材料层162GA、绿色材料层163GA、电子输送材料层164GA和电子注入材料层162GA(图48C)。由此形成空穴注入层161G、空穴输送层162G、绿色发光层163G、电子输送层164G和电子注入层165G。
[0386]接着，在设置有空穴注入层161G、空穴输送层162G、绿色发光层163G、电子输送层164G和电子注入层165G的空穴输送层162上，按照空穴注入材料层161BA、空穴输送材料层162BA、蓝色材料层163BA、电子输送材料层164BA和电子注入材料层165BA的顺序成膜(图49A)。空穴注入材料层161BA、空穴输送材料层162BA、蓝色材料层163BA、电子输送材料层164BA和电子注入材料层165BA也可以覆盖在掩模26R、26G上。然后，如图49B所示，在电子注入材料层165BA上的蓝色有机EL元件10B的形成预定区域形成掩模26B之后，除去从掩模26B露出的空穴注入材料层161BA、空穴输送材料层162BA、蓝色材料层163BA、电子输送材料层164BA和电子注入材料层165BA (图49C)。由此形成空穴注入层161B、空穴输送层162B、蓝色发光层163B、电子输送层164B和电子注入层165B。红色有机EL元件10R、绿色有机EL元件10G、蓝色有机EL元件10B可以按任何顺序形成。
[0387]空穴注入层161R、161G、161B ;空穴输送层162R、162G、162B ;红色发光层163R ;绿色发光层163G ;蓝色发光层163B ;电子输送层164R、164G、164B和电子注入层165R、165G、165B也可以使用疏水性掩模(掩模22R、22G、22B)形成。
[0388]< 变形例 12>
[0389]在每个元件上分开设置的有机层16的一部分也可以在相邻的元件之间重叠(变形例12)。
[0390]图50表示绿色发光层163G的一部分重叠形成在红色发光层163R的一部分上的状态。在图50中，省略了基板11、TFT层12、平坦化层13、下部电极14和隔壁15 (以上在图1中表示)。像这样，通过在相邻的元件之间重叠设置发光层163的一部分，可以提高清晰度。在下文中，对此进行说明。
[0391 ] 如图51所示，红色发光层163R、绿色发光层163G、蓝色发光层163B以其宽度从隔壁15的开口的端部延伸距离MA的方式形成。这是因为会产生起因于隔壁15的开口位置与发光层163的形成位置的偏差、以及隔壁15的开口的大小与发光层163的大小的偏差等制造时的误差。决定距离MA除此之外，还要考虑发光层163的端部(在平面图中)的直线度、发光层163的侧面蚀刻量的偏差。另外，在发光层163的蚀刻时，因为在其端部会产生膜厚有偏差的部分，所以这也需要在决定距离MA时加以考虑。
[0392]距离MB是红色发光层163R、绿色发光层163G、蓝色发光层163B的端部与相邻元件的发光区域(隔壁15的开口 )之间的距离。通过设置该距离MB，能够抑制红色发光层163R、绿色发光层163G、蓝色发光层163B对相邻元件的发光的影响。为了提高像素间距、SP清晰度，有必要尽量减小这些距离MA和距离MB。在不影响相邻元件的发光区域的范围内，通过部分重叠相邻元件的发光层163，因为这些距离MA和距离MB变小，所以可以提高清晰度。
[0393]图52A?图52C表示除去图50所示的掩模21R、21G、21B之后的状态。如图52A所示，在红色发光层163R与绿色发光层163G重叠的部分，也可以残留掩模21R。如图52B所示，也可以红色发光层163R与绿色发光层163G重叠，掩模21R被完全除去。如图52C所示，也可以将重叠于红色发光层163R的一部分绿色发光层163G除去。
[0394]除去掩模21R、21G、21B之后的红色发光层163R、绿色发光层163G、蓝色发光层163B的状态取决于发光层163的材料；掩模21R、21G、21B的材料；掩模21R、21G、21B的溶剂的种类以及掩模21R、21G、21B的溶解条件等。例如，在发光层163使用分子间结合力大的材料的情况下，容易成为图52A或图52B所示的状态。在发光层163使用分子间结合力小的材料的情况下，重叠于红色发光层163R的一部分绿色发光层163G容易被除去。也就是说，容易成为图52C所示的状态。作为掩模21R、21G、21B的溶剂，在其溶解性高、并且、渗透性也高的情况下，掩模21R容易成为被完全除去的状态(图52B或图52C所示的状态)。
[0395]在图50?图52C中，虽然对在相邻的元件之间重叠形成有发光层163的一部分的状态进行了说明，但是也可以在相邻的元件之间重叠在每个元件上分开设置的其他有机层16 (例如，空穴注入层、空穴输送层、电子输送层和电子注入层等)。
[0396]〈模块和应用例〉
[0397]下面对在上述实施方式和变形例中所述的显示装置1、2、2A、3的应用例进行说明。上述实施方式等的显示装置可以应用于电视机、数码相机、笔记本个人电脑、手机等移动终端设备或摄像机等以图像或映像的形式显示从外部输入的视频信号或在内部产生的视频信号的所有领域的电子设备的显示装置。
[0398](模块)
[0399]上述实施方式等的显示装置例如作为如图53所示的模块装入后面将要说明的应用例1?5等中列出的各种电子设备。该模块具有以下构造:例如在基板11的一侧设置从保护层和密封基板18露出的区域210，并且在该露出区域210中使信号线驱动电路120和扫描线驱动电路130的配线延伸而形成外部连接端子(未图示)。在外部连接端子中，也可以设置用于信号输入/输出的柔性印刷电路板(FPC flexible Printed Circuit) 220。
[0400](应用例1)
[0401]图54表示应用有上述实施方式等的显示装置的电视机的外观。该电视机例如具有包括前面板310和滤光玻璃320的视频显示屏幕部300。该视频显示屏幕部300由上述实施方式等的显示装置1、2、2A、3构成。
[0402](应用例2)
[0403]图55A、图55B表示应用有上述实施方式等的显示装置的数码相机的外观。该数码相机例如具有闪光用的发光单元410、显示单元420、菜单开关430和快门按钮440。该显示单元420由上述实施方式等的显示装置1、2、2A、3构成。
[0404](应用例3)
[0405]图56表示应用有上述实施方式等的显示装置的笔记本个人电脑的外观。该笔记本个人电脑例如具有主体510、用于文字等的输入操作的键盘520和显示图像的显示单元530。该显示单元530由上述实施方式等的显示装置1、2、2A、3构成。
[0406](应用例4)
[0407]图57表示应用有上述实施方式等的显示装置的摄像机的外观。该摄像机例如具有主体单元610、设于该主体单元610的前侧表面上的目标拍摄镜头620、拍摄开始/停止开关630和显示单元640。该显示单元640由上述实施方式等的显示装置1、2、2A、3构成。
[0408](应用例5)
[0409]图58A、图58B表示应用有上述实施方式等的显示装置的手机的外观。该手机例如通过连接单元(铰链单元)730连接上壳体710与下壳体720，具有显示屏740、子显示屏750、画面灯760和照相机770。该显示屏740和子显示屏750由上述实施方式等的显示装置1、2、2A、3构成。
[0410](照明装置)
[0411]也可以由在上述实施方式和变形例中说明的红色有机EL元件10R、绿色有机EL元件10G、蓝色有机EL元件10B构成照明装置。图43和图44表示通过配置多个红色有机EL元件10R、绿色有机EL元件10G、蓝色有机EL元件10B构成的桌子上用的照明装置的外观。在该照明装置中，例如在底座41上设置支柱42，并且在该支柱42上按装照明单元43，该照明单元43由上述实施方式等的红色有机EL元件10R、绿色有机EL元件10G、蓝色有机EL元件10B构成。照明单元43通过使用可以弯曲的树脂基板等作为基板11，可以形成图59所示的筒状、或图60所示的曲面状等任何形状。
[0412]图61表示应用有上述实施方式等的红色有机EL元件10R、绿色有机EL元件10G、蓝色有机EL元件10B的室内用的照明装置的外观。该照明装置例如具有由上述实施方式等的红色有机EL元件10R、绿色有机EL元件10G、蓝色有机EL元件10B构成的照明单元44。照明单元44以适当的数量和间隔配置在建筑物的天花板50A上。再有，照明单元44并不限于设置在天花板50A上，可以根据用途设置在墙壁50B或地板(未图示)上等任何地方。
[0413]虽然上面列举实施方式和变形例说明了本技术，但本技术不限于上述实施方式等，可以做出各种变化。例如，在上述变形例10中，虽然说明了关于对红色发光层163R、163G、163B ；电子输送层164R、164G、164B以及电子注入层165R、165G、165B进行图案化的情况，但是也可以在设置了红色有机EL元件10R、绿色有机EL元件10G和蓝色有机EL元件10B共用的电子输送层之后形成电子注入层165R、165G、165B。变形例9、10 (图38、42)的显示装置4、5也可以是混合型有机EL显示装置(例如，图19的显示装置2和图21的显示装置2A)。
[0414]另外，在上述实施方式等中，虽然对有机层16包含空穴注入层161、空穴输送层162、发光层163、电子输送层164和电子注入层165的情况进行了说明，但是也可以适当地省略发光层163以外的层。
[0415]进一步说，例如在上述实施方式等中，虽然对驱动方式为有源矩阵型的显示装置进行了说明，但是也可以采用无源矩阵型的显示装置。
[0416]另外，例如在上述实施方式等中，虽然对将第一电极14作为阳极、第二电极17作为阴极的情况进行了说明，但是也可以将阳极和阴极颠倒，即将第一电极14作为阴极、第二电极17作为阳极。
[0417]此外，例如在上述实施方式中说明的各层的材料和厚度、或者成膜方法和成膜条件等不受限制，也可以使用其他材料和厚度、或者其他成膜方法和成膜条件。
[0418]再有，本说明书所记载的效果仅仅是例示，并不限定于此，也可以另外有其他效果Ο
[0419]再有，本技术也可以采用以下结构。
[0420](1)
[0421]—种有机发光元件的制造方法，其中，
[0422]在基板上形成第一有机材料层，
[0423]在所述第一有机材料层上的第一区域形成掩模之后，选择性地除去所述第一有机材料层从而在所述第一区域形成第一有机层。
[0424](2)
[0425]上述(1)所述的有机发光元件的制造方法，其中，用氟树脂、水溶性树脂和乙醇可溶性树脂中的任何一种形成所述掩模。
[0426]⑶
[0427]上述(1)或(2)所述的有机发光元件的制造方法，其中，在形成所述第一有机层之后，使用对所述第一有机层具有不溶性的溶剂除去所述掩模。
[0428](4)
[0429]上述(1)至(3)中的任何一方所述的有机发光元件的制造方法，其中，通过反转胶版印刷法形成所述掩模。
[0430](5)
[0431]上述⑴至⑷中的任何一方所述的有机发光元件的制造方法，其中，在形成所述第一有机层之后，形成1个或多个第二有机层。
[0432](6)
[0433]上述(5)所述的有机发光元件的制造方法，其中，
[0434]在设置有所述掩模和所述第一有机层的所述基板上形成第二有机材料层，
[0435]在所述第二有机材料层上的第二区域形成另一掩模之后，选择性地除去所述第二有机材料层从而在所述第二区域形成所述第二有机层。
[0436](7)
[0437]上述(5)或(6)所述的有机发光元件的制造方法，其中，所述第一有机层和所述第二有机层包含发光层。
[0438](8)
[0439]上述(6)所述的有机发光元件的制造方法，其中，在形成所述第一有机层和所述第二有机层之后，除去所述掩模和所述另一掩模。
[0440](9)
[0441]上述(6)所述的有机发光元件的制造方法，其中，使用蒸镀法形成所述第二有机材料层。
[0442](10)
[0443]—种有机发光元件的制造方法，其中，在基板上的第一区域形成具有开口的疏液性掩模之后，在所述第一区域形成第一有机层。
[0444](11)
[0445]上述(10)所述的有机发光元件的制造方法，其中，在形成所述第一有机层之后，形成1个或多个第二有机层。
[0446](12)
[0447]上述(11)所述的有机发光元件的制造方法，其中，在所述基板上的第二区域形成具有开口的另一疏液性掩模之后，在所述第二区域形成所述第二有机层。
[0448](13)
[0449]上述(12)所述的有机发光元件的制造方法，其中，以覆盖所述第一有机层的上表面和侧面的方式形成所述另一掩模。
[0450](14)
[0451]上述(11)所述的有机发光元件的制造方法，其中，在形成所述第一有机层之后，通过印刷法在第二区域形成所述第二有机层。
[0452](15)
[0453]上述(11)所述的有机发光元件的制造方法，其中，
[0454]在所述基板上，使第二区域的厚度比所述第一区域的厚度厚从而形成段差形成层，
[0455]在所述第二区域形成所述第二有机层。
[0456](16)
[0457]上述(11)至(15)中的任何一方所述的有机发光元件的制造方法，其中，所述第一有机层和所述第二有机层包含发光层。
[0458](17)
[0459]上述(16)所述的有机发光元件的制造方法，其中，
[0460]形成多个所述第二有机层，
[0461]在第二区域形成所述第二有机层中的至少一个，并且以从所述第二区域延伸到所述第一区域的方式形成其他第二有机层中的至少一个。
[0462](18)
[0463]上述(17)所述的有机发光元件的制造方法，其中，
[0464]在形成所述第一有机层之后，形成连接层，
[0465]在所述连接层的整个表面形成所述其他第二有机层中的至少一个。
[0466](19)
[0467]—种显示装置的制造方法，包括形成有机发光元件，
[0468]在所述有机发光元件的形成方法中，
[0469]在基板上形成第一有机材料层，
[0470]在所述第一有机材料层上的第一区域形成掩模之后，选择性地除去所述第一有机材料层从而在所述第一区域形成第一有机层。
[0471](20)
[0472]—种显示装置的制造方法，包括形成有机发光元件，
[0473]在所述有机发光元件的形成方法中，在基板上的第一区域形成具有开口的疏液性掩模之后，在所述第一区域形成第一有机层。
[0474]本技术含有涉及在2013年9月19日在日本专利局提交的日本优先权专利申请JP2013-194362中技术的主旨，其全部内容包括在此，以供参考。
[0475]本区域的技术人员应该理解，虽然根据设计要求和其他因素可能出现各种变形例、组合、子组合和可替换项，但是它们均包含在附加的权利要求或它的等同物的范围内。
【主权项】
1.一种有机发光元件的制造方法，其中， 在基板上形成第一有机材料层， 在所述第一有机材料层上的第一区域形成掩模之后，选择性地除去所述第一有机材料层从而在所述第一区域形成第一有机层。2.根据权利要求1所述的有机发光元件的制造方法，其中， 用氟树脂、水溶性树脂和乙醇可溶性树脂中的任何一种形成所述掩模。3.根据权利要求1所述的有机发光元件的制造方法，其中， 在形成所述第一有机层之后，使用对所述第一有机层具有不溶性的溶剂除去所述掩模。4.根据权利要求1所述的有机发光元件的制造方法，其中， 通过反转胶版印刷法形成所述掩模。5.根据权利要求1所述的有机发光元件的制造方法，其中， 在形成所述第一有机层之后，形成1个或多个第二有机层。6.根据权利要求5所述的有机发光元件的制造方法，其中， 在设置有所述掩模和所述第一有机层的所述基板上形成第二有机材料层， 在所述第二有机材料层上的第二区域形成另一掩模之后，选择性地除去所述第二有机材料层从而在所述第二区域形成所述第二有机层。7.根据权利要求5所述的有机发光元件的制造方法，其中， 所述第一有机层和所述第二有机层包含发光层。8.根据权利要求6所述的有机发光元件的制造方法，其中， 在形成所述第一有机层和所述第二有机层之后，除去所述掩模和所述另一掩模。9.根据权利要求6所述的有机发光元件的制造方法，其中， 使用蒸镀法形成所述第二有机材料层。10.一种有机发光元件的制造方法，其中， 在基板上的第一区域形成具有开口的疏液性掩模之后，在所述第一区域形成第一有机层。11.根据权利要求10所述的有机发光元件的制造方法，其中， 在形成所述第一有机层之后，形成1个或多个第二有机层。12.根据权利要求11所述的有机发光元件的制造方法，其中， 在所述基板上的第二区域形成具有开口的另一疏液性掩模之后，在所述第二区域形成所述第二有机层。13.根据权利要求12所述的有机发光元件的制造方法，其中， 以覆盖所述第一有机层的上表面和侧面的方式形成所述另一掩模。14.根据权利要求11所述的有机发光元件的制造方法，其中， 在形成所述第一有机层之后，通过印刷法在第二区域形成所述第二有机层。15.根据权利要求11所述的有机发光元件的制造方法，其中， 在所述基板上，使第二区域的厚度比所述第一区域的厚度厚从而形成段差形成层， 在所述第二区域形成所述第二有机层。16.根据权利要求11所述的有机发光元件的制造方法，其中， 所述第一有机层和所述第二有机层包含发光层。17.根据权利要求16所述的有机发光元件的制造方法，其中， 形成多个所述第二有机层， 在第二区域形成所述第二有机层中的至少一个，并且以从所述第二区域延伸到所述第一区域的方式形成其他第二有机层中的至少一个。18.根据权利要求17所述的有机发光元件的制造方法，其中， 在形成所述第一有机层之后，形成连接层， 在所述连接层的整个表面形成所述其他第二有机层中的至少一个。19.一种显示装置的制造方法，包括形成有机发光元件， 在所述有机发光元件的形成方法中， 在基板上形成第一有机材料层， 在所述第一有机材料层上的第一区域形成掩模之后，选择性地除去所述第一有机材料层从而在所述第一区域形成第一有机层。20.一种显示装置的制造方法，包括形成有机发光元件， 在所述有机发光元件的形成方法中，在基板上的第一区域形成具有开口的疏液性掩模之后，在所述第一区域形成第一有机层。
【专利摘要】本技术提供一种有机发光元件的制造方法，其中，在基板上形成第一有机材料层，并且在所述第一有机材料层上的第一区域形成掩模之后，选择性地除去所述第一有机材料层从而在所述第一区域形成第一有机层。
【IPC分类】H05B33/10, H05B33/12, H05B33/22, B41M1/02, B41M1/34, B41M3/06, H01L51/50, B41M1/30
【公开号】CN105393642
【申请号】CN201480040161
【发明人】安藤真人, 山口润, 田中正信, 福田智男, 安松亮, 福田敏生
【申请人】株式会社日本有机雷特显示器
【公开日】2016年3月9日
【申请日】2014年9月3日
【公告号】US20160181532, WO2015041053A1