一种真空吸盘的制作方法

本实用新型涉及半导体设备领域，特别是涉及一种真空吸盘。

背景技术：

快速热退火(rapid thermal annealing：RTA)是将工件加热到较高温度，根据材料和工件尺寸采用不同的保温时间，然后进行快速冷却，目的是使金属内部组织达到或接近平衡状态，获得良好的工艺性能和使用性能。

RTA在现代半导体产业有重要的应用。可以极快的升温至目标温度(1000℃～1300℃)后短暂持续，以对硅片进行热处理；快速的升温过程和短暂的持续时间能够在晶格缺陷的修复、激活杂质和最小化杂质扩散三者之间取得优化，而且RTA还能减小瞬时增强扩散。相对于炉管退火，它具有热预算少，硅中杂质运动小，玷污小和加工时间短等特点。

RTA一般是在快速热退火机台中进行，现有的快速热退火机台一般包括1～3个退火腔室，而每个退火腔室有409根灯泡，每根灯泡的寿命约为两年，通常做法是在灯泡寿命到期之前提前更换；现有更换灯泡的方式一般是手动一根一根进行更换，比较浪费时间。

鉴于此，有必要设计一种新的真空吸盘用以解决上述技术问题。

技术实现要素：

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种真空吸盘，解决了现有更换灯泡耗费时间较长的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种真空吸盘，所述真空吸盘包括：

内设有空腔的吸盘本体，其中，所述吸盘本体一表面设有若干与所述空腔贯通的安装槽孔；

设于所述安装槽孔上的灯泡抓取装置；

设于所述空腔内、且与所述灯泡抓取装置连接的真空室；及

设于所述吸盘本体外、且与所述真空室连接的吸真空装置。

优选地，所述真空吸盘还包括：

设于所述灯泡抓取装置外围的保护装置；

设于所述空腔内、且与所述保护装置连接的弹性装置；及

设于所述吸盘本体外、且与所述弹性装置连接的收缩装置。

优选地，所述真空吸盘还包括：连接所述灯泡抓取装置及所述真空室的连接装置。

优选地，所述灯泡抓取装置包括中空的柱形软管，其中，所述柱形软管的内径与待抓取灯泡的外径相同。

优选地，所述弹性装置包括弹簧。

优选地，所述收缩装置包括吸真空装置或拉伸装置。

优选地，所述吸真空装置包括真空泵。

如上所述，本实用新型的一种真空吸盘，具有以下有益效果：通过本实用新型提供的真空吸盘进行灯泡的更换，可实现一次更换多根灯泡，大大节省了更换灯泡的时间；而且本实用新型还通过保护筒的设计，避免在更换灯泡过程中对灯泡的损坏，起到保护灯泡的作用。

附图说明

图1显示为本实用新型实施例一所述真空吸盘的结构示意图。

图2显示为本实用新型实施例二所述真空吸盘的结构示意图。

图3至图6显示为本实用新型所述真空吸盘抓取灯泡的示意图。

元件标号说明

100 真空吸盘

101 吸盘本体

102 空腔

103 安装槽孔

104 灯泡抓取装置

105 真空室

106 吸真空装置

107 保护装置

108 弹性装置

109 收缩装置

110 连接装置

200 灯头结构

201 灯槽

202 灯泡

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。

请参阅图1至图6。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

实施例一

如图1所示，本实施例提供一种真空吸盘，所述真空吸盘100包括：

内设有空腔102的吸盘本体101，其中，所述吸盘本体101一表面设有若干与所述空腔102贯通的安装槽孔103；

设于所述安装槽孔103上的灯泡抓取装置104，

设于所述空腔102内、且与所述灯泡抓取装置104连接的真空室105；及

设于所述吸盘本体101外、且与所述真空室105连接的吸真空装置106。

需要说明的是，所述安装槽孔的位置决定了所述灯泡抓取装置的位置，而安装槽孔的位置则由灯头装置中的灯泡分布位置决定。

作为示例，如图1所示，所述真空吸盘100还包括：设于所述灯泡抓取装置104外围的保护装置107，设于所述空腔102内、且与所述保护装置107连接的弹性装置108，及设于所述吸盘本体101外、且与所述弹性装置108连接的收缩装置109。

具体的，所述保护装置107的长度不小于所述灯泡抓取装置104与待抓取灯泡的长度之和。

作为示例，如图1所示，所述真空吸盘100还包括：连接所述灯泡抓取装置104及所述真空室105的连接装置110。

具体的，所述灯泡抓取装置104为中空的柱形软管，其中，所述柱形软管的内径与待抓取灯泡的外径相同。

优选地，在本实施例中，所述吸盘本体101为圆形结构；所述柱形软管为橡胶管；所述吸真空装置为真空泵；所述保护装置107为保护筒，其中，所述保护筒的直径大于所述灯泡抓取装置104的直径；所述弹性装置108为弹簧。

作为示例，如图1所示，所述收缩装置109包括吸真空装置；优选地，所述吸真空装置包括真空泵。

作为另一示例，如图2所示，所述收缩装置109包括拉伸装置；优选地，所述拉伸装置为分别与所述弹性装置连接的拉环。

下面请参阅图3至图6对本实施例所述真空吸盘抓取灯泡的工作过程进行详细说明。

如图3所示，将真空吸盘100与灯头结构200中灯槽201内的灯泡202对准；再如图4所示，通过收缩装置109使弹性装置108收缩，进而带动所述保护装置107收缩，释放出灯泡抓取装置104，并将灯泡抓取装置104插入灯槽201；再如图5所示，通过吸真空装置106吸取所述空腔102内的空气，使灯泡抓取装置104夹紧灯泡202，进而将灯泡202从灯槽201中吸出，同时通过收缩装置109释放弹性装置108，进而释放保护装置107；最后如图6所示，关闭吸真空装置106，减小灯泡抓取装置104对灯泡202的吸力，使灯泡202落至保护装置107内，完成灯泡202的抓取操作。

综上所述，本实用新型的一种真空吸盘，具有以下有益效果：通过本实用新型提供的真空吸盘进行灯泡的更换，可实现一次更换多根灯泡，大大节省了更换灯泡的时间；而且本实用新型还通过保护筒的设计，避免在更换灯泡过程中对灯泡的损坏，起到保护灯泡的作用。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。