感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、有机el显示装置及液晶显示装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种感光性树脂组合物。所述感光性树脂组合物含有：(A)包含满足下述(1)及(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分：(1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的残基的构成单元、以及(a2)具有环氧基的构成单元的聚合物，(2)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的残基的构成单元的聚合物、以及包括(a2)具有环氧基的构成单元的聚合物；(B)光酸产生剂；(C)分子量小于1000的脂环式环氧化合物；以及(D)溶剂。
【专利说明】感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、有机EL显 示装置及液晶显示装置
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种感光性树脂组合物（以下，有时简称为"本发明的组合物"）。另 夕卜，本发明涉及一种使用上述感光性树脂组合物的硬化膜的制造方法、将感光性组合物硬 化而成的硬化膜、使用上述硬化膜的各种图像显示装置。
[0002] 更详细而言，本发明涉及一种适合于形成液晶显示装置、有机电激发光 (electroluminescence, EL)显示装置、集成电路元件、固体摄影元件等电子零件的平坦化 膜、保护膜或层间绝缘膜的感光性树脂组合物以及使用所述感光性树脂组合物的硬化膜的 制造方法。
【背景技术】
[0003] 在有机EL显示装置、或液晶显示装置等中设置有经图案形成的层间绝缘膜。就用 以获得必需的图案形状的步骤数少，而且可获得充分的平坦性等而言，在所述层间绝缘膜 的形成中广泛使用感光性树脂组合物。
[0004] 对于上述显示装置中的层间绝缘膜，除了绝缘性、耐溶剂性、耐热性、硬度、以及氧 化铟锡（indium tin oxide, IT0)溉镀适应性优异等硬化膜物性以外，还期望高的透明性。 因此，尝试使用透明性优异的丙烯酸系树脂作为膜形成成分，例如已知有专利文献1中记 载的树脂。
[0005] [现有技术文献]
[0006] [专利文献]
[0007] [专利文献1]日本专利特开2011-209681号公报
【发明内容】
[0008] 发明要解决的课题
[0009] 然而，本发明人进行研究，结果获知，专利文献1中记载的感光性树脂组合物中， 接触孔的均匀性不充分。本申请发明的目的为解决上述问题，目的在于提供一种不仅维持 高感度以及耐热后的透明性，而且可形成均匀的接触孔的感光性树脂组合物。
[0010] 解决问题的技术手段
[0011] 基于所述状况，本申请发明人进行研究，结果发现，通过使用具有环氧基的构成单 元作为聚合物成分中所含的交联性基的构成单元，且调配分子量小于1000的脂环式环氧 化合物作为交联剂，不仅可维持高感度以及加热后的透明性、而且可形成均匀的接触孔。所 述机制并不确定，但认为，脂环式环氧化合物由于快速捕获由酸产生剂产生的酸，故而可形 成均匀的接触孔。
[0012] 具体而言，通过以下的解决手段〈1>，优选为通过〈2>?〈17>来解决上述课题。
[0013] 〈1> 一种感光性树脂组合物，其含有：
[0014] (A)包含满足下述（1)及（2)的至少一个的聚合物的聚合物成分：
[0015] (1)包括（al)具有酸基由酸分解性基保护的残基的构成单元、以及（a2)具有环氧 基的构成单元的聚合物，
[0016] (2)包括（al)具有酸基由酸分解性基保护的残基的构成单元的聚合物、以及包括 (a2)具有环氧基的构成单元的聚合物；
[0017] (B)光酸产生剂；
[0018] (C)分子量小于1000的脂环式环氧化合物；以及
[0019] (D)溶剂。
[0020] 〈2>如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中上述（C)脂环式环氧化合物是由 下述式（1)所表示：
[0021] 式（1)
[0022] [化 1]
[0023]
【权利要求】
1. 一种感光性树脂组合物，其含有： (A) 包含满足下述（1)及（2)的至少一个的聚合物的聚合物成分； (1) 包括（al)具有酸基由酸分解性基保护的残基的构成单元、以及（a2)具有环氧基的 构成单元的聚合物， (2) 包括（al)具有酸基由酸分解性基保护的残基的构成单元的聚合物、以及包括（a2) 具有环氧基的构成单元的聚合物； (B) 光酸产生剂； (C) 分子量小于1000的脂环式环氧化合物；以及 (D) 溶剂。
2. 根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述（C)脂环式环氧化合物是由下 述式⑴所表示： 式⑴
(式⑴中，η表示1?4的整数R1表示碳数1?30的有机基）。
3. 根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，其中，R1表示碳数1?15的有机基。
4. 根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述（C)脂环式环氧化合物是 由下述式（2)所表示： 式⑵
(式⑵中，R2表不碳数1?15的有机基）。
5. 根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述（C)脂环式环氧化合物是 由下述式（3)所表示： 式⑶
(式⑶中，R3表不碳数1?15的有机基）。
6. 根据权利要求1至5中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，还包含所述（C)脂环 式环氧化合物以外的交联剂。
7. 根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述（C)脂环式环氧化合物是 由下述式（X-I)所表示： 式（X-I)
(式（x-l)中，R4表示碳数1?27的有机基；R5分别表示碳数1?27的取代基；其中， 除去1个脂环式环氧基的碳数为3?30)。
8. 根据权利要求1、2、7中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述（C)脂环式环氧 化合物是由下述式（X-2)所表示： 式（X-I)
(式（X-2)中，R4分别表示碳数1?27的有机基；R5表示碳数1?27的取代基；其中， 除去1个脂环式环氧基的碳数为3?30)。
9. 根据权利要求1、2、7、8中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述（C)脂环式环 氧化合物是由下述式（X-3)所表示： 式（X-I)
(式（X-3)中，R4分别表示碳数1?27的有机基；其中，除去1个脂环式环氧基的碳数 为3?30)。
10. 根据权利要求1至9中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述酸分解性基是 具有以缩醛的形式受到保护的结构的基团。
11. 根据权利要求1至10中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述（A)聚合物成 分的任一个为还含有酸基的聚合物。
12. 根据权利要求1至11中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述（B)光酸产生 剂为肟磺酸酯化合物。
13. -种硬化膜的制造方法，其特征在于包括： (1) 将根据权利要求1至12中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上的步骤； (2) 自所涂布的感光性树脂组合物中去除溶剂的步骤； (3) 利用活性放射线对去除了溶剂的感光性树脂组合物进行曝光的步骤； (4) 利用水性显影液对经曝光的感光性树脂组合物进行显影的步骤；以及 (5) 对经显影的感光性树脂组合物进行热硬化的后烘烤步骤。
14. 根据权利要求13所述的硬化膜的形成方法，其中，在所述进行显影的步骤后、后烘 烤步骤前，包括对经显影的感光性树脂组合物进行全面曝光的步骤。
15. -种硬化膜，其是利用根据权利要求13或14所述的方法而形成。
16. 根据权利要求15所述的硬化膜，其为层间绝缘膜。
17. -种有机电激发光显示装置或液晶显示装置，其包括根据权利要求15或16所述的 硬化膜。
【文档编号】G03F7/004GK104395826SQ201380033024
【公开日】2015年3月4日 申请日期:2013年6月20日 优先权日:2012年6月27日
【发明者】柏木大助, 山田悟 申请人:富士胶片株式会社