感光性树脂组合物、硬化物及其制造方法、树脂图案制造方法、硬化膜、液晶显示装置、有 ...的制作方法
【专利摘要】本发明的目的在于提供一种折射率高、透明性优异的感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物的特征在于包括：(成分A)含有满足(1)及(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分，(成分S)由式(S)表示、且具有至少1种酸基的分散剂，(成分B)光酸产生剂，(成分C)金属氧化物粒子，以及(成分D)溶剂。(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元的聚合物、及具有(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物
【专利说明】感光性树脂组合物、硬化物及其制造方法、树脂图案制造方 法、硬化膜、液晶显示装置、有机EL显示装置以及触摸屏显 示装置
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种感光性树脂组合物（以下，有时仅称为"本发明的组合物"）。另 夕卜，本发明涉及一种使上述感光性树脂组合物硬化而成的硬化物及其制造方法、使用上述 感光性树脂组合物的树脂图案制造方法、使上述感光性组合物硬化而成的硬化膜、以及使 用上述硬化膜的各种图像显示装置。
[0002] 更详细而言，本发明涉及一种适合于形成液晶显示装置、有机电致发光 (Electroluminescence,EL)显示装置、触摸屏显示装置、集成电路元件、固体摄影元件等的 电子零件的平坦化膜、保护膜或层间绝缘膜的感光性树脂组合物、及使用其的硬化膜的制 造方法。
【背景技术】
[0003] 根据固体摄影元件或液晶显示装置的发展，而开始广泛进行利用有机原材料（树 脂）来制作微透镜、光波导、抗反射膜等光学构件。
[0004] 为了使这些光学构件的折射率高，正研究添加氧化钛等粒子（参照下述专利文献 1)。
[0005] 另外，作为现有的负型感光性树脂组合物，已知有专利文献2?专利文献4中所记 载的感光性树脂组合物。
[0006] 现有技术文献
[0007] 专利文献
[0008] 专利文献1 :日本专利特开2006-98985号公报
[0009] 专利文献2 :日本专利特开2011-127096号公报
[0010] 专利文献3 :日本专利特开2009-179678号公报
[0011] 专利文献4 :日本专利特开2008-185683号公报
【发明内容】
[0012] 发明要解决的课题
[0013] 本发明的目的在于提供一种折射率高、透明性优异的感光性树脂组合物。
[0014] 解决问题的技术手段
[0015] 本发明的上述课题通过以下的〈1>、〈8>?〈11>或〈13>?〈15>中所记载的手段 来解决。以下一并记载作为优选的实施形态的〈2>?〈7>及〈12>。
[0016] 〈1> 一种感光性树脂组合物，其特征在于包括：（成分A)含有满足下述（1)及下述 (2)的至少一个的聚合物的聚合物成分，（1)具有（al)含有酸基由酸分解性基保护的基的 构成单元、及（a2)含有交联性基的构成单元的聚合物，（2)具有（al)含有酸基由酸分解性 基保护的基的构成单元的聚合物、及具有（a2)含有交联性基的构成单元的聚合物；（成分 S)由下述式（S)表示、且具有至少1种酸基的分散剂；（成分B)光酸产生剂；（成分C)金 属氧化物粒子；以及（成分D)溶剂；
[0017][化 1]
【权利要求】
1. 一种感光性树脂组合物，其特征在于包括： (成分A)含有满足下述（1)及下述（2)的至少一个的聚合物的聚合物成分， (1) 具有（al)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、及（a2)含有交联性基的构 成单元的聚合物， (2) 具有（al)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元的聚合物、及具有（a2)含有 交联性基的构成单元的聚合物； (成分S)由下述式（S)表示、且具有至少1种酸基的分散剂； (成分B)光酸产生剂； (成分C)金属氧化物粒子；以及 (成分D)溶剂，
(式（S)中，R3表示（m+n)价的连结基，R4及R5分别独立地表示单键或二价的连结基，A2表示含有至少1种选自由有机色素结构、杂环结构、酸基、具有碱性氮原子的基、脲基、氨 基甲酸酯基、具有配位性氧原子的基、烷氧基硅烷基、酚基、烷基、芳基、具有亚烷氧基链的 基、酰亚胺基、烷氧基羰基、烷基氨基羰基、羧酸盐基、磺酰胺基、环氧基、异氰酸酯基及羟基 所组成的群组的部分结构的一价的有机基，n个A2、R4可相同也可不同，m表示0?8,n表 不2?9,m+n为3?10,P2表不高分子骨架，m个P2、R5可相同也可不同）。
2. 根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，成分C为氧化钛粒子或氧化锆粒 子。
3. 根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述A2为含有至少1种酸基 的一价的有机基。
4. 根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述P2为丙烯酸树 脂骨架。
5. 根据权利要求1至4中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，成分A含有满足所述 (1)的聚合物。
6. 根据权利要求1至5中任一项所述的感光性树脂组合物，其还包括（成分E)交联 剂。
7. 根据权利要求1至6中任一项所述的感光性树脂组合物，其还包括（成分F)抗氧化 剂。
8. -种硬化物的制造方法，其至少依次包括步骤（a)?步骤（c): (a) 涂布步骤，将根据权利要求1至7中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板 上； (b) 溶剂去除步骤，自所涂布的树脂组合物中去除溶剂；以及 (c) 热处理步骤，对去除了溶剂的树脂组合物进行热处理。
9. 一种树脂图案制造方法，其至少依次包括步骤（1)?步骤（5): (1) 涂布步骤，将根据权利要求1至7中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上 的涂布步骤； (2) 溶剂去除步骤，自所涂布的树脂组合物中去除溶剂的溶剂去除步骤； (3) 曝光步骤，利用光化射线将去除了溶剂的树脂组合物曝光成图案状； (4) 显影步骤，利用水性显影液对经曝光的树脂组合物进行显影；以及 (5) 热处理步骤，对经显影的树脂组合物进行热处理。
10. -种硬化物，其是通过根据权利要求8所述的硬化物的制造方法或根据权利要求9 所述的树脂图案制造方法而获得。
11. 一种硬化膜，其是使根据权利要求1至7中任一项所述的感光性树脂组合物硬化而 形成。
12. 根据权利要求11所述的硬化膜，其为层间绝缘膜。
13. -种液晶显示装置，其包括根据权利要求11或12所述的硬化膜。
14. 一种有机电致发光显示装置，其包括根据权利要求11或12所述的硬化膜。
15. -种触摸屏显示装置，其包括根据权利要求11或12所述的硬化膜。
【文档编号】G03F7/004GK104412161SQ201380034042
【公开日】2015年3月11日 申请日期:2013年6月27日 优先权日:2012年6月28日
【发明者】中村秀之, 铃木成一, 藤盛淳一, 山下史绘, 荒山恭平, 久保田诚 申请人:富士胶片株式会社