一种pet转移镭射膜的真空镀膜的制造方法

文档序号:3306847阅读:228来源:国知局
一种pet转移镭射膜的真空镀膜的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种PET转移镭射膜的真空镀膜机,其结构包括工作机体、抽真空装置、蒸发加热装置和回转控制系统,回转控制系统设置在蒸发加热装置的上方;工作机体的侧面还连有吹气装置,吹气装置的一端穿过工作机体的侧壁并伸至回转控制系统的上方。本实用新型不仅可以通过吹气使PET转移镭射膜的膜层更加平整,从而提高了产品的质量;而且可以通过电极加热加快了堵料的蒸发,提高了工作效率;并且本设计采用真空室镀料,具有良好的密封性,可以起到防止物料蒸发后飞出,不仅降低了成本的浪费,而起还防止了物料飞出后对环境造成污染。
【专利说明】一种PET转移镭射膜的真空镀膜机
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种真空离子蒸发镀膜机,特别是一种PET转移镭射膜的真空镀膜机。
【背景技术】
[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行镀膜的机械设备,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。现实中PET转移镭射膜的镀铝就需要用到真空离子蒸发镀膜机,此装置具有良好的镀铝效果,制造出的PET转移镭射膜的产品质量相较同类产品具有较大优势。但市面上的真空镀膜机所镀的铝层上存在着气泡,极大的影响了 PET转移镭射膜的产品质量。
[0003]中国发明专利第CN102899620A号公开了一种真空镀膜装置,其结构包括真空沉积腔室、位于真空沉积腔室内的托架和靶材,托架为网状的穹顶结构,托架之环部通过环状滚珠轴承支撑在位于真空沉积腔室内的环形支撑架,托架之环部侧部为齿条,并与位于真空沉积腔室内的驱动齿轮啮合,驱动齿轮上转轴延伸出真空沉积腔室后,由控制马达驱动转动,靶材位于该穹顶结构下方,还设有一个可控制靶材加热挥发的加热机构,穹顶结构与真空沉积腔室顶部之间至少设有一个能对托架上的工件加热的电热丝加热体,加热机构为安装于真空沉积腔室内的、可放置靶材的槽状金属加热体,槽状金属加热体两侧设有一对电极,对电极另一端引出于真空沉积腔室后,分别与电源变压器之次级绕组引出端连接。此装置制造出的PET转移镭射膜的膜层不够平整,会对PET转移镭射膜的产品质量造成很大影响。

【发明内容】

[0004]本实用新型需要解决的技术问题是通过真空镀膜机生产PET转移镭射膜时,在吹气地作用下使PET转移镭射膜的膜层更加平整,从而提高产品的质量;提供一种PET转移镭射膜的真空镀膜机。
[0005]为解决上述的技术问题,本实用新型的结构包括工作机体、抽真空装置、蒸发加热装置和回转控制系统,回转控制系统设置在蒸发加热装置的上方;工作机体的侧面还连有吹气装置,吹气装置的一端穿过工作机体的侧壁并伸至回转控制系统的上方。
[0006]进一步:所述的吹气装置是由抽气泵和排气管所组成,抽气泵安装在工作机体的侧壁上,排气管的一端穿过工作机体的侧壁并伸至回转控制系统的上方,正对回转控制系统的排气管下方密布着出气小孔,排气管通过橡胶套筒与工作机体进行密封。
[0007]又进一步:所述的工作机体内设有检测装置,检测装置是由光电开关和水晶振荡监控器所组成,光电开关和水晶振荡监控器分别安装在回转控制系统两侧工作机体的侧壁上。
[0008]又进一步:所述的回转控制系统是由五个旋转滚筒所组成,五个旋转滚筒呈“W”字形排列安装在工作机体的内部。[0009]又进一步:所述的蒸发加热装置为电极蒸发装置,电极蒸发装置包括正极碳棒和负极碳棒,正极碳棒和负极碳棒分别安装在工作机体两侧侧壁的底部,正极碳棒和负极碳棒之间还夹装着玛棒。
[0010]再进一步:所述的抽真空装置包括机械泵、增压泵和油扩散泵,机械泵与油扩散泵相连,机械泵、增压泵和油扩散泵分别与四向密封阀相连,四向密封阀通过管道与工作机体的内部相连通。
[0011]采用上述结构后,本实用新型不仅可以通过吹气使PET转移镭射膜的膜层更加平整,从而提高了产品的质量;而且可以通过电极加热加快了堵料的蒸发,提高了工作效率;并且本设计采用真空室镀料,具有良好的密封性,可以起到防止物料蒸发后飞出,不仅降低了成本的浪费,而起还防止了物料飞出后对环境造成污染。
【专利附图】

【附图说明】
[0012]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细的说明。
[0013]图1为本实用新型的结构示意图。
[0014]图2为图1中2的结构示意图。
[0015]图中:1为工作机体,2为抽真空装置,3为正极碳棒,4为负极碳棒,5为坞棒,6为抽气泵,7为排气管,8为出气小孔,9为旋转滚筒,10为橡胶套筒,11为水晶振荡监控器,12为光电开关,13为机械泵,14为增压泵,15为油扩散泵,16为四向密封阀
【具体实施方式】
[0016]如图1所示的一种PET转移镭射膜的真空镀膜机,其结构包括工作机体1、抽真空装置2、蒸发加热装置和回转控制系统,回转控制系统设置在蒸发加热装置的上方;工作机体I的侧面还连有吹气装置,吹气装置的一端穿过工作机体I的侧壁并伸至回转控制系统的上方。所述的吹气装置是由抽气泵6和排气管7所组成,抽气泵6安装在工作机体I的侧壁上,排气管7的一端穿过工作机体I的侧壁并伸至回转控制系统的上方,正对回转控制系统的排气管7下方密布着出气小孔8,排气管7通过橡胶套筒10与工作机体I进行密封。所述的回转控制系统是由五个旋转滚筒9所组成,五个旋转滚筒9呈“W”字形排列安装在工作机体I的内部,每个旋转滚筒9都与一个电机相连。工作时先通过抽真空装置2对工作机体I的内部进行抽真空,使真空度保持在10_3MPa左右,当真空度满足要求后打开蒸发加热装置,利用蒸发加热装置对放置在蒸发加热装置上的铝进行加热,当温度达到1300°C至1400°C时,铝会气化向上升腾,在温度达到要求后的同时打开安装在旋转滚筒9上的电机,通过电机带动旋转滚筒9旋转,从而使PET转移镭射膜呈“W”字形来回运动,升腾上来的铝蒸汽会在PET转移镭射膜的膜层上附着,从而完成对PET转移镭射膜的镀铝。本实用新型在工作机体I内加设了吹气装置,此设计是用来去除PET转移镭射膜在镀铝时所产生的气泡,升腾上来的铝蒸汽在附着在膜层的同时会把部分残存在工作机体I内的空气包含进去从而形成一个个气泡,本实用新型通过抽气泵6把外界的空气通过排气管7输送进工作机体I内,再通过出气小孔8向在工作机体I内来回运转的PET转移镭射膜吹气,最终通过吹气去除膜层上的气泡,使PET转移镭射膜的膜层在附着铝时更加平整。在吹气的过程中不断对工作机体I的内部抽真空,使真空度始终保持在10_3MPa左右。本设计加设的吹气装置不仅能够使PET转移镭射膜的膜层和镀铝层更加贴合、更加平整,提高了产品的质量;而且本实用新型采用先抽真空,在一边吹气一边抽真空的方式进行镀铝,不仅保护的自身结构,而且还保证了真空度的稳定。
[0017]如图2所示的抽真空装置2包括机械泵13、增压泵14和油扩散泵15,机械泵13与油扩散泵15相连,机械泵13、增压泵14和油扩散泵15分别与四向密封阀16相连,四向密封阀16通过管道与工作机体I的内部相连通,四向密封阀16与工作机体I的连接处设有油室,通过油室对工作机体I进行密封。本实用新型通过机械泵13、增压泵14和油扩散泵15并控制四向密封阀16对工作机体I的内部进行抽真空。本设计先通过四向密封阀16使机械泵13与工作机体I相连通,利用机械泵13对工作机体I的内部抽真空,使工作机体I内的真空度达到2 X KT2MPa ;再控制四向密封阀16使增压泵14与工作机体I相连通,利用增压泵14对工作机体I内抽真空,使真空度达到2 X KT3MPa ;最后控制四向密封阀16使油扩散泵15与工作机体I相连通,同时打开机械泵13和油扩散泵15,利用机械泵13和油扩散泵15共同对工作机体I抽真空,使真空度达到10_3MPa ;从而完成对PET转移镭射膜镀铝时真空度的要求。当利用吹气装置向PET转移镭射膜吹气时,同样打开机械泵13和油扩散泵15,共同利用机械泵13和油扩散泵15对工作机体I抽真空,通过边抽气边吹气,使工作机体I内的真空度始终保持在10_3MPa左右,此时PET转移镭射膜的镀铝效果最好。
[0018]如图1所示的工作机体I内设有检测装置,检测装置是由光电开关12和水晶振荡监控器11所组成,光电开关12和水晶振荡监控器11分别安装在回转控制系统两侧工作机体I的侧壁上。本实用新型通过光电开关12和水晶振荡监控器11的配合对PET转移镭射膜的膜层进行检测,光电开关12是通过检测反射率和折射率的变化来测定PET转移镭射膜的膜层厚度,水晶振荡监控器11是通过石英晶体的振动频率与其质量成反比的原理对PET转移镭射膜进行检测,此设计通过在镀铝中段和尾段对PET转移镭射膜的镀铝效果进行检测,保证了 PET转移镭射膜的镀铝效果,从而提高了 PET转移镭射膜的产品质量。
[0019]如图1所示的蒸发加热装置为电极蒸发装置,电极蒸发装置包括正极碳棒3和负极碳棒4,正极碳棒3和负极碳棒4分别安装在工作机体I两侧侧壁的底部,正极碳棒3和负极碳棒4之间还夹装着玛棒5。操作时通过给正极碳棒3和负极碳棒4通电,对位于正极碳棒3和负极碳棒4之间的坞棒5进行加热,从而对放置在坞棒5上的铝进行加热,当温度达到1300°C -1400°C时,铝会气化升腾,从而实现对PET转移镭射膜镀铝目的。本实用新型通过电极加热,缩短的加热时间,提高了加热效率。而且本实用新型还具有良好的密封性,不仅在抽真空装置2与工作机体I的连接处设有油室,通过油室对工作机体I进行密封;而且在排气管7与工作机体I的连接处设有橡胶密封圈10,通过橡胶密封圈10对工作机体I进行密封,此设计不仅保证了工作机体I内真空度的稳定,而且也起到了防止气态铝的飞出对环境造成污染。
【权利要求】
1.一种PET转移镭射膜的真空镀膜机,结构包括工作机体(I )、抽真空装置(2)、蒸发加热装置和回转控制系统,回转控制系统设置在蒸发加热装置的上方;其特征在于:工作机体(I)的侧面还连有吹气装置,吹气装置的一端穿过工作机体(I)的侧壁并伸至回转控制系统的上方。
2.根据权利要求1所述的一种PET转移镭射膜的真空镀膜机,其特征在于:所述的吹气装置是由抽气泵(6)和排气管(7)所组成,抽气泵(6)安装在工作机体(I)的侧壁上,排气管(7)的一端穿过工作机体(I)的侧壁并伸至回转控制系统的上方,正对回转控制系统的排气管(7)下方密布着出气小孔(8),排气管(7)通过橡胶套筒(10)与工作机体(I)进行密封。
3.根据权利要求1所述的一种PET转移镭射膜的真空镀膜机,其特征在于:所述的工作机体(I)内设有检测装置,检测装置是由光电开关(12)和水晶振荡监控器(11)所组成,光电开关(12)和水晶振荡监控器(11)分别安装在回转控制系统两侧工作机体(I)的侧壁上。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的一种PET转移镭射膜的真空镀膜机,其特征在于:所述的回转控制系统是由五个旋转滚筒(9)所组成,五个旋转滚筒(9)呈“W”字形排列安装在工作机体(I)的内部。
5.根据权利要求1所述的一种PET转移镭射膜的真空镀膜机,其特征在于:所述的蒸发加热装置为电极蒸发装置,电极蒸发装置包括正极碳棒(3)和负极碳棒(4),正极碳棒(3)和负极碳棒(4)分别安装在工作机体(I)两侧侧壁的底部,正极碳棒(3)和负极碳棒(4)之间还夹装着玛棒(5)。
6.根据权利要求1所述的一种PET转移镭射膜的真空镀膜机,其特征在于:所述的抽真空装置(2)包括机械泵(13)、增压泵(14)和油扩散泵(15),机械泵(13)与油扩散泵(15)相连,机械泵(13)、增压泵(14)和油扩散泵(15)分别与四向密封阀(16)相连,四向密封阀(16)通过管道与工作机体(I)的内部相连通。
【文档编号】C23C14/24GK203700488SQ201320834093
【公开日】2014年7月9日 申请日期:2013年12月16日 优先权日:2013年12月16日
【发明者】时亚东 申请人:江苏赛恩斯包装材料有限公司
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