一种真空镀膜设备观察窗的冷却装置的制作方法

本实用新型涉及及真空镀膜设备技术领域，尤其涉及一种真空镀膜设备观察窗的冷却装置。

背景技术：

视窗装置主要负责真空镀膜设备中观察真空腔体内大转盘，卫星盘、夹具以及装在夹具上的工件在不同工艺过程中的状态，对镀膜设备的正常运行，发现工艺的异常情况等起着非常关键的作用，传统的视窗装置采用真空密封玻璃较厚(12mm)。在中空镀膜工艺过程中，真空腔室内部温度较高，外界温度相对较低，由于温度差使得视窗玻璃雾化，模糊不清，导致操作人员难以观察内部的镀膜情况。

为此，我们提出一种真空镀膜设备观察窗的冷却装置来解决上述问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的问题，而提出的一种真空镀膜设备观察窗的冷却装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种真空镀膜设备观察窗的冷却装置，包括真空壳体，所述真空壳体的一侧侧壁上设有观察窗框，所述观察窗框中设有视窗玻璃，所述观察窗框的一侧侧壁上设有环形安装槽，且环形安装槽中设有与其相匹配的环形冷凝管，所述环形冷凝管的上下两侧分别设有第一进水管和第一出水管，所述真空壳体的上侧侧壁上设有水箱，且水箱为中空结构，所述水箱的底部设有循环水泵，所述循环水泵中设有第二进水管，且第二进水管的管口位于水箱的底部，所述循环水泵中还设有第二出水管，且第二出水管贯穿水箱的侧壁并与第一进水管通过法兰相连接，所述第一出水管的一侧贯穿观察窗框和真空壳体的侧壁通过法兰固定连接有横向设置的第一排水管，位于第一排水管的正上方设有第二排水管，所述第一排水管和第二排水管之间通过螺旋冷凝管相连通，所述第二排水管的一侧贯穿水箱的侧壁设置。

优选地，所述真空壳体的一侧侧壁上设有L型安装块，且L型安装块的侧壁上设有风扇。

优选地，所述循环水泵的外侧侧壁上套设有安装外壳，且安装外壳为中空结构，所述安装外壳中填设有消音棉。

优选地，所述第二出水管的一侧侧壁上设有流量控制阀。

优选地，所述螺旋冷凝管的数量为多个。

优选地，所述视窗玻璃为双层真空视窗玻璃。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该真空镀膜设备观察窗的冷却装置通过环形冷凝管的设置对视窗玻璃进行冷却降温，且通过循环水泵对冷却液进行循环，在被加热的冷却液通过外界的多个螺旋冷凝管进行降温冷却后进图水箱中，从而实现了冷却液的循环使用，且有效的避免了视窗玻璃出现雾化的现象，从而保证操作人员可以实时观察内部的镀膜情况。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种真空镀膜设备观察窗的冷却装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种真空镀膜设备观察窗的冷却装置真空壳体的局部剖面结构示意图。

图中：1真空壳体、2水箱、3循环水泵、4第二出水管、5第二进水管、6流量控制阀、7第一进水管、8螺旋冷凝管、9第一出水管、10第一排水管、11L型安装块、12风扇、13第二排水管、14视窗玻璃、15环形冷凝管、16环形安装槽、17观察窗框。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

参照图1-2，一种真空镀膜设备观察窗的冷却装置，包括真空壳体1，真空壳体1的一侧侧壁上设有观察窗框17，观察窗框17中设有视窗玻璃14，视窗玻璃14为双层真空视窗玻璃，保证真空壳体内部的真空度，便于后续的镀膜操作，观察窗框17的一侧侧壁上设有环形安装槽16，且环形安装槽16中设有与其相匹配的环形冷凝管15，环形冷凝管15的上下两侧分别设有第一进水管7和第一出水管9，真空壳体1的上侧侧壁上设有水箱2，且水箱2为中空结构，水箱2的底部设有循环水泵3，循环水泵3的外侧侧壁上套设有安装外壳，且安装外壳为中空结构，安装外壳中填设有消音棉，减低循环水泵3运行时带来的噪音污染，循环水泵3中设有第二进水管5，且第二进水管5的管口位于水箱2的底部，循环水泵3中还设有第二出水管4，且第二出水管4贯穿水箱2的侧壁并与第一进水管7通过法兰相连接，第二出水管4的一侧侧壁上设有流量控制阀6，保证出水的水压，合理控制流量，第一出水管9的一侧贯穿观察窗框17和真空壳体1的侧壁通过法兰固定连接有横向设置的第一排水管10，位于第一排水管10的正上方设有第二排水管13，第一排水管10和第二排水管13之间通过螺旋冷凝管8相连通，螺旋冷凝管8的数量为多个，提高加热后的冷却液的降温效率，第二排水管13的一侧贯穿水箱2的侧壁设置，真空壳体1的一侧侧壁上设有L型安装块11，且L型安装块11的侧壁上设有风扇12，保证被加热后的冷却液的冷却降温效果。

本实用新型中，该真空镀膜设备观察窗的冷却装置在进行镀膜操作时，同时启动循环水泵3，通过流量控制阀6调节水的流量，保证水压稳定，通过第二出水管4将冷却水进第一进水管7送入环形冷凝管15中，环形冷凝管15从而对视窗玻璃14的侧壁进行降温处理，从而有效保证视窗玻璃14内外的温度差处于合理的范围，从而避免了视窗玻璃14发生雾化现象，最后冷却液经第一出水管9和第一排水管10进入多个螺旋冷凝管8中，并通过风扇12辅助冷却，使得冷却液被重新降温进入水箱2中，从而实现冷却液的循环使用。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。