n，然后用 纯度为99.9%的高压氮气吹干；超声清洗的超声频率为201(监、功率为700胖；
[0033] 步骤二、采用磁控瓣射工艺制备金属薄膜，其工作条件为：首先将磁控瓣射仪抽真 空至小于5Pa，然后开分子累，50min后开高真空计，查看瓣射真空腔内真空度，直至瓣射真 空腔内真空度至小于4X104Pa;采用体积比为100 : 1的氣气和氧气为本底气体，将透明 基片放置在将要瓣射的侣介质祀材上方，然后打开本底气体阀口开关W100毫升/分钟的 通入量向腔内充体积比为100 : 1的氣气和氧气，同时调节磁控瓣射仪闽板阀至工作气压 为1. 2Pa，接着打开射频电源，调节至侣祀材瓣射所需功率150W，透明基片溫度25°C，瓣射 50min，得到80皿厚的侣薄膜。
[0034] 步骤=、取一接收基体放置在计算机控制的=维移动平台上，可在计算机中预设 所要沉积的图形，如平行线，将所述透明基体的沉积有侣薄膜的一面与所述接收基体相接 触，同时采用分束片将皮秒激光器发出的光束W1 :1的比例分成两束，两束光束的直径分 别为4mm，然后用焦距均为120mm的两个聚焦透镜将两束光聚焦，两束光束的夹角为50°并 使之作用于所述透明基体的另一面对侣薄膜进行福照，聚焦处的光斑直径为30ym，在计算 机程序的控制下，在接受基体上沉积侣的有序微结构；所述皮秒激光器的工作参数为：脉 宽1化S，波长53化m，脉冲频率50曲Z;
[0035] 步骤四、将沉积有侣有序微结构的接收基体加入到浓度为1X10Smol/L的氯金酸 水溶液中，在25°C下，揽拌至溶液颜色从淡黄色转变为红色时停止反应，此时，发生置换反 应，氯金酸中的金离子被侣置换出来，侣的有序微结构置换为金的有序微结构，将接收基体 用乙醇冲洗5次，然后烘干，即在接收基体表面得到金纳米粒子有序微结构；图3示出了金 纳米粒子有序微结构的吸收光谱图，从图中500~600nm处的吸收峰可W确认金纳米粒子 的存在。
[0036] 实施例2 :
[0037] 一种金纳米粒子有序微结构的制备方法，包括W下步骤：
[0038] 步骤一、将一透明基体分别用纯净水、洗涂剂、丙酬和乙醇超声清洗lOmin，然后用 纯度为99.9%的高压氮气吹干；超声清洗的超声频率为301(监、功率为800胖；
[0039] 步骤二、采用电子束蒸锻工艺制备金属薄膜，其方法为：将铜膜料放到电子束蒸发 设备的相蜗中，将透明基片放到电子束蒸发设备的加热电炉上，使透明基片位于相蜗正上 方25cm处；在真空度为5X10中a下锻膜，透明基片溫度控制在50°C，调节电子束使其聚焦 到铜膜料上的斑点最小，控制束流值在80mA，蒸发速率为化5A/S，沉积时间为60min，得到 铜薄膜。
[0040] 步骤=、取一接收基体放置在计算机控制的=维移动平台上，可在计算机中预设 所要沉积的图形，如平行线，将所述透明基体的沉积有铜薄膜的一面与所述接收基体相接 触，同时采用分束片将皮秒激光器发出的光束W1:1的比例分成两束，两束光束的直径分 别为4mm，然后用焦距均为120mm的两个聚焦透镜将两束光聚焦，两束光束的夹角为60°并 使之作用于所述透明基体的另一面对铜薄膜进行福照，聚焦处的光斑直径为30ym，在计算 机程序的控制下，在接受基体上沉积侣的有序微结构；所述皮秒激光器的工作参数为：脉 宽50ps，波长1064皿，脉冲频率100曲Z;
[0041] 步骤四、将沉积有铜有序微结构的接收基体加入到浓度为1X10Smol/L的氯金酸 水溶液中，在25°C下，揽拌至溶液颜色从淡黄色转变为红色时停止反应，此时，发生置换反 应，氯金酸中的金离子被铜置换出来，铜的有序微结构置换为金的有序微结构，将接收基体 用乙醇冲洗5次，然后烘干，即在接收基体表面得到金纳米粒子有序微结构。 W42] 实施例3 :
[0043] 一种销纳米粒子有序微结构的制备方法，包括W下步骤：
[0044] 步骤一、将一透明基体分别用纯净水、洗涂剂、丙酬和乙醇超声清洗lOmin，然后用 纯度为99.9%的高压氮气吹干；超声清洗的超声频率为251(监、功率为800胖；
[0045]步骤二、采用磁控瓣射工艺制备金属薄膜，其工作条件为：首先将磁控瓣射仪抽真 空至小于5Pa，然后开分子累，50min后开高真空计，查看瓣射真空腔内真空度，直至瓣射真 空腔内真空度至小于4X104Pa;采用体积比为100 : 1的氣气和氧气为本底气体，将透明 基片放置在将要瓣射的侣介质祀材上方，然后打开本底气体阀口开关W100毫升/分钟的 通入量向腔内充体积比为100 : 1的氣气和氧气，同时调节磁控瓣射仪闽板阀至工作气压 为I. 2Pa，接着打开射频电源，调节至侣祀材瓣射所需功率150W，透明基片溫度25°C，瓣射 50min，得到80皿厚的侣薄膜。
[0046] 步骤=、取一接收基体放置在计算机控制的=维移动平台上，可在计算机中预设 所要沉积的图形，如平行线，将所述透明基体的沉积有侣薄膜的一面与所述接收基体相接 触，同时采用分束片将皮秒激光器发出的光束W1 :1的比例分成两束，两束光束的直径分 别为4mm，然后用焦距均为120mm的两个聚焦透镜将两束光聚焦，两束光束的夹角为90°并 使之作用于所述透明基体的另一面对侣薄膜进行福照，聚焦处的光斑直径为30ym，在计算 机程序的控制下，在接受基体上沉积侣的有序微结构；所述皮秒激光器的工作参数为：脉 宽I(K)PS,波长1070皿，脉冲频率500曲Z;
[0047] 步骤四、将沉积有侣有序微结构的接收基体加入到浓度为1X10Smol/L的氯销酸 水溶液中，在25°C下，揽拌至溶液颜色从淡黄色转变为暗褐色时停止反应，此时，发生置换 反应，氯销酸中的销离子被侣置换出来，侣的有序微结构置换为销的有序微结构，将接收基 体用乙醇冲洗5次，然后烘干，即在接收基体表面得到销纳米粒子有序微结构。 引 实施例4 :
[0049] 一种金纳米粒子有序微结构的制备方法，包括W下步骤：
[0050] 步骤一、将一透明基体分别用纯净水、洗涂剂、丙酬和乙醇超声清洗lOmin，然后用 纯度为99.9%的高压氮气吹干；超声清洗的超声频率为301(监、功率为800胖；
[0051] 步骤二、采用电子束蒸锻工艺制备金属薄膜，其方法为：将锋膜料放到电子束蒸发 设备的相蜗中，将透明基片放到电子束蒸发设备的加热电炉上，使透明基片位于相蜗正上 方25cm处；在真空度为5X10中a下锻膜，透明基片溫度控制在80°C，调节电子束使其聚焦 到锋膜料上的斑点最小，控制束流值在80mA，蒸发速率为化5A/S，沉积时间为50min，得到 锋薄膜。
[0052] 步骤=、取一接收基体放置在计算机控制的=维移动平台上，可在计算机中预设 所要沉积的图形，如平行线，将所述透明基体的沉积有锋薄膜的一面与所述接收基体相接 触，同时采用分束片将皮秒激光器发出的光束W1 :1的比例分成两束，两束光束的直径分 别为4mm，然后用焦距均为120mm的两个聚焦透镜将两束光聚焦，两束光束的夹角为50°并 使之作用于所述透明基体的另一面对锋薄膜进行福照，聚焦处的光斑直径为30ym，在计算 机程序的控制下，在接受基体上沉积锋的有序微结构；所述皮秒激光器的工作参数为：脉 宽50ps，波长532nm，脉冲频率100曲Z;
[0053] 步骤四、将沉积有锋有序微结构的接收基体加入到浓度为0. 5X10Smol/L的氯金 酸乙醇溶液中，在50°C下，揽拌至溶液颜色从淡黄色转变为红色时停止反应，此时，发生置 换反应，氯金酸中的金离子被锋置换出来，锋的有序微结构置换为金的有序微结构，将接收 基体用乙醇冲洗5次，然后烘干，即在接收基体表面得到金纳米粒子有序微结构。
[0054] 实施例5 : 阳化5] -种金纳米粒子有序微结构的制备方法，包括W下步骤：
[0056] 步骤一、将一透明基体分别用纯净水、洗涂剂、丙酬和乙醇超声清洗lOm