用于生产镀膜玻璃的镀膜段及其用途的制作方法

文档序号:11210190阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种用于生产镀膜玻璃的镀膜段及其应用,所述镀膜段至少包括:若干隔离腔室、传输单元、气体隔离单元,阴极靶材、抽真空单元、以及冷却单元;每个隔离腔室依次连接,每个隔离腔室的顶部设置可打开的盖板,每个盖板大小和形状一致;每个所述隔离腔室的内部设置气体隔离单元或者阴极靶材;所述传输单元设置在隔离腔室内的下方且贯通所有隔离腔室;每个装有所述气体隔离单元的隔离腔室上的盖板上设置抽真空装置;安装有所述阴极靶材的隔离腔室内部还设置冷却单元。本发明中的工艺布置可以满足多种单、双银产品的生产;生产不同的产品,靶材位置需要变动时,可以简便、及时的变动;未来产品更新换代,需预留一定的工艺升级空间。

技术研发人员:井治;刘锐;王程;张超群;葛治亮;王贝
受保护的技术使用者:中国建材国际工程集团有限公司
技术研发日:2017.07.03
技术公布日:2017.10.10
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