针状ZnO纳米薄膜的制备方法与流程

文档序号:12356209阅读:224来源:国知局

本发明涉及功能材料技术领域,具体涉及一种针状ZnO纳米薄膜的制备方法。



背景技术:

ZnO是一种优良的半导体材料,室温下能带带隙为3.37eV,激子束缚能60meV,加上其具有各方面的优异性能且制作成本低廉,是目前公认的优良半导体材料,被广泛应用于光电器件、压电器件、光催化、透明薄膜晶体管等诸多领域。已有的研究表明,ZnO的物理化学性能与其形貌、晶粒尺度以及维度等因素密切相关。纳米棒、纳米针等一维ZnO材料,由于宽禁带、长径比大、尖端尖锐等特点使其成为最重要的场发射材料。目前,纳米氧化锌的制备方法已有很多种,比如:气相运输沉积法、热蒸发法、化学气相沉积法、溶胶-凝胶法、模板生长法、水热合成法等,可综合将其归纳为气-固法,气-液-固法以及模板法。采用超声水解机械研磨过的原料锌粉制备出了纳米氧化锌颗粒薄膜。采用阳极氧化技术在附有ZnO晶种层的Zn 基底上制备出了针状ZnO纳米棒薄膜,制备的薄膜具有良好的发光性能和光催化性能。有研究表明,碱性环境对ZnO纳米棒的生长会取到促进作用。在对氧化锌成膜的实中,采用HMT辅助水热法合成了纳米ZnO薄膜。



技术实现要素:

本发明旨在提出一种针状ZnO纳米薄膜的制备方法。

本发明的技术方案在于:

针状ZnO纳米薄膜的制备方法,包括如下步骤:

(1)Zn分散液的制备

用去离子水和初始浓度为0.4~0.6mol/L的碱性试剂配制Zn 分散液,锌粉加入量1~1.2g;将装有碱性试剂的玻璃瓶超声清洗;超声完后制得含有ZnO纳米颗粒分散液,静置10min待用;

(2)薄膜的制备

将上述制备的ZnO 纳米颗粒分散液中的上层乳白色液体取出,离心、去掉上层清液,将得到的溶液超声分散后将其滴到洁净的硅片上,将硅片置入烘箱中干燥。

所述的碱性试剂为NaOH溶液。

所述的碱性试剂为氨水。

所述的超声清洗的功率为400~600W,频率25~30 kHz,超声时间为8~10h,超声温度为50~60℃。

所述的超声分散的时间为15~20min。

所述的烘箱干燥温度为50~80℃,干燥时间为2~3h。

本发明的技术效果在于:

本发明合成的针状纳米ZnO平均长径比大,针状纳米ZnO薄膜在紫外波段有较强的发射峰,而可见光峰相对较弱,显示了其结晶完整且具有良好的光学性能,对于纳米电子器件的发展具有参考意义。

具体实施方式

针状ZnO纳米薄膜的制备方法,包括如下步骤:

实施例1

(1)Zn分散液的制备

用去离子水和初始浓度为0.4~0.6mol/L的碱性试剂配制Zn 分散液,锌粉加入量1~1.2g;将装有碱性试剂的玻璃瓶超声清洗;超声完后制得含有ZnO纳米颗粒分散液,静置10min待用;

(2)薄膜的制备

将上述制备的ZnO 纳米颗粒分散液中的上层乳白色液体取出,离心、去掉上层清液,将得到的溶液超声分散后将其滴到洁净的硅片上,将硅片置入烘箱中干燥。

实施例2

(1)Zn分散液的制备

用去离子水和初始浓度为0.4mol/L的碱性试剂配制Zn 分散液,锌粉加入量1g;将装有碱性试剂的玻璃瓶超声清洗;超声完后制得含有ZnO纳米颗粒分散液,静置10min待用;

(2)薄膜的制备

将上述制备的ZnO 纳米颗粒分散液中的上层乳白色液体取出,离心、去掉上层清液,将得到的溶液超声分散后将其滴到洁净的硅片上,将硅片置入烘箱中干燥。

其中,所述的碱性试剂为NaOH溶液。所述的超声清洗的功率为400W,频率25 kHz,超声时间为8h,超声温度为50℃。所述的超声分散的时间为15min。所述的烘箱干燥温度为50℃,干燥时间为2h。

实施例3

(1)Zn分散液的制备

用去离子水和初始浓度为0.6mol/L的碱性试剂配制Zn 分散液,锌粉加入量1.2g;将装有碱性试剂的玻璃瓶超声清洗;超声完后制得含有ZnO纳米颗粒分散液,静置10min待用;

(2)薄膜的制备

将上述制备的ZnO 纳米颗粒分散液中的上层乳白色液体取出,离心、去掉上层清液,将得到的溶液超声分散后将其滴到洁净的硅片上,将硅片置入烘箱中干燥。

其中,所述的碱性试剂为氨水。所述的超声清洗的功率为600W,频率30 kHz,超声时间为10h,超声温度为60℃。所述的超声分散的时间为20min。所述的烘箱干燥温度为80℃,干燥时间为3h。

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