在上述处理部11与待机部13之间设置有如后文所述在水平方向上自由移动的搬送机构30，利用该搬送机构30将盒12从待机部13搬送至晶片W的正上方位置，对该晶片W排出抗蚀剂液。在该例子中，处理部11排列设置于二处，盒12配置有多个，例如6个。
[0088]如图1所示，各处理部11设置有用于吸引保持晶片W的背面侧的旋转吸盘14，各旋转吸盘14在未图示的旋转机构的作用下绕铅垂轴自由旋转。图1中15是杯形体，16是用于使晶片W升降的升降销。另外，图1中10是配置各处理部11的基部。
[0089]如图1和图2所示，待机部13呈大致箱型，在与上述处理部11的排列方向正交的方向上载置6个盒12。该待机部13中配置有对各盒12补充抗蚀剂液的机构，以及用于读取贮存在各盒12内的抗蚀剂液的种类的部件，关于这些机构和部件将在后文进行说明。另夕卜，上述图1中由于搬送机构30保持着盒12，因此待机部13中载置有5个盒12。
[0090]接着，对载置于待机部13的盒12详细进行说明。如图3所示，该盒12呈大致薄板状，形成为在俯视时沿着上述搬送机构30的进退方向延伸。盒12的上表面一侧设置有供搬送机构30握持的板状的被握持部12a，该被握持部12a在相对于盒12的上表面稍微离开的位置处固定于盒12。该被握持部12a的下表面(被后述的臂部53握持的部位)设置有用于进行盒12的定位的未图示的凸起部。
[0091]在盒12的长方向的一端侧的下表面，设置有具有用于排出抗蚀剂液的排出口的喷嘴21和用于进行该盒12的定位的定位部件12c。即，如后述图8所示，在待机部13的表面配置有凸起状的凸起部13a，定位部件12c的下表面以与该凸起部13a卡合的方式凹陷。如图4所示，在盒12的下表面一侧的例如中央部粘贴有IC芯片12b作为用于记录该盒12中贮存的抗蚀剂液的种类的存储部，该IC芯片12b中也存储有表示该盒12是否为正品的信息。
[0092]而且，在盒12的长方向的另一端侧的侧面，为了将该盒12内的抗蚀剂液向着喷嘴21挤出，作为挤出部(驱动轴部)的轴22的前端部沿着盒12的长方向延伸。S卩，如图4所示，在盒12内形成有贮存抗蚀剂液的贮存室23，在贮存室23与喷嘴21之间形成有将该贮存室23与喷嘴21内部的流路连通的液体流通路径24。
[0093]将贮存室23的内壁面中轴22 —侧的内壁面称为壁面部25，该壁面部25形成为与贮存室23的顶面、底面以及其它侧面各自离开，并且与该轴22的基端部连接而能够自由进退。在壁面部25的背面(与轴22连接的面)与作为轴22的插入口的开口部22c之周围的贮存室23的内壁面之间，遍及该轴22的周方向而气密地配置有蛇腹状的波纹管体26。换而言之，贮存室23的开口部22c与波纹管体26的开口部彼此连结。因而，当轴22向着喷嘴21—侧前进时，由波纹管体26包围的区域在贮存室23内膨胀(增大)，所以该贮存室23内的抗蚀剂液被挤出至该喷嘴21 —侧。
[0094]另外，在轴22的外周面的接近基端部(壁面部25 —侧)的部位，可相对于该外周面自由伸出缩回的锁定部27作为限制机构形成于多个位置，例如形成于2处。该锁定部27被配置成在贮存室23内不与波纹管体26干涉，并且随着轴22的退出动作而到达贮存室23的外侧时，与开口部22c的边缘部卡合以限制壁面部25的位置。
[0095]在该轴22的前端部设置有圆板状且中空的被卡合部件22a，在该被卡合部件22a的与轴22相反一侧的侧面形成有细长的孔部22b，用于与后述的补充机构46 (具体而言指卡合部46e)卡合。关于使该轴22进退的结构，将后文中与补充机构46 —起说明。
[0096]贮存室23的下表面形成有用于对该贮存室23内补充抗蚀剂液的补充口 28，从该补充口 28延伸的流路中配置有止回阀29作为用于防止抗蚀剂液逆流的防逆流机构。SP，该止回阀29构成为，使抗蚀剂液能够从补充口 28 —侧向贮存室23内流动，而抗蚀剂液不会从贮存室23内向补充口 28 —侧逆流。
[0097]上述的液体流通路径24中，按照从贮存室23 —侧向着喷嘴21 —侧的顺序配置有开闭阀24a和回吸阀24b，其中，开闭阀24a作为用于进行该液体流通路径24的开闭的防逆流机构，回吸阀24b作为用于从喷嘴21的前端返回液体的滴液抑制机构。该开闭阀24a和回吸阀24b各自构成为通过使气体流入该开闭阀24a和回吸阀24b的背面一侧的区域或对该区域排气(抽吸)而进行驱动的隔膜阀。具体而言，当对开闭阀24a的背面一侧的区域供给气体时，该开闭阀24a封闭液体流通路径24，而将开闭阀24a的背面一侧的区域设定为负压(抽吸)时，抗蚀剂液在液体流通路径24中流通。
[0098]另外，当对回吸阀24b的背面一侧的区域供给气体时，该回吸阀24b位于沿着液体流通路径24的内表面的位置。而当对回吸阀24b的背面一侧的区域进行抽吸时，回吸阀24b从液体流通路径24后退，将该液体流通路径24内的抗蚀剂液吸入到回吸阀24b —侧。此外，对该开闭阀24a和回吸阀24b进行气体的供给和排放的气体流通路径被设置于臂部53 一侧，构成为随着臂部53在盒12上的安装/拆卸而连接/解除，此处简化其说明。
[0099]因而，以上所说明的盒12如图5所示地，当打开开闭阀24a，使轴22向喷嘴21 —侧前进时，抗蚀剂液被从该喷嘴21排出。该抗蚀剂液的排出量基于轴22的前进量(轴22的位置)设定。即，当轴22前进时，如上所述由于波纹管体26所包围的区域的体积在贮存室23内增大，因此预先通过实验等掌握该区域的增大量与轴22的位置的关系，根据轴22的位置设定抗蚀剂液的排出量。接着，如图6所示，当抗蚀剂液的排出处理结束后，回吸阀24b从液体流通路径24 —侧后退时，液体从喷嘴21的前端一侧被返回。
[0100]另一方面，如图7所示，当关闭开闭阀24a，使轴22后退时，止回阀29被打开，抗蚀剂液经设置于待机部13的处理液补充路径41和补充口 28补充到贮存室23内。在使轴22进一步后退而使得锁定部(Iacth) 27退避到盒12的外侧时，该锁定部27卡合于轴22的开口部22c的边缘部，将轴22的位置限制于贮存室23内填充了(充满状态)抗蚀剂液的状态。另外，图5?图7中盒12描绘得比较简略。
[0101]上述待机部13构成为，如以上所说明的那样对盒12补充抗蚀剂液，并读取存储在IC芯片12b内的信息，进而对喷嘴21进行清洗。具体而言，待机部13的上表面排列形成有6处盒12的待机区域31，如图8所示，在各待机区域31的喷嘴21的下方一侧形成有凹部32。另外，图8中盒12描绘得比较简略，并且省去了其中的一部分。
[0102]S卩，该凹部32形成为比喷嘴21的外径尺寸大一圈。另外，用于对喷嘴21的前端部供给清洗液或用于防止干燥的气体的供给管33的前端部开口于该凹部32的内壁面。图8中34和35分别是阀和流量调整部，该例中，为了能够分别供给液体状的稀释剂和气体状的稀释剂作为上述清洗液和气体，而被设置于从各供给源36a、36b延伸的供给路径37上。该凹部32的下表面一侧向着下方一侧管状地伸出而作为排液路径38。
[0103]在凹部32的侧方侧，形成有与盒12的定位部件12c卡合的凸起部13a。因而，当使定位部件12c与凸起部13a彼此卡合时，待机区域31上的盒12实现了定位，即使轴22前后移动，盒12的位置也不会偏移。另外，该凸起部13a形成于多处，不过此处简化了其记载。
[0104]待机区域31上的与止回阀29对应的部位形成为与该止回阀29相对地向上方一侧凸出的凸出部40。用于对盒12补充抗蚀剂液的处理液补充路径41的一端侧在该凸出部40的上表面开口，该处理液补充路径41的开口端形成于在俯视时与补充口 28彼此重合的位置。在凸出部40，以包围处理液补充路径41的开口端的周围的方式埋设有O形环等密封部件40a，在对盒12补充抗蚀剂液时，通过该密封部件40a使得处理液补充路径41与盒12 (止回阀29)彼此气密地连接。处理液补充路径41的另一端侧在待机部13的下方位置例如经供液泵42与贮存有抗蚀剂液的贮存部43连接。该供液泵42构成为，在对盒12补充抗蚀剂液时，停止对该供液泵42内的抗蚀剂液的流路的干涉，使得抗蚀剂液自由在该流路中流通，而当抗蚀剂液补充结束后将该抗蚀剂液的液面高度位置维持于凸出部40的上表面。即，该供液泵42的作用在于，使抗蚀剂液的液面水平不下降，以尽量使气泡不会经处理液补充路径41的内部进入盒12内。另外，为了防止处理液补充路径41中抗蚀剂液的逆流(下降)，也可以设置止回阀来代替这样的供液泵42。
[0105]另外，待机区域31上形成有用于例如不接触地读取存储在盒12的IC芯片12b中的信息的读取部44，该读取部44所读取的信息例如经铺设于待机部13内部的未图示的信号通路而传递至后述的控制部71。
[0106]在待机区域31的侧方侧，以与载置于该待机区域31的盒12的轴22相对的方式配置有补充机构46，该补充机构46构成为在沿着该轴22延伸的方向上配置的轨道45上自由进退。具体而言，补充机构46包括在轨道45上行走的基座46a、在该基座46a上沿铅垂方向伸出的支承柱46b、和由该支承柱46b支承的旋转机构46c。该旋转机构46c的盒12一侧的侧面，与沿轴22的长方向水平延伸的旋转轴(驱动机构)46d的基端部连接，该旋转轴46d构成为能够在与待机区域31上的盒12的轴22相同高度的位置绕水平轴旋转。
[0107]如图9所示，在旋转轴46d的前端部(盒12 —侧的端部)设置有在与旋转轴46d的长方向正交的方向上延伸的棒状的卡合部46e，该卡合部46e形成为该卡合部46e的长方向中心部由旋转机构46c支承。相比与该卡合部46e相对的轴22的被卡合部件22a上的孔部22b，卡合部46e形成得小一圈。因而，当使该卡合部46e (补充机构46)向轴22—侧前进而使得卡合部46e被收纳于孔部22b内之后，通过使该卡合部46e绕水平轴例如旋转90°，使该卡合部46e与被卡合部件22a彼此卡合。这样，通过使补充机构46前后移动，贝Ij如图10所示，轴22与补充机构46 —起前后移动。另外，图10表示了将轴22从盒12抽出到尽头的状态，因此盒12内充满抗蚀剂液。
[0108]在以上说明的待机部13的附近，形成有贮存溶剂的未图示的贮液部，由于贮存在该贮液部中的