技术总结
本发明公开了一种微桥结构锰钴镍氧薄膜红外探测器件及其制备方法。探测器的微桥结构为一平台，将锰钴镍氧薄膜材料沉积在该平台上制作红外探测器，其微桥结构的牺牲层采取直接加热的方式去除，而无需在锰钴镍氧探测元上再沉积一层钝化层，且牺牲层可以在内部形成拱形的支撑结构，也简化了制作流程，节约了成本，提高了器件之作的成功率，同时由于其平台结构强度较高，在红外器件的诸如涂黑漆、封装等步骤中不易受损。
技术研发人员：黄志明;张飞;周炜;吴敬;黄敬国;高艳卿;曲越;孙雷;江林;姚娘娟;褚君浩
受保护的技术使用者：中国科学院上海技术物理研究所
文档号码：201610893671
技术研发日：2016.10.13
技术公布日：2017.02.15