一种非接触式高精密晶片面型测量仪器的制作方法

文档序号:11985431阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种非接触式高精密晶片面型测量仪器,其特征在于,包括工作台底板和激光测距感测器,所述工作台底板呈方形,并水平设置,其所呈的方形的两端设有2个支撑座台,所述支撑座台呈长方体,其所呈的长方体的上端面水平,且2个支撑座台上端面同水平高度,2个支撑座台上分别设有2个第一导轨,所述2个第一导轨平行设置;

所述2个支撑座台上设有移动载台,所述移动载台包括上移动载台和下移动载台,所述下移动载台呈长方形,包括两侧的2个滑台和镂空台,所述滑台的下端设有第一滑槽,所述第一滑槽与第一导轨对应配合,实现下移动载台在支撑座台上的水平前后滑动,所述镂空台位于2个滑台之间,滑台和镂空台为一体式结构,镂空台的中部开有垂直的通孔;

所述下移动载台的上端面上设有第二导轨,所述第二导轨与第一导轨垂直,所述上移动载台的下端面上设有第二滑槽,所述第二滑槽与第二导轨对应配合,实现上移动载台在下移动载台上的水平左右滑动,上移动载台的中部设有测量盘,其左侧设有分度拨盘,所述测量盘呈圆形,其下端固定设有呈圆形的齿条,其中部开有测量孔,所述测量孔呈圆形,其所呈的圆形的周边设有3个晶片支撑脚,所述3个晶片支撑脚呈三角设置,位于测量孔内,所述测量盘以上移动载台的中心为轴心自由转动,其下端的齿条通过链条与分度拨盘相连,分度拨盘转动带动测量盘转动;

所述2个支撑座台的后侧设有横跨2个支撑座台的横梁,所述横梁上第三导轨,所述第三导轨竖直设置,其上设有横杆,所述横杆水平设置,并与第三导轨垂直,其后端设有第三滑槽,所述第三滑槽与第三导轨对应配合,实现横杆在第三导轨上的竖直上下滑动;

所述激光测距感测器包括上激光测距感测器和下激光测距感测器,所述上激光测距感测器固定设置于横杆的前端,上激光测距感测器内设有上测距感测器和激光发射器,上测距感测器和激光发射器的感应和发射方向竖直朝下,所述下激光测距感测器固定设置于工作台底板上,位于2个支撑座台之间,下激光测距感测器内设有下测距感测器和激光接收器,下测距感测器和激光接收器的感应和接收方向竖直朝位下。

2.如权利要求1所述的一种非接触式高精密晶片面型测量仪器,其特征在于,所述3个晶片支撑脚处于同一水平面内,且3个晶片支撑脚所构成的支撑面与水平面平行。

3.如权利要求1所述的一种非接触式高精密晶片面型测量仪器,其特征在于,所述上激光测距感测器和下激光测距感测器相对设置。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1