磁盘用玻璃基板、磁盘的制作方法_2

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用的磁盘用玻璃基板(以下,作为"玻璃组成 2',)。
[0035] 在图IA?图IC以及图2中示出本实施方式的磁盘用玻璃基板G的形状。图IA 是本实施方式的磁盘用玻璃基板的俯视图。图IB是示出沿图IA中的X-X箭头观察的放大 截面的图。图IC是将图IB的一部分进一步放大并示出的图。图2是图IB的重要部位放 大图。另外,在此,为了获得截面的形状,可采用轮廓形状测量仪进行测量,而不需要实际切 断基板。具体地说,例如只要以外周侧的倒角面近似水平的方式固定玻璃基板并使固定了 的玻璃基板或轮廓形状测量仪的触针在玻璃基板的半径方向上移动即可。
[0036] 如图IA所示,本实施方式的磁盘用玻璃基板G具备在中心形成有圆形圆孔且具有 环状外形的环型的形状。如图IB所示,本实施方式的磁盘用玻璃基板G具有一对主表面 llp、12p和内周侧的侧壁面(S卩,圆孔的侧壁面)及外周侧的侧壁面(S卩,外形的侧壁面)这 两个侧壁面。在图IB中,玻璃基板G的侧壁面Ilw是外周侧的侧壁面。玻璃基板G的外周 侧的侧壁面Ilw优选包含与一对主表面llp、12p分别垂直的面。在一对主表面llp、12p与 外周侧的侧壁面Ilw之间分别形成有倒角面11c、12c。这里,在图IB中示出了倒角面11c、 12c形成为平面状的情况作为一例,但倒角面11c、12c例如也可以形成为包含向玻璃基板G 的外侧弯曲的面。在此情况下,优选的是,弯曲的程度沿着玻璃基板G的周向大致固定。
[0037] 参照图IC来说明本实施方式的磁盘用玻璃基板G的外周侧的端部的形状。在图 IC中,将主表面lip、侧壁面Ilw以及倒角面Ilc的直线部分别标记为Lp、Lw以及Lc。另 夕卜,在图IC中,将主表面Ilp的直线部Lp与倒角面Ilc的直线部Lc的交点设为Pll,将侧 壁面Ilw的直线部Lw与倒角面Ilc的直线部Lc的交点设为P12,将主表面Ilp的直线部 Lp与侧壁面Ilw的直线部Lw的交点设为P13。
[0038] 主表面Ilp的直线部Lp与倒角面Ilc的直线部Lc所构成的角(倒角角度;θ 1) 优选为例如40?70度。主表面Ilp的直线部Lp与倒角面Ilc的直线部Lc所构成的角 (倒角角度;Θ 2)优选为例如20?50度。另外,优选的是,点Pll与点P13之间的距离Dl 为0. 05?0. 20_,点P12与点P13之间的距离D2为0. 10?0. 30_。通过形成为上述范 围内的形状,即使在玻璃基板的制造完成后的检查工序、成膜工序、HDD的组装工序等中把 持外周端部时,也能够防止外周端部钩挂或者基板落下这样的不良状况。
[0039] 此外,参照图IC对磁盘用玻璃基板G的外周侧的接近一个主表面的端部的形状进 行了说明,但是,对于其它端部(即,外周侧的接近另一个主表面的端部或内周侧的端部) 也相同。
[0040] 在以下的说明中,适当地将外周侧的侧壁面Ilw以及倒角面llc、12c统称为外周 端面,将未图示的内周侧的侧壁面以及倒角面统称为内周端面。
[0041] 接下来,参照图2对求取侧壁面Ilw与倒角面Ilc之间的部分的形状的曲率半径 的方法进行说明。在图2中,R是形成侧壁面Ilw与倒角面Ilc之间的部分的形状的曲率 的圆C2的半径,并且是该部分的形状的曲率半径。例如如下述这样求取曲率半径R。首先, 将使倒角面Ilc的直线部延伸而成的假象线Ll与使侧壁面Ilw的直线部延伸而成的假象 线L2的交点设为Pl。接着,设定通过交点Pl且与倒角面Ilc的直线部垂直地延伸的假象 线L3。然后,将侧壁面Ilw和倒角面Ilc之间的部分与假象线L3的交点设为P2。另外,在 玻璃基板G的截面中,设定以交点P2为中心且具有规定的半径(例如50 ym)的圆C1。另 夕卜,将侧壁面Ilw和倒角面Ilc之间的部分与圆Cl的外周的两个交点分别设为P3、P4。此 夕卜,设定分别通过3个交点P2、P3、P4的圆C2。
[0042] 然后,通过求取圆C2的半径,由此能够求取侧壁面Ilw与倒角面Ilc之间的部分 的形状的曲率半径R。
[0043] 此外,侧壁面Ilw与倒角面12c之间的部分的形状的曲率半径也可以与上述同样 地求取。
[0044] 在本实施方式中,以玻璃基板G的中心C(参照图1A)作为基准在周向上每隔30 度设置有测量点。即,测量点的数量是12。并且,当在各测量点处求取侧壁面Ilw与倒角 面Ilc之间的部分的形状的曲率半径R时,将12个(如果还包含与盘的另一个倒角面之 间的部分的形状时则为24个)相邻的测量点之间的曲率半径R的差(绝对值)全都设定 为0.01mm以下。由此,能够减小玻璃基板G的周向上的外周端面的形状变化,所以在使采 用该玻璃基板G制作成的磁盘以高速旋转的情况下,能够使该磁盘的外周端面周边的气流 稳定。另外,在将该磁盘安装于磁盘驱动装置的主轴上的情况下,能够将覆盖磁盘外周的壁 (保护罩)与磁盘的外周端面之间的间隙保持得大致固定,所以能够使该间隙中的气流稳 定。因此,根据本实施方式的玻璃基板G,能够进一步降低高速旋转时的抖动。此外,在下述 方面上是优选的:在相邻的测量点之间的曲率半径R的差是〇.〇〇5_以下的情况下,能够进 一步降低高速旋转时的抖动。
[0045] 此外,可以与上述同样地求取主表面Ilp与倒角面Ilc之间的部分的形状的曲率 半径(第2曲率半径)。具体地说,将使倒角面Ilc的直线部延长而成的假象线Ll与使主 表面Ilp的直线部延长而成的假象线L4 (省略图示)的交点设为P5 (省略图示)。接着,设 定通过交点P5且与主表面Ilp垂直地延伸的假象线L5(省略图示)。然后,将主表面Ilp 和倒角面Ilc之间的部分与假象线L5的交点设为P6 (省略图示)。另外,在玻璃基板G的 截面中,设定以交点P6为中心具有规定的半径(例如10 μπι)的圆C3(省略图示)。另外, 将主表面Ilp和倒角面Ilc之间的部分与圆C3的外周的两个交点分别设为P7、P8 (分别省 略图示)。进而,设定分别通过3个交点P6、P7、P8的圆C4(省略图示)。
[0046] 然后,通过求取圆C4的半径,由此能够求取主表面Ilp与倒角面Ilc之间的部分 的形状的第2曲率半径。
[0047] 此外,主表面12p与倒角面12c之间的部分的形状的第2曲率半径也可以与上述 同样地求取。
[0048] 例如在以玻璃基板G的中心C作为基准沿周向每隔30度来设置测量点,并在各测 量点(12处测量点)处求出第2曲率半径时,可将相邻的测量点之间的第2曲率半径的差 设定为〇.〇〇4_以下。由此,能够进一步减小玻璃基板G的周向上的外周端面(包含主表 面与倒角面之间的部分)的形状变化,所以在使采用该玻璃基板G制作成的磁盘高速旋转 的情况下,能够使该磁盘的外周端面周边的气流更加稳定。
[0049] 虽然没有过问本实施方式的磁盘用玻璃基板G的尺寸,但标称直径例如可以是 2. 5英寸。本实施方式的磁盘用玻璃基板G例如可以作为装入在服务器装置或者笔记本型 个人计算机等上搭载的磁盘驱动装置中的磁盘来使用。
[0050] 另外,为了使以往的磁盘以例如IOOOOrpm以上的高速旋转的方式进行动作,要求 确保在这样的高速旋转时不会产生抖动的所期望的板厚。另一方面,近年来,根据笔记本型 个人计算机等的小型化、薄型化的要求,实现了磁盘驱动装置的小型化、薄型化。与此相伴, 对于磁盘也提高了对薄型化的要求。这里,对于以往的磁盘,在仅仅使板厚减小(变薄)的 情况下,容易受到与磁盘的旋转相伴的气流的影响,因此难以降低抖动。从而,以往的磁盘 难以应对薄型化的要求。另一方面,在本实施方式中,通过减小玻璃基板G的周向上的外周 端面的形状变化,能够使磁盘的外周端面周边的气流稳定,所以,即使在玻璃基板G的板厚 较小的情况下也能够降低抖动。由此,能够应对磁盘薄型化的要求。例如,在玻璃基板G的 板厚T (参照图1B)是标称0. 635_以下时,通过应用本实施方式的结构所获得的效果变得 显著,因此是优选的。此外,将玻璃基板的板厚称为"标称0. 635mm"的情况也包括实际板厚 比0. 635mm稍厚或稍薄的情况。
[0051] [磁盘用玻璃基板的制造方法]
[0052] 以下,关于本实施方式的磁盘用玻璃基板的制造方法,对每个工序进行说明。不 过,各个工序的顺序可适当进行变换。
[0053] (1)玻璃坯板的成型以及粗磨削工序
[0054] 例如在利用浮法形成板状玻璃之后,从该板状玻璃切出成为磁盘用玻璃基板的基 础的规定的形状的玻璃坯板。例如也可以通过使用了上模和下模的压力成型来使玻璃坯板 成型,以取代浮法。此外,玻璃坯板
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