磁盘用玻璃基板、磁盘的制作方法_3

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不限于这些方法,还可以采用下拉法、再拉法、熔融法等 公知的制造方法进行制造。
[0055] 此外,可根据需要对玻璃坯板的两个主表面进行采用游离磨粒的粗磨削加工。
[0056] (2)圆孔形成工序
[0057] 利用圆筒状的钻头在玻璃坯板的中心部形成圆孔,形成圆环状的玻璃坯板。此外, 也可以在利用金刚石切割器等在玻璃坯板的表面上形成圆形的切痕(切筋)之后,沿着切 痕割断,由此形成圆孔。
[0058] (3)倒角工序
[0059] 在圆孔形成工序之后,进行用于在端部(外周端部以及内周端部)形成倒角面的 倒角工序。倒角工序可采用以往已知的装置以及方法,例如只要利用旋转的成形磨具一边 对磨削加工部供给磨削液一边来实施倒角工序即可。只要在成形磨具的表面上预先形成槽 以便在加工后成为所期望的端部形状即可。在倒角工序中,首先利用例如比较粗糙的金刚 石磨具等对圆环状的玻璃坯板的外周端部以及内周端部进行粗磨削,以比较高的速度修正 成倒角形状。然后,利用例如比较细的金刚石磨具等虽然研磨速度低但不会对端部表面造 成损伤的磨具,将倒角面精研磨至接近镜面的表面特性。此时,玻璃坯板和磨具都旋转着接 触而被磨削加工,因此构成了玻璃坯板上的圆周方向的形状。
[0060] 这里,可通过提高在磨削加工中使用的磨削磨具的粒度号(即,减小金刚石磨粒 的粒径),来减小精加工后的表面粗糙度,并能够减少此后的端面研磨的加工余量。因为端 面研磨的加工余量越小越利于维持在磨削工序中加工成的形状,所以能够提高形状精度。 即,能够减小在外周端部的周向上相邻的测量位置处的曲率半径之差。
[0061] (4)端面研磨工序
[0062] 接着,进行圆环状的玻璃坯板的端面研磨。与倒角工序同样地使玻璃坯板一边旋 转一边与研磨构件接触,由此进行端面研磨。并且,因为在端面研磨之后不存在对端面进 行磨削/研磨的处理,所以端面研磨承担了实质上决定最终的圆周方向上的形状的重要作 用。
[0063] 在端面研磨中,通过沿着磁力线保持磁性浆料来形成磁性浆料的块,使该块与玻 璃坯板的内周端面和外周端面接触并相对移动,由此进行玻璃坯板的内周端面和外周端面 的研磨。此时,能够同时研磨侧壁面和倒角面。磁性衆料包含磁粘性流体和作为研磨磨粒 的例如氧化铈或氧化锆等微粒。关于磁粘性流体,例如采用含有由Fe构成的磁性体微粒和 非极性或极性油而成的流体。通过进行端面研磨,可去除玻璃坯板的端面处的因附着有灰 尘等而造成的污染、或伤痕等损伤,并且能够防止发生热粗糙故障或防止发生钠或钾等成 为腐蚀的原因的离子析出。本实施方式的端面研磨与以往的基于研磨刷的端面研磨的方式 相比,能够实现极精密且高品质的加工。具体地说,能够使形状的紊乱变得极小,并且还能 够使表面的粗糙度或起伏变得极小。在磨刷研磨的情况下,研磨刷的末端与工件表面接触 并仿照工件表面,由此毛材弯曲或弯折,从而,研磨刷的末端在侧壁面或倒角面的面内接触 时的压力不一致,从而存在因局部地深度跳动(深求 >玄3 )等导致端面的形状精度恶化 的情况。另外,同样,还存在侧壁面与倒角面的边界部分在周向上不均匀地被磨削而导致端 面的形状精度恶化的情况。此外,本发明的端面研磨工序中的加工余量与以往的采用研磨 刷的方法相比能够大幅减少,例如能够成为10 μπι以下。
[0064] 这里,对端面研磨更详细地进行说明。图3Α?图3C以及图4是说明本实施方式 中的端面研磨的研磨方法的一例的图。
[0065] 进行端面研磨的装置20利用产生磁力的构件和磁性浆料进行玻璃基板的端面研 磨。对进行端面研磨的装置20的概要进行说明,如图3Α所示,装置20例如包含作为永久 磁铁的一对磁铁22、24、隔离件26、以及由非磁体例如不锈钢构成的圆筒形状的管28。磁铁 22、24以及隔离件26内置在管28内。进行端面研磨的玻璃坯板被未图示的保持工具把持。 另外如图4所示,管28被配置在玻璃坯板的外周端面的附近。使通过该管28内的磁铁22、 24形成的块30与玻璃坯板的外周端面接触。对装置20的管28和玻璃坯板进行保持的未 图示的保持工具与未图示的驱动电机机械连接。管28与保持工具进行旋转来使玻璃还板 的外周端面与块30相对移动,由此能够研磨玻璃坯板的外周端面。此外,也可以是:固定管 28和保持工具,仅使玻璃坯板旋转,由此使玻璃坯板的外周端面与块30相对移动。只要使 管28以例如500?5000rpm进行旋转即可。另外,只要使玻璃坯板以例如10?IOOOrpm 进行旋转即可。此外,双方在加工点处的旋转方向既可以是下切也可以是上切,不过,在下 切的情况下,虽然研磨速率低,但形状的变动少,比较适合。另外,无论是在上切还是在下切 中,如果将加工点处的玻璃基板和磁性浆料各自的切线速度之差设为800m/min以下,则能 够减小圆周方向上的形状变动的、一个面与另一个面之间的差(后述的A面与B面之差), 因此是优选的。
[0066] 更具体地说明端面研磨,磁铁22和磁铁24相互接近而作为磁力产生构件发挥功 能,由此如图3B所示,形成从磁铁22向磁铁24行进的磁力线29。该磁力线29以从磁铁 22、24的中心向外侧突出的方式行进,而且沿着玻璃坯板的厚度方向行进。为了在管28的 外周形成例如图3C所示这样的磁性浆料的块30,在磁铁22、24之间设置由非磁体构成的隔 离件26。
[0067] 磁力产生构件中的磁通密度只要设定为可形成磁性浆料的块30的程度即可,但 是,考虑到高效地进行端面研磨这一点,优选是0. 1?10特斯拉。
[0068] 此外,在图3A?图3C以及图4所示的例子中,采用了永久磁铁作为磁力产生构 件,但也可以采用电磁铁。另外,也可以不使用隔离件26,而是将磁铁22、24固定在管28 中,确保磁铁22的N极的端面与磁铁24的S极的端面之间的分开距离固定。
[0069] 作为在磁性浆料中含有的研磨磨粒,可采用氧化铈、胶态二氧化硅、氧化锆、氧化 铝磨粒、金刚石磨粒等公知的玻璃基板的研磨磨粒。研磨磨粒的平均粒径(D50)例如是 0.5?10 μπι。通过采用该范围的研磨磨粒,能够良好地研磨玻璃还板的内侧端面。在磁性 浆料中例如含有1?20vol%的研磨磨粒。这里,所谓平均粒径(D50)是指以体积分率计算 出的累计体积频率在从粒径较小的一方起进行计算时达到50%的粒径。
[0070] (5)精磨削工序
[0071] 在精磨削工序中,使用固定磨粒磨具,并使用具备行星齿轮机构的双面磨削装置 对圆环状的玻璃坯板的主表面进行磨削加工。作为固定磨粒磨具,例如可使用以树脂固定 金刚石磨粒而成的磨削垫。双面磨削装置具有上下一对的定盘(上定盘以及下定盘),圆环 状的玻璃坯板被夹持在上定盘与下定盘之间。并且,通过对上定盘或下定盘中的任意一方 或双方进行移动操作,来使玻璃坯板和各定盘相对移动,由此能够磨削玻璃坯板的两个主 表面。
[0072] (6)第1研磨(主表面研磨)工序
[0073] 接着,对进行了磨削的玻璃基板的主表面实施第1研磨。在第1研磨工序中,使用 具备行星齿轮机构的双面研磨装置。在该研磨装置中,在下定盘的上表面和上定盘的底面 上安装有整体上为圆环形状的平板的研磨垫,在行星齿轮机构的动作过程中,相对于安装 在载具上的玻璃坯板按压研磨垫,并向玻璃坯板与研磨垫之间供给研磨液。研磨垫的材质 例如是聚氨酯泡沫。对于研磨液,使用例如含有氧化铈或氧化锆作为研磨磨粒的研磨液。
[0074] (7)化学强化工序
[0075] 接着,对第1研磨工序后的玻璃坯板进行化学强化。
[0076] 作为化学强化液,例如可采用硝酸钾与硫酸钠的混合溶液等。在化学强化中,通过 将玻璃坯板浸渍于化学强化液中来进行化学强化。
[0077] (8)第2研磨(最终研磨)工序
[0078] 接着,对进行了化学强化且已被充分清洗的玻璃坯板实施第2研磨。在第2研磨 中,例如采用与第1研磨同样的研磨装置。此时,与第1研磨的不同点在于:游离磨粒的种 类及粒子尺寸不同;以及树脂抛光件的硬度不同。
[0079] 作为在第2研磨中使用的游离磨粒,例如可采用胶态二氧化硅等微粒(粒子尺寸: 直径10?50nm左右)。
[0080] 通过清洗已研磨的玻璃坯板,可获得磁盘用玻璃基板。
[0081] [磁盘]
[0082] 使用磁盘用玻璃基板,如以下这样获得磁盘。
[0083] 磁盘例如构成为这样的结构:在磁盘用玻璃基板(以下,仅称为"基板"。)的主表 面上,从接近主表面的一方依次至少层叠有附着层、基底层、磁性层(磁记录层)
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