拆板总成及其操作方法
【专利摘要】本发明公开一种拆板总成及其操作方法，用以拆卸无核心制作工艺的多个平板。拆板总成包括一拆板机与一由多个平板所构成的组合板。拆板机包括一机架、一第一吸气装置、一第二吸气装置、一驱动装置与一连杆。第二吸气装置能与第一吸气装置彼此吸附。连杆连接驱动装置与第二吸气装置。这些平板之间具有一可分离的界面层，且各平板通过各界面层接合。当第一吸气装置与第二吸气装置吸附，且组合板位于第一吸气装置与第二吸气装置之间时，驱动装置驱动连杆，以使第二吸气装置能与第一吸气装置相对运动，且这些平板的其中的一个与这些平板的其中的另一个分离。因此，本发明的一种拆板总成及其操作方法可避免切割无核心制作工艺的平板。
【专利说明】拆板总成及其操作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种拆板总成及其操作方法，且特别是涉及一种拆卸无核心(coreless)基板制作工艺的平板的拆板总成及其操作方法。
【背景技术】
[0002]目前在半导体制作工艺中，芯片封装载板是经常使用的封装元件之一。芯片封装载板例如为一多层线路板，其主要是由多层线路层以及多层介电层交替叠合所构成。
[0003]一般而言，上述多层线路板多是在一核心基板上制作多层线路与多层介电层，且核心基板为具有一定厚度的载体。随着电子元件薄型化，此核心基板的厚度需配合变薄，以配置在电子元件的有限空间内。然而，当核心基板的厚度缩减时，薄型化的基板由于刚性不足，因此容易增加封装制作工艺的不良率。
[0004]有鉴于此，目前已发展用于多层线路板的无核心制作工艺，通过此无核心制作工艺所制造的多层线路板以解决上述封装制作工艺的问题。简单地说，所谓无核心制作工艺就是不具有上述核心基板，而利用一个载板在其上制作一多层线路板，通过分离此载板与此多层线路板，以完成用于封装制作工艺的多层线路板。在现有的无核心制作工艺中，是先以粘着胶结合局部的载板的边缘与局部的多层线路板的边缘。在多层线路板经过多道制作工艺(例如为蚀刻、压合线路或是激光钻孔)后，切除载板与多层线路板之间具有粘着胶的部分，以获得用于封装制作工艺的多层线路板。然而，在现有的无核心制作工艺中，部分的载板与部分的多层线路板需切除，因此将缩小多层线路板的尺寸且切除后的载板无法重复使用。
【发明内容】
[0005]本发明的目的在于提供一种拆板总成，用以拆卸无核心制作工艺的平板，可避免切割无核心制作工艺的平板所产生的问题。
[0006]本发明的再一目的在于提供一种拆板总成的操作法，其操作上述的拆板总成，可避免切割无核心制作工艺的平板所产生的问题。
[0007]为达上述目的，本发明提出一种拆板总成，用以拆卸无核心制作工艺的一组合板。拆板总成包括一拆板机与组合板，其中此组合板包括多个平板。拆板机包括一机架、一第一吸气装置、一第二吸气装置、一驱动装置与一连杆。第一吸气装置组装至机架，且第二吸气装置能与第一吸气装置彼此吸附。连杆连接驱动装置与第二吸气装置。这些平板之间具有一界面层，且各平板通过各界面层接合。当第一吸气装置与第二吸气装置吸附，且此组合板位于第一吸气装置与第二吸气装置之间时，驱动装置驱动连杆，以使第二吸气装置能与第一吸气装置相对运动，且这些平板的其中的一个与这些平板的其中的另一个分离。
[0008]在本发明的拆板总成的一实施例中，上述的第二吸气装置枢接至连杆，使得第二吸气装置能相对于第一吸气装置旋转。
[0009]在本发明的拆板总成的一实施例中，上述的第一吸气装置包括一第一本体与一第一真空泵，且第二吸气装置包括一第二本体与一第二真空泵。第一本体具有一第一表面、多个第一吸气孔与多个第一贯孔。第一表面位于第一本体的顶部。这些第一吸气孔阵列地配置于第一表面且贯穿第一表面。这些第一吸气孔连通这些第一贯孔，且第一真空泵连接这些第一贯孔。第二本体枢接至连杆且具有一第二表面、多个第二吸气孔与多个第二贯孔。第二表面位于第二本体的底部，且第二表面位于第一表面的相对侧。这些第二吸气孔阵列地配置于第二表面且贯穿第二表面。这些第二吸气孔连通这些第二贯孔，且第二真空泵连接这些第二贯孔。
[0010]在本发明的拆板总成的一实施例中，上述的各第一贯孔的一第一贯孔延伸轴线垂直于各第一吸气孔的一第一吸气孔延伸轴线，且各第二贯孔的一第二贯孔延伸轴线垂直于各第二吸气孔的一第二吸气孔延伸轴线。
[0011]在本发明的拆板总成的一实施例中，上述的这些第一吸气孔于第一表面的正投影面积为509毫米X609.6毫米，且这些第二吸气孔于第二表面的正投影面积为509毫米X609.6晕米。
[0012]在本发明的拆板总成的一实施例中，上述的各个平板的面积包括457毫米X610晕米、508晕米X 508晕米、60晕米X 140晕米与50晕米X 120晕米。
[0013]在本发明的拆板总成的一实施例中，上述的第一吸气装置与第二吸气装置分别地更具有一 O型环(O ring)，且各个O型环围绕地配置于这些第一吸气孔的周围与这些第二吸气孔的周围。
[0014]在本发明的拆板总成的一实施例中，上述的这些平板包括一载板与一线路板。
[0015]在本发明的拆板总成的一实施例中，上述的这些平板包括一载板与多个线路板，且载板位于这些线路板之间。
[0016]在本发明的拆板总成的一实施例中，上述的这些平板之间的界面层为一胶。
[0017]在本发明的拆板总成的一实施例中，上述的这些平板之间的界面层为一超薄铜皮与承载此超薄铜皮的一载体之间的一界面。
[0018]在本发明的拆板总成的一实施例中，上述的这些平板之间的界面层为一不锈钢与一电镀铜之间的一界面。
[0019]在本发明的拆板总成的一实施例中，在这些平板之间还具有一分边宽度。分边宽度由这些平板的边缘往这些平板的内部延伸。
[0020]在本发明的拆板总成的一实施例中，上述的第一吸气装置与第二吸附装置一吸附力大于各个界面层的粘着力。
[0021]在本发明的拆板总成的一实施例中，上述的驱动装置为一油压缸。
[0022]本发明提出一种拆板总成的操作方法，适用于一拆板总成以拆卸无核心制作工艺的一组合板。拆板总成包括一拆板机与组合板，其中此组合板包括多个平板。拆板机包括一机架、组装至机架内的一第一吸气装置、能与第一吸气装置彼此吸附的一第二吸气装置、一驱动装置以及连接第二吸气装置与驱动装置的一连杆。这些平板之间具有一界面层，且各个平板通过各个界面层结合。拆板总成的操作方法包括以下的步骤:首先，通过第一吸气装置与第二吸气装置吸附，且此组合板位于第一吸气装置与第二吸气装置之间。接着，通过驱动装置驱动连杆，以使第二吸气装置能与第一吸气装置相对运动，且这些平板的其中的一个与这些平板的其中的另一个分离。[0023]在本发明的拆板总成的操作方法的一实施例中，第二吸气装置枢接至连杆，使得第二吸气装置能相对于第一吸气装置旋转。通过第二吸气装置枢接至连杆，使得第二吸气装置能相对于第一吸气装置旋转。
[0024]基于上述，本发明利用两个吸气装置(即第一吸气装置与第二吸气装置)吸附平板，且驱动装置驱动连杆而带动第二吸气装置，以使平板的其中一个与平板的其中的另一个分离。由此方式，可使平板不需被切割以避免缩小平板的尺寸。此外，在平板拆卸过程中，由于平板不被切割，因此拆卸后部分的平板可再重复使用。
[0025]为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附附图作详细说明如下。
【专利附图】
【附图说明】
[0026]图1为本发明一实施例的拆板总成的侧视图；
[0027]图2为图1的两个吸气盒的剖视图；
[0028]图3为图1的第一吸气装置的俯视图；
[0029]图4为图3的第一吸气装置的侧视图；
[0030]图5为图3的第一吸气装置于B部分的局部放大图；
[0031]图6为本发明的另一实施例的组合板安装于两个吸气盒的剖视图；
[0032]图7为本发明一实施例的拆板总成的操作方法的流程图。
[0033]主要元件符号说明
[0034]10:拆板总成
[0035]100:拆板机
[0036]110:机架
[0037]120:第一吸气装置
[0038]122:第一本体
[0039]122a:第一表面
[0040]122b:第一吸气孔
[0041]122c:第一贯孔
[0042]124:第一真空泵
[0043]126、136:连接管
[0044]128、138:0 型环
[0045]130:第二吸气装置
[0046]132:第二本体
[0047]132a:第二表面
[0048]132b:第二吸气孔
[0049]132c:第二贯孔
[0050]134:第二真空泵
[0051]140:驱动装置
[0052]150:连杆
[0053]200、200a:组合板[0054]210:载板
[0055]220、230:线路板
[0056]Al:第一贯孔延伸轴线
[0057]A2:第一吸气孔延伸轴线
[0058]A3:第二贯孔延伸轴线
[0059]A4:第二吸气孔延伸轴线
[0060]P:界面层
[0061]Pl:路径
[0062]S110?S120:步骤
[0063]W:分边宽度
【具体实施方式】
[0064]图1为本发明一实施例的拆板总成的侧视图。图2为图1的两个吸气盒的剖视图。请参考图1与图2，在本实施例中，拆板总成10可用以拆卸无核心制作工艺制作的一组合板200。拆板总成10包括一拆板机100与上述组合板200，其中本实施例的组合板200可由多个平板所构成。此外，这些平板包括一载板210与一线路板220，其中载板210用于提供线路板220于多道制作工艺(例如为蚀刻、压合线路或是激光钻孔)时支撑之用。
[0065]承上述，拆板机100包括一机架110、一第一吸气装置120、一第二吸气装置130、一驱动装置140与一连杆150。第一吸气装置120组装至机架110，且第二吸气装置130能与第一吸气装置120彼此吸附。连杆150连接驱动装置140与第二吸气装置130。驱动装置140，例如为一油压缸，可带动连杆150运动。载板210与线路板220之间具有一可分开的界面层P，且载板210与线路板220平板可通过界面层P接合。进一步地说，本实施例的界面层P例如可为一硅胶、一超薄铜皮与承载此超薄铜皮的一载体之间的界面、或一不锈钢与一电镀铜之间的界面等可让载板210与线路板220分离或接合的界面。当第一吸气装置120与第二吸气装置130吸附，且上述组合板200位于第一吸气装置120与第二吸气装置130之间时，驱动装置140驱动连杆150，以使第二吸气装置130能与第一吸气装置120相对运动，且组合板200的载板210与组合板200的线路板220分离。
[0066]详细地说，使用者可先将载板210与线路板220放置于第一吸气装置120与第二吸气装置130之间。在第一吸气装置120与第二吸气装置130彼此吸附后，载板210通过第二吸气装置130吸附而被固定，且线路板220通过第一吸气装置120吸附而被固定。接着，驱动装置140驱动连杆150运动以带动第二吸气装置130相对于第一吸气装置120运动。由于第一吸气装置120与第二吸气装置130的吸附力大于界面层P的附着力，因此载板210与线路板220紧密地贴附于第二吸气装置130与第一吸气装置120之间。当驱动装置140提供的动力大于界面层P的附着力时，载板210与线路板220分离，且第二吸气装置130 (如图1的虚线部分)沿着远离第一吸气装置120的方向移动。由此，线路板220与载板210不需切割，可避免锁小线路板220的尺寸。此外，因为载板210不切割，因此载板210可重复使用，有助于降低无核心制作工艺的制造成本。
[0067]此外，本实施例的第二吸气装置130枢接至连杆150，使得第二吸气装置130能相对于第一吸气装置120旋转。由此转动方式，可降低分离载板210与线路板220的力量，进而减少驱动装置140的输出动力。再者，在这些平板之间还可具有一分边宽度W，且分边宽度W由平板的边缘往平板的内部延伸。通过分边宽度W的形成，可弱化界面层P的附着力，也可降低分尚载板210与线路板220的力量。
[0068]图3为图1的第一吸气装置的俯视图。图4为图3的第一吸气装置的侧视图。图5为图3的第一吸气装置于B部分的局部放大图。请参考图3、图4与图5，需说明的是，由于第二吸气装置130相似于第一吸气装置120，因此以图3、图4与图5同时说明第一吸气装置120与第二吸气装置130，并且请一并参考图1与图2。此外，为使视图简洁，图4仅绘视部分的第一吸气装置120的构件。
[0069]承上述，本实施例的第一吸气装置120包括一第一本体122与一第一真空泵124，且第二吸气装置130包括一第二本体132与一第二真空泵134。第一本体122具有一第一表面122a、多个第一吸气孔122b与多个第一贯孔122c第一表面122a位于第一本体122的顶部。第一吸气孔122b阵列地配置于第一表面122a且贯穿第一表面122a。第一吸气孔122b连通第一贯孔122c，且第一真空泵124可通过多个连接管126连接第一贯孔122c的两端。
[0070]第二本体132枢接至连杆150且具有一第二表面132a、多个第二吸气孔132b与多个第二贯孔132c。第二表面132a位于第二本体132的底部，且第二表面132a位于第一表面122a的相对侧。第二吸气孔132b阵列地配置于第二表面132a且贯穿第二表面132a。第二吸气孔132b连通第二贯孔132c，且第二真空泵134可通过多个连接管136连接第二贯孔132c的两端。另外，各第一贯孔122c的一第一贯孔延伸轴线Al垂直于各第一吸气孔122b的一第一吸气孔延伸轴线A2，且各第二贯孔132c的一第二贯孔延伸轴线A3垂直于各第二吸气孔132b的一第二吸气孔延伸轴线A4。
[0071]因此，在第一本体122与第二本体132之间的空气通过第一真空泵124与第二真空泵134抽出后，会沿着路径Pl排出，且在第一本体122与第二本体132之间会形成真空状态，以使载板210被吸附至第二吸气装置130，且线路板220被吸附至第一吸气装置120。
[0072]此外，本实施例的第一吸气装置120与第二吸气装置130分别地更包括一 O型环128、138，且各个O型环128、138围绕地配置于第一吸气孔122b的周围与第二吸气孔132b的周围。由此配置，有助于密封第一本体122与第二本体132，以避免气体流入至第一本体122的内部与第二本体132的内部，而破坏真空状态。
[0073]请参考图3与图5，本实施例的第一吸气孔122b与第二吸气孔132b分别地阵列地配置于第一表面122a与第二表面132a，且分别地具有一正投影面积A，其中第一吸气孔122b的正投影面积A与第二吸气孔132b的正投影面积A大小皆为509毫米X609.6毫米。由此配置，可应用于不同大小的组合板200 (亦即不同大小的平板)。举例而言，这些平板的面积可包括了 457晕米X610晕米、508晕米X508晕米、60晕米X 140晕米与50晕米X 120毫米。
[0074]图6为本发明的另一实施例的组合板安装于两个吸气盒的剖视图。请参考图2与图6，本实施例的组合板200a与图2的组合板200相似，在此仅介绍与图2的实施例的差异处，其中相同或相似的元件标号代表相同或相似的元件，于此不再赘述。在本实施例中，组合板200a包括了一载板210与两线路板220、230。载板210位于线路板220、230之间，且载板210与线路板220、230通过多个界面层P结合。当线路板220通过第一吸气装置120吸附而固定，且线路板230通过第二吸气装置130吸附而固定时，驱动装置140驱动连杆150而带动第二吸气装置130相对于第一吸气装置120旋转，线路板230可与载板210以及线路板220分离。同样地，在线路板230被拆卸后，重复上述的步骤，可将线路板220与载板210分离。由此，可应用于拆卸多个线路板。
[0075]图7为本发明一实施例的拆板总成的操作方法的流程图。请参考图1、图2与图7，在本实施例中，拆板总成的操作方法适用于一拆板总成10以拆卸无核心制作工艺的一组合板200。拆板总成10包括一拆板机100与组合板200，其中此组合板200可由多个平板所构成。拆板机100包括一机架110、组装至机架110内的一第一吸气装置120、能与第一吸气装置120彼此吸附的一第二吸气装置130、一驱动装置140以及连接第二吸气装置130与驱动装置140的一连杆150。这些平板之间具有一可分开的界面层P且各个平板通过各个界面层P结合。拆板总成的操作方法包括以下的步骤:首先在步骤S 110中，通过第一吸气装置120与第二吸气装置130吸附，且组合板200位于第一吸气装置120与第二吸气装置130之间。接着在步骤S120中，通过驱动装置140驱动连杆150，以使第二吸气装置130能与第一吸气装置120相对运动，且这些平板的其中的一个与这些平板的其中的另一个分离。由此方法，可用以拆卸无核心制作工艺的多个平板。由此，平板不需切割，并可维持平板的尺寸，并且部分的平板可再重复使用。
[0076]本实施例的拆板总成的操作方法可通过第二吸气装置130枢接至连杆150，使得第二吸气装置130能相对于第一吸气装置120旋转。由此，可降低分离载板210与线路板220,230的力量并减少驱动装置140的输出动力。
[0077]综上所述，本发明利用第一吸气装置与第二吸气装置吸附平板，并通过驱动装置驱动连杆而带动第二吸气装置能与第一吸气装置相对运动，以使多个平板互相分离。由此方式，可避免缩小平板的尺寸，并且部分的平板可以再重复使用，有助于降低无核心制作工艺的制造成本。此外，第一吸气装置与第二吸气装可以相对旋转，可降低分离载板与线路板的力量，进而减少驱动装置的输出动力。另外，当平板之间具有分边宽度时，可弱化界面层的附着力，有助于拆卸平板。
[0078]虽然结合以上实施例揭露了本发明，然而其并非用以限定本发明，任何所属【技术领域】中熟悉此技术者，在不脱离本发明的精神和范围内，可作些许的更动与润饰，故本发明的保护范围应以附上的权利要求所界定的为准。
【权利要求】
1.一种拆板总成，包括: 拆板机，包括: 机架； 第一吸气装置，组装至机架； 第二吸气装置，能与该第一吸气装置彼此吸附； 驱动装置；及 连杆，连接该驱动装置与该第二吸气装置；以及 组合板，包括多个平板，其中该些平板之间具有界面层，且各该平板通过各该界面层结合，当该第一吸气装置与该第二吸气装置吸附，且该组合板位于该第一吸气装置与该第二吸气装置之间时，该驱动装置驱动该连杆，以使该第二吸气装置能与该第一吸气装置相对运动，且该些平板的其中之一与该些平板的其中之另一分离。
2.如权利要求1所述的拆板总成，其中该第二吸气装置枢接至该连杆，使得该第二吸气装置能相对于该第一吸气装置旋转。
3.如权利要求1所述的拆板总成，其中该第一吸气装置包括第一本体与第一真空泵，且该第二吸气装置包括第二本体与第二真空泵，该第一本体具有第一表面、多个第一吸气孔与多个第一贯孔，该第一表面位于该第一本体的顶部，该些第 一吸气孔阵列地配置于该第一表面且贯穿该第一表面，该些第一吸气孔连通该些第一贯孔，且该第一真空泵连接该些第一贯孔；该第二本体枢接至该连杆且具有第二表面、多个第二吸气孔与多个第二贯孔，该第二表面位于该第二本体的底部，且该第二表面位于该第一表面的相对侧，该些第二吸气孔阵列地配置于该第二表面且贯穿该第二表面，该些第二吸气孔连通该些第二贯孔，且该第二真空泵连接该些第二贯孔。
4.如权利要求3所述的拆板总成，其中各该第一贯孔的第一贯孔延伸轴线垂直于各该第一吸气孔的第一吸气孔延伸轴线，且各该第二贯孔的第二贯孔延伸轴线垂直于各该第二吸气孔的第二吸气孔延伸轴线。
5.如权利要求3所述的拆板总成，其中该些第一吸气孔于该第一表面的正投影面积为509毫米X 609.6毫米，且该些第二吸气孔于该第二表面的正投影面积为509毫米X 609.6毫米。
6.如权利要求5所述的拆板总成，其中各该平板的面积包括457毫米X610毫米、508毫米X 508毫米、60毫米X 140毫米与50毫米X 120毫米。
7.如权利要求3所述的拆板总成，其中该第一吸气装置与该第二吸气装置分别地还包括O型环，且各该O型环围绕地配置于该些第一吸气孔的周围与该些第二吸气孔的周围。
8.如权利要求1所述的拆板总成，其中该些平板包括载板与线路板。
9.如权利要求1所述的拆板总成，其中该些平板包括载板与多个线路板，且该载板位于该些线路板之间。
10.如权利要求1所述的拆板总成，其中于该些平板之间的该界面层为一胶。
11.如权利要求1所述的拆板总成，其中于该些平板之间的该界面层为超薄铜皮与承载该超薄铜皮的载体之间的界面。
12.如权利要求1所述的拆板总成，其中于该些平板之间的该界面层为不锈钢与电镀铜之间的界面。
13.如权利要求1所述的拆板总成，其中于该些平板之间还具有分边宽度，且该分边宽度由该些平板的边缘往该些平板的内部延伸。
14.如权利要求1所述的拆板总成，其中该第一吸气装置与该第二吸气装置的吸附力大于各该界面层的附着力。
15.如权利要求1所述的拆板总成，其中该驱动装置为油压缸。
16.一种拆板总成的操作方法，适用于拆板机与组合板，其中该组合板包括多个平板，该拆板机包括机架、组装于该机架内的第一吸气装置、能与该第一吸气装置彼此吸附的第二吸气装置、驱动装置以及连接该第二吸气装置与该驱动装置的连杆，该些平板之间具有界面层，且各该平板通过各该界面层结合，该拆板总成的操作方法包括: 通过该第一吸气装置与该第二吸气装置吸附，且该些平板位于该第一吸气装置与该第二吸气装置之间；以及 通过该驱动装置驱动该连杆，以使该第二吸气装置能与该第一吸气装置相对运动，且该些平板的其中的一与 该些平板的其中的另一分离。
17.如权利要求16所述的拆板总成的操作方法，其中通过该第二吸气装置枢接至该连杆，使得该第二吸气装置能相对于该第一吸气装置旋转。
【文档编号】H01L23/00GK103456695SQ201210287569
【公开日】2013年12月18日 申请日期:2012年8月13日 优先权日:2012年6月1日
【发明者】何崇文, 吕世明 申请人:旭德科技股份有限公司