半导体器件的制作方法

文档序号:12478460阅读:来源:国知局
技术总结
所提供的是一种半导体器件。该半导体器件包括:SRAM单元,包括形成在衬底上的第一上拉晶体管、第一下拉晶体管和第一传输晶体管;第一读缓冲晶体管,连接到第一上拉晶体管的栅极端子和第一下拉晶体管的栅极端子;以及第二读缓冲晶体管,与第一读缓冲晶体管共用漏极端子,其中第一读缓冲晶体管包括:第一沟道图案,在垂直于衬底的上表面的第一方向上延伸;第一栅电极,覆盖第一沟道图案的一部分;以及第一漏极图案,不接触第一栅电极,在第一方向上延伸,并电连接到第一沟道图案。

技术研发人员:权大振;徐康一
受保护的技术使用者:三星电子株式会社
文档号码:201610214517
技术研发日:2016.04.07
技术公布日:2017.05.31

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