有机电致发光器件及其制备方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及光电子器件领域，尤其涉及有机电致发光器件及其制备方法。
【背景技术】
[0002] 有机电致发光器件（0LED)是基于有机材料的一种电流型半导体发光器件。其典 型结构是在IT0玻璃上制作一层几十纳米厚的有机发光材料作发光层，发光层上方有一层 低功函数的金属电极。当电极上加有电压时，发光层就产生光福射。
[0003] 有机电致发光材料对氧气及水汽侵入特别敏感，一方面因为氧气是浑灭剂，会使 0L邸的发光量子效率显著下降，氧气对0L邸的氧化作用也会使0L邸的传输能力下降；另 一方面，水汽对0L邸的影响更显而易见，它的主要破坏方式是使对0L邸的有机化合物水 解，从而降低0L邸的稳定性和寿命。因而，有效抑制0L邸在长期工作过程中的退化和失效， W使0L邸稳定工作达到足够的寿命，该对封装材料的阻隔性提出了极高的要求，而起密封 保护作用的封装技术就成了解决0LED寿命问题的一个突破点。
[0004] 封装技术是通过形成结构致密的阻挡层，对封装区内的核也部件实现物理保护。 W无机材料（例如为氮化娃）作为有机电致发光器件的阻挡层的技术已相当成熟且广泛应 用于各式显示器中。
[0005] 柔性产品是有机电致发光器件的发展趋势，但目前普遍存在寿命短，其封装的好 坏直接影响器件的寿命。然而，在制作柔性的机电致发光器件(亦称为可挽式机电致发光器 件）的制造工艺中，由于无机材料的可挽性不佳，W致有机发光装置在经过弯曲之后，阻挡 层会产生裂缝。如此一来，水汽会经由裂缝渗入而影响薄膜晶体管的电性。若W有机材料 作为纯化保护层，则可拥有较佳的可挽性。然而，有机材料的阻水能力较无机材料差，因此 水汽容易渗入有机发光装置而影响其电性。因此，如何提升柔性的有机电致发光器件的可 靠性实为目前亟欲解决的议题之一。
【发明内容】
[0006] 本发明的目的在于解决上述现有技术存在的问题和不足，提供一种有机电致发光 器件，该有机电致发光器件为层状结构，该层状结构依次包括：阳极导电基板、空穴注入层、 空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层、阴极层及所述阴极层上交替层叠的有机阻 挡层和无机阻挡层；
[0007] 其中：
[0008] 所述有机阻挡层的材质为娃氧氮化合物膜；
[0009] 所述无机阻挡层的材质为B203 : F、AI2O3: F、Ga2〇3: F、咕化:F或TI2O3: F。
[0010] 进一步地，所述娃氧氮化合物膜是使用六甲基二娃胺、N& W及〇2作为原材料并通 过等离子增强化学气相沉积方法而制得的。
[0011] 进一步地，所述无机阻挡层是使用H氣甲基物和水蒸气作为原材料并通过原子 层沉积方法而制得的，所述H氣甲基物为B(CH2巧3、A1(CH2巧3、Ga(CH2巧3、In(CH2F)3或 T1(CH巧 3。
[0012] 进一步地，所述有机阻挡层和所述无机阻挡层交替层叠的层数为四、五或六。
[0013] 进一步地，所述有机阻挡层的厚度为150nm~200nm;所述无机阻挡层的厚度为 15nm ~20nm。
[0014] 进一步地，所述空穴注入层的材质为由Mo〇3和N，N'-二苯基-N，N'-二（1-蔡 基）-1，1' -联苯-4, 4' -二胺相惨杂得的混合物，其中，Mo〇3与N，N' -二苯基-N，N' -二（1-蔡 基）-1，1' -联苯-4, 4' -二胺的重量百分比为0. 25:1 ;
[0015] 所述空穴传输层的材质为4, 4'，4' ' - H (巧哇-9-基）H苯胺；
[0016] 所述发光层的材质为由H (2-苯基化巧）合镶和1，3,5-H (1-苯基-1H-苯并咪 哇-2-基）苯相惨杂得的混合物，其中，H (2-苯基化巧）合镶与1，3,5-H (1-苯基-1H-苯 并咪哇-2-基）苯的重量百分比为0.05:1 ;
[0017] 所述电子传输层的材质为4, 7-二苯基-1，10-菲罗晰；
[0018] 所述电子注入层的材质为由CsNs和4, 7-二苯基-1，10-菲罗晰相惨杂得的混合 物，其中，CsNs与4, 7-二苯基-1，10-菲罗晰的重量百分比为0. 25:1 ;
[0019] 所述阴极层的材质为金属铅。
[0020] 本发明还提出一种有机电致发光器件的制备方法，其包括W下步骤：
[0021] (a)采用真空蒸锻方法在清洗干净的阳极导电基板上依次形成空穴注入层、空穴 传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极层；
[0022] (b)在所述阴极层上，先使用六甲基二娃胺、N&W及〇2作为原材料并在Ar气氛围 下通过等离子增强化学气相沉积方法而制得有机阻挡层；然后在所述有机阻挡层上使用H 氣甲基物和水蒸气作为原材料并通过原子层沉积方法而制得无机阻挡层；最后，依次交替 层叠制备有机阻挡层和无机阻挡层；其中：
[0023] 所述有机阻挡层的材质为娃氧氮化合物膜；
[0024] 所述无机阻挡层的材质为B2化:F、Al2化:F、Ga2化:F、Iri2化:F或化化:F ;所述H氣甲 基物为B (邸2巧3、A1 (邸2巧3、Ga (邸2巧3、In (邸2巧3或T1 (邸2巧3。
[0025] 进一步地，所述步骤（b)中，采用等离子增强化学气相沉积方法制备所述有机阻挡 层时，所述六甲基二娃胺流量6~14sccm，所述Ar流量为70~SOsccm，所述NH3流量2~ ISsccm,所述化流量2~ISsccm,所述有机阻挡层的厚度为150皿~200皿。
[0026] 进一步地，所述步骤（b)中，采用原子层沉积方法制备所述无机阻挡层时，注入所 述H氣甲基物和所述水蒸气时两者之间间隔5~10s的馬，所述H氣甲基物和所述水蒸气 的注入时间为10~20ms，流量均为10~20sccm，所述无机阻挡层的厚度15~20皿。
[0027] 进一步地，所述步骤（b)中，所述有机阻挡层和所述无机阻挡层交替层叠制备的次 数均为四、五或六。
[002引与现有技术相比，本发明的有机电致发光器件具有W下的优点：
[0029] 第一，本发明有机电致发光器件的有机阻挡层为娃氧氮化合物（SiOxNy)，其具有 W下优良性能：1、有机阻挡层由于存在娃氧氮化合物的氮原子导致相对于无机阻挡层的化 学键力增加，从而使得无机阻挡层与有机阻挡层粘结性强，进而导致本发明的阻挡层的粘 合性增加；2、有机阻挡层均没有孔隙，边缘没有缺陷，平整度高，具有膜的致密性，对氧气屏 蔽能力强。3、娃氧氮化合物膜用作有机电致发光器件的保护膜时，可延长水氧路径，即延长 水从外面渗透到功能层的路径，防水能力大大提高。4、有机阻挡层采用等离子体增强化学 气相沉积制备，而等离子体增强化学气相沉积有助于膜层氨化碳氮化合物在不同形状的基 底上形成膜，从而有利于膜的挽性。另外，等离子体增强化学气相沉积可在室温下使用，因 此可具有宽范围的应用。
[0030] 第二，本发明有机电致发光器件的无机阻挡层膜层致密性好，边缘没有缺陷，为低 于20%的非结晶性物质。而同一层无机阻挡层内，选取不同材质进行惨杂，可大大降低其内 应力。
[0031] 第H，交替重叠有机阻挡层和无机阻挡层之间呈交替重叠的结构，该交替重叠的 结构互补地利用了有机阻挡层的强挽性和无机阻挡层的强阻水能力，从而避免现有技术中 有机阻挡层的阻水能力差和无机阻挡层挽性差而产生的问题。
[0032] 综上所述，本发明依次层叠的有机阻挡层和无机阻挡层，所述有机阻挡层的材质 为娃氧氮化合物膜，致密性高，防水氧能力强、抗腐蚀性并应力耐久性强，而本发明的