3+/Zn0/CaB509Cl:0.02Mn4+/Zn0/Ag。
[0082]请参阅图3，图3所示为得到的发光薄膜的电致发光谱(EL)。由图3可以看出，电致发光谱中，在535nm和610nm波长区都有很强的发光峰，能够应用于薄膜电致发光显示器中。
[0083]请参阅图4，图4是实施例1制备的薄膜电致发光器件的电压与电流密度和电压与亮度之间的关系曲线图，曲线I是电压与电流密度关系曲线，可看出该器件从电压30V开始发光，曲线2是电压与亮度关系曲线，可以看出该器件的最大亮度为83cd/m2，表明器件具有良好的发光特性。
[0084]实施例2
[0085]选用纯度为99.99% 的粉体，将 0.5mmol 的 CaO, 5.0mmol 的 B2O3,0.5mmol 的 CaCl2和0.0lmmol的SbO2粉体,经过均勻混合后,在1250°C下烧结成直径为50mm,厚度为2mm的陶瓷靶材 CaB5O9Cl:0.0lSb3+ ；
[0086]将0.5mmoI 的 CaO, 5.0mmol 的 B2O3,0.SmmoI 的 CaCl2 和 0.0lmmol 的 MnO2 粉体，经过均匀混合后，在1250°C下烧结成直径为50mm，厚度为2mm的陶瓷靶材CaB5O9Cl:0.0lMn4+ ；
[0087]将250gMg0粉体在1250°C下烧结成直径为50mm，厚度为2mm的陶瓷靶材；
[0088]并将靶材CaB5O9Cl:0.0lSb3+, CaB5O9Cl:0.0lMn4+ 及 MgO 装入真空腔体内。然后，先后用丙酮、无水乙醇和去离子水超声清洗带ITO的玻璃衬底作为阳极，厚度为60nm，并用对其进行氧等离子处理，放入真空腔体。把靶材和衬底的距离设定为90mm。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽到5.0X 10_4Pa，设置衬底温度为200°C ；
[0089]首先在衬底表面沉积介质层MgO，脉冲激光沉积工作压强0.5Pa，工作气体的流量为lOsccm，工作气体为氧气，脉冲激光能量为70W，得到介质层厚度为0.5nm ；
[0090]接着在介质层表面沉积第一发光层CaB5O9Cl:0.0lSb3+,脉冲激光沉积工作压强0.5Pa，工作气体的流量为15sCCm，工作气体为氧气，脉冲激光能量为60W，得到介质层厚度为 60nm ；
[0091]接着按照沉积介质层的条件再在第一发光层表面沉积一层介质层，厚度为2nm ；
[0092]然后在介质层表面沉积第二发光层CaB5O9Cl:0.0lMn4+,脉冲激光沉积工作压强0.5Pa，工作气体的流量为15sCCm，工作气体为氧气，脉冲激光能量为60W，得到介质层厚度为 60nm ；
[0093]最后再沉积一层介质层，条件及厚度如上所述，得到所述发光层，在所述发光层表面蒸镀一层阴极，材料为Ag,厚度为lOOnm。
[0094]该薄膜电致发光器件的结构为玻璃/IT0/Mg0/CaB509Cl:0.01Sb3+/Mg0/CaB509Cl:0.01Mn4+/Mg0/Ag。
[0095]实施例3
[0096]选用纯度为99.99% 的粉体，将 0.5mmol 的 CaO，5.0mmol 的 B2O3,0.5mmol 的 CaCl2和0.05mmol的SbO2粉体,经过均勻混合后,在1250°C下烧结成直径为50mm,厚度为2mm的陶瓷靶材 CaB5O9Cl:0.05Sb3+ ；
[0097]将0.5mmoI 的 CaO, 5.0mmol 的 B2O3,0.SmmoI 的 CaCl2 和 0.0SmmoI 的 MnO2 粉体，经过均匀混合后，在1250°C下烧结成直径为50mm，厚度为2mm的陶瓷靶材CaB5O9Cl:0.05Mn4+ ；
[0098]将250g Al2O3粉体在1250°C下烧结成直径为50mm，厚度为2mm的陶瓷靶材；
[0099]并将靶材CaB5O9Cl:0.05Sb3+, CaB5O9Cl:0.05Mn4+ 及 Al2O3 装入真空腔体内。然后，先后用丙酮、无水乙醇和去离子水超声清洗带ITO的玻璃衬底作为阳极，厚度为60nm，并用对其进行氧等离子处理，放入真空腔体。把靶材和衬底的距离设定为45mm。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽到1.0X10_5Pa，设置衬底温度为700°C ；
[0100]首先在衬底表面沉积介质层Al2O3,脉冲激光沉积工作压强5Pa，工作气体的流量为30sCCm，工作气体为氧气，脉冲激光能量为300W，得到介质层厚度为5nm ；
[0101]接着在介质层表面沉积第一发光层CaB5O9Cl:0.05Sb3+,脉冲激光沉积工作压强5Pa，工作气体的流量为30SCCm，工作气体为氧气，脉冲激光能量为300W，得到介质层厚度为 150nm ；
[0102]接着按照沉积介质层的条件再在第一发光层表面沉积一层介质层，厚度为2nm ；
[0103]然后在介质层表面沉积第二发光层CaB5O9Cl:0.05Mn4+,脉冲激光沉积工作压强5Pa，工作气体的流量为40SCCm，工作气体为氧气，脉冲激光能量为300W，得到介质层厚度为 150nm ；
[0104]最后再沉积一层介质层，条件及厚度如上所述，得到所述发光层，在所述发光层表面蒸镀一层阴极，材料为Ag,厚度为lOOnm。
[0105]该薄膜电致发光器件的结构为玻璃/IT0/Al203/CaB509Cl:0.05Sb3+/Al203/CaB5O9Cl:0.05Mn47Al203/Ago
[0106]实施例4
[0107]选用纯度为99.99% 的粉体，将 0.5mmol 的 CaO, 5.0mmol 的 B2O3,0.5mmol 的 CaCl2和0.03mmol的SbO2粉体,经过均勻混合后,在1250°C下烧结成直径为50mm,厚度为2mm的陶瓷靶材 CaB5O9Cl:0.03Sb3+ ；
[0108]将0.5mmoI 的 CaO, 5.0mmol 的 B2O3,0.SmmoI 的 CaCl2 和 0.0lmmol 的 MnO2 粉体，经过均匀混合后，在1250°C下烧结成直径为50mm，厚度为2mm的陶瓷靶材CaB5O9Cl:0.0lMn4+ ；
[0109]将250g SnO2粉体在1250°C下烧结成直径为50mm，厚度为2mm的陶瓷靶材；
[0110]并将靶材CaB5O9Cl:0.03Sb3+, CaB5O9Cl:0.0lMn4+及 SnO2 装入真空腔体内。然后，先后用丙酮、无水乙醇和去离子水超声清洗带ITO的玻璃衬底作为阳极，厚度为60nm，并用对其进行氧等离子处理，放入真空腔体。把靶材和衬底的距离设定为60mm。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽到5.0X 10_4Pa，设置衬底温度为500°C ；
[0111]首先在衬底表面沉积介质层SnO2，脉冲激光沉积工作压强3Pa，工作气体的流量为20sCCm，工作气体为氧气，脉冲激光能量为120W，得到介质层厚度为2nm ；
[0112]接着在介质层表面沉积第一发光层CaB5O9Cl:0.03Sb3+,脉冲激光沉积工作压强3Pa，工作气体的流量为25SCCm，工作气体为氧气，脉冲激光能量为120W，得到介质层厚度为 90nm ；
[0113]接着按照沉积介质层的条件再在第一发光层表面沉积一层介质层，厚度为2nm ；
[0114]然后在介质层表面沉积第二发光层CaB5O9Cl:0.0lMn4+,脉冲激光沉积工作压强3Pa，工作气体的流量为25SCCm，工作气体为氧气，脉冲激光能量为120W，得到介质层厚度为 90nm ；
[0115]最后再沉积一层介质层，条件及厚度如上所述，得到所述发光层，在所述发光层表面蒸镀一层阴极，材料为Ag,厚度为lOOnm。
[0116]该薄膜电致发光器件的结构为玻璃/IT0/Sn02/CaB509Cl:0.03Sb3+/Sn02/CaB509Cl:0.01Mn4+/Sn02/Ag。
[0117]实施例5
[0118]选用纯度为99.99% 的粉体，将 0.5mmol 的 CaO, 5.0mmol 的 B2O3,0.5mmol 的 CaCl2和0.05mmol的SbO2粉体,经过均勻混合后,在1250°C下烧结成直径为50mm,厚度为2mm的陶瓷靶材 CaB5O9Cl:0.05Sb3+ ；
[0119]将0.5mmoI 的 CaO, 5.0mmol 的 B2O3,0.SmmoI 的 CaCl2 和 0.0SmmoI 的 MnO2 粉体，经过均匀混合后，在1250°C下烧结成直径为50mm，厚度为2mm的陶瓷靶材CaB5O9Cl:0.05Mn4+ ；
[0120]将250gCd0粉体在1250°C下烧结成直径为50mm，厚度为2mm的陶瓷靶材；
[0121]并将靶材CaB5O9Cl:0.05Sb3+, CaB5O9Cl:0.05Mn4+及 CdO 装入真空腔体内。然后，先后用丙酮、无水乙醇和去离子水超声清洗带ITO的玻璃衬底作为阳极，厚度为60nm，并用对其进行氧等离子处理，放入真空腔体。把靶材和衬底的距离设定为6