集成电路的布局的制作方法_3

文档序号:8363132阅读:来源:国知局

[0051]在一些实施例中,单元313和单元316在X轴上相对邻接。邻接前,单元316布置为首先相对于X轴翻转从而使得单元313的VDD电源线与单元316的VDD电源线连接。在一些实施例中,用于VSS电源线的金属一线342与用于VSS电源线的金属一线372物理分离。在一些实施例中,用于VDD电源线的金属一线352连接至用于VDD电源线的金属一线362。在一些实施例中,用于VSS电源线的金属一线342、372与用于VDD电源线的金属一线352、362在Y方向上垂直地对准。在一些实施例中,用于VDD电源线的金属一线352和362沿着Y方向垂直地插入在用于VSS电源线的金属一线342和372之间。
[0052]图4A是根据一些实施例的布局400A的顶视图。为简化,在图4A中仅示出用于VDD和VSS电源线的金属一线。具有凸出件422-426的金属一线420是用于VDD电源线。具有凸出件432-446的金属一线430是用于VSS电源线。具有凸出件452-456的金属一线450是用于VDD电源线。
[0053]布局400A包括沿着X方向和Y方向邻接在一起的单元410-415。尽管布局400A仅示出六个单元,但是单元的任何数目都在各个实施例的范围内。单元410-415中的每一个包括与图4B中的布局400B的相应的组件类似的用于VDD和VSS电源线的金属一线结构。为简化,单元410-415的尺寸是相同的。
[0054]在图4B中,沿着X方向延伸的金属一线470是用于VDD电压的电源线。单元边界460限定在沿着X方向延伸的金属一线470的部分中。此外,金属一线470包括沿着Y方向延伸的凸出件472。单元边界464限定在沿着Y方向延伸的凸出件472的部分中。沿着X方向延伸的金属一线474是用于VSS电压的电源线。单元边界462限定在沿着X方向延伸的金属一线474的部分中。此外,金属一线474包括沿着Y方向延伸的凸出件476。单元边界464限定在沿着Y方向延伸的凸出件476的部分中。
[0055]在一些实施例中,金属一线470和凸出件472形成L型金属线并且占据布局400B的左上角。在一些实施例中,金属一线474和凸出件476形成L型金属线并且占据布局400B的左下角。在一些实施例中,两个L型金属线在布局400B左侧的相应拐角上形成。
[0056]返回参照图4A,在一些实施例中,单元410和单元411在Y轴上相对邻接。单元410的VDD和VSS电源线分别连接至单元411的VDD和VSS电源线。此外,单元411的VDD和VSS电源线的最左边的凸出件连接至单元410的最右边的单元边界以形成相应的凸出件424和434。在一些实施例中,单元410和单元413在X轴上相对邻接。邻接前,单元413布置为首先相对于X轴翻转从而使得单元410的VSS电源线与单元413的VSS电源线连接。
[0057]在一些实施例中,用于VDD电源线的金属一线422与用于VDD电源线的金属一线452物理分离。在一些实施例中,用于VSS电源线的金属一线432连接至用于VSS电源线的金属一线442。在一些实施例中,用于VDD电源线的金属一线422、452和用于VSS电源线的金属一线432、442在Y方向上垂直地对准。在一些实施例中,用于VSS电源线的金属一线432和442沿着Y方向垂直地插入在用于VDD电源线的金属一线422和452之间。
[0058]图5A是根据一些实施例的布局500A的顶视图。为简化,在图5A中仅不出金属一线中的VDD和VSS电源线。具有凸出件522-526的金属一线520是用于VDD电源线。具有凸出件532-546的金属一线530是用于VSS电源线。具有凸出件552-556的金属一线550是用于VDD电源线。
[0059]布局500A包括沿着X方向和Y方向延邻接在一起的单元510-515。尽管布局500A仅示出了六个单元,但是单元的任何数目都在各个实施例的范围内。单元510-515中的每一个包括与图5B中的布局500B的相应的组件类似的用于VDD和VSS电源线的金属一线结构。为简化,单元510-515的尺寸是相同的。
[0060]在图5B中,沿着X方向延伸的金属一线570是用于VDD电压的电源线。单元边界560限定在沿着X方向延伸的金属一线570的部分中。此外,金属一线570包括沿着Y方向延伸的凸出件572。单元边界566限定在沿着Y方向延伸的凸出件572的部分中。沿着X方向延伸的金属一线574是用于VSS电压的电源线。单元边界562限定在沿着X方向延伸的金属一线574的部分中。此外,金属一线574包括沿着Y方向延伸的凸出件576。单元边界566限定在沿着Y方向延伸的凸出件576的部分中。
[0061]在一些实施例中,金属一线570和凸出件572形成L型金属线并且占据布局500B的右上角。在一些实施例中,金属一线574和凸出件576形成L型金属线并且占据布局500B的右下角。在一些实施例中,两个L型金属线形成在布局500B的右侧的相应拐角上。
[0062]返回参照图5A,在一些实施例中,单元510和单元511在Y轴上相对邻接。单元510的VDD和VSS电源线分别连接至单元511的VDD和VSS电源线。此外,单元510的VDD和VSS电源线的最右边的凸出件连接至单元511的最左边的单元边界以形成相应的凸出件522和532。在一些实施例中,单元510和单元513在X轴上相对邻接。邻接前,单元513布置为首先相对于X轴翻转从而使得单元510的VSS电源线与单元513的VSS电源线连接。
[0063]在一些实施例中,用于VDD电源线的金属一线522与用于VDD的金属一线552物理分离。在一些实施例中,用于VSS电源线的金属一线532连接至用于VSS电源线的金属一线542。在一些实施例中,用于VDD电源线的金属一线522、552和用于VSS电源线的金属一线532、542在Y方向上垂直地对准。在一些实施例中,用于VSS电源线的金属一线532和542沿着Y方向垂直地插入在用于VDD电源线的金属一线522和552之间。
[0064]图6A是根据一些实施例的布局600A的顶视图。为简化,图6A中仅不出了金属一线中的VDD和VSS电源线。具有凸出件622-626的金属一线620是用于VDD电源线。具有凸出件632-646的金属一线630是用于VSS电源线。具有凸出件652-656的金属一线650是用于VDD电源线。
[0065]布局600A包括沿着X方向和Y方向延邻接在一起的单元610-615。尽管布局600A仅示出了六个单元,但是单元的任何数目都在各个实施例的范围内。单元610-615中的每一个包括与图6B中的布局600B的相应的组件类似的用于VDD和VSS电源线的金属一线结构。为简化,单元610-615的尺寸是相同的。
[0066]在图6B中,沿着X方向延伸的金属一线670是用于VDD电压的电源线。单元边界660限定在沿着X方向延伸的金属一线670的部分中。此外,金属一线670包括沿着Y方向延伸的凸出件672。单元边界666限定在沿着Y方向延伸的凸出件672的部分中。沿着X方向延伸的金属一线674是用于VSS电压的电源线。单元边界662限定在沿着X方向延伸的金属一线674的部分中。此外,金属一线674包括沿着Y方向延伸的凸出件676。单兀边界666限定在沿着Y方向延伸的凸出件676的部分中。
[0067]在一些实施例中,金属一线670和凸出件672形成L型金属线并且占据布局600B的右上角。在一些实施例中,金属一线674和凸出件676形成L型金属线并且占据布局600B的右下角。在一些实施例中,两个L型金属线沿对角线形成在布局600B的相对拐角上。
[0068]返回参考图6A,在一些实施例中,单元610和单元611在Y轴上相对邻接。单元610的VDD和VSS电源线分别连接至单元611的VDD和VSS电源线。此外,单元610的VDD电源线的最右边的凸出件连接至单元611的最左边的单元边界以形成相应的凸出件622。单元611的VSS电源线的最左边的凸出件连接至单元610的最右边的单元边界以形成相应的凸出件634。在一些实施例中,单元610和单元613在X轴上相对邻接。邻接前,单元613布置为首先相对于X轴翻转从而使得单元610的VSS电源线与单元613的VSS电源线连接。
[0069]在一些实施例中,用于VDD电源线的金属一线622与用于VDD电源线的金属一线652物理分离。在一些实施例中,用于VSS电源线的金属一线632连接至用于VSS电源线的金属一线642。在一些实施例中,用于VDD电源线的金属一线622、652和用于VSS电源线
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