树脂组合物、由其形成的固化膜和图案固化膜、以及它们的制造方法与流程

技术特征：

1.一种树脂组合物，其含有下述(a)成分、(b)成分和(c)成分，

(a)具有下述式(1)所表示的结构单元的聚酰亚胺前体

(b)曝光部表面增溶剂

(c)通过活性光线照射产生自由基的化合物

式(1)中，R¹为四价有机基团，R²为二价有机基团，R³和R⁴各自独立地为氢原子、烷基、环烷基或具有碳碳不饱和双键的一价有机基团。

2.根据权利要求1所述的树脂组合物，所述(b)成分为氢醌或其衍生物。

3.根据权利要求1所述的树脂组合物，所述(b)成分为苯醌或其衍生物。

4.根据权利要求1所述的树脂组合物，所述(b)成分为下述式(2)所表示的化合物，

式(2)中，R⁵为碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的烷氧基或碳原子数2～10的烷氧基烷基，a为0～5的整数，在a大于或等于2的情况下，多个R⁵可以相同也可以不同。

5.根据权利要求1所述的树脂组合物，所述(b)成分为下述式(3)所表示的化合物，

式(3)中，X为二价有机基团，R⁶和R⁷各自独立地为碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的烷氧基或碳原子数2～10的烷氧基烷基，b为0～4的整数，c为0～4的整数。

6.根据权利要求1所述的树脂组合物，所述(b)成分为1,4,4-三甲基-2,3-二氮杂双环[3,2,2]-壬-2-烯-N,N’-二氧化物。

7.根据权利要求1所述的树脂组合物，所述(b)成分为硝酰化合物。

8.根据权利要求1所述的树脂组合物，所述(b)成分为三苯基四联氮基化合物或其衍生物。

9.根据权利要求1所述的树脂组合物，所述(b)成分为亚硝胺化合物。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的树脂组合物，所述(c)成分为肟酯化合物。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的树脂组合物，所述式(1)中的R²为下述式(5)所表示的二价有机基团，

式(5)中，R¹⁰～R¹⁷各自独立地为氢原子、氟原子或一价有机基团，R¹⁰～R¹⁷的至少一个为氟原子、甲基或三氟甲基。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的树脂组合物，所述式(1)中的R²为下述式(6)所表示的二价有机基团，

式(6)中，R¹⁸和R¹⁹各自独立地为氟原子或三氟甲基。

13.根据权利要求1～12中任一项所述的树脂组合物，所述(b)成分的含量相对于(a)成分100质量份为0.5～3质量份。

14.一种固化膜的制造方法，其包含：将权利要求1～13中任一项所述的树脂组合物涂布在基板上并干燥而形成涂膜的工序；以及对所述涂膜进行加热处理的工序。

15.一种图案固化膜的制造方法，其包含：将权利要求1～13中任一项所述的树脂组合物涂布在基板上并干燥而形成涂膜的工序；对所述涂膜照射活性光线后，进行显影而得到图案树脂膜的工序；以及对所述图案树脂膜进行加热处理的工序。

16.一种由权利要求14或15所述的制造方法得到的固化膜或图案固化膜。

17.根据权利要求16所述的固化膜或图案固化膜，厚度小于或等于4μm。

18.一种电子部件，其具有权利要求16或17所述的固化膜或图案固化膜。