与具有締属不饱和双键基的含环氧基的不饱和化合 物进行开环加成反应。关于用于含环氧基的不饱和化合物的开环加成反应的催化剂及含环 氧基的不饱和化合物，可与得到具有締属不饱和双键基的（A)丙締酸系树脂的情况相同。
[0055]本发明的感光性树脂组合物中所占的（A)丙締酸系树脂W外的丙締酸系树脂的 含量在将（A)丙締酸系树脂、炬）自由基聚合性化合物及（A)丙締酸系树脂W外的丙締酸 系树脂的合计设为100重量份时，优选1~20重量份，更优选1~10重量份。
[0056]本发明的感光性树脂组合物含有炬）自由基聚合性化合物。所谓炬）自由基聚合 性化合物是指在分子中具有多个締属不饱和双键基的化合物，但优选容易进行自由基聚合 的具有（甲基）丙締酷基的自由基聚合性化合物。通过光照射，并通过由后述的（C)光聚 合引发剂产生的自由基，炬）自由基聚合性化合物进行聚合，感光性树脂组合物的曝光部对 于碱性水溶液不溶化，可形成图案。从曝光时的灵敏度及固化膜的硬度的方面考虑，炬）自 由基聚合性化合物的双键当量优选80~400g/mol。
[0057] 作为做自由基聚合性化合物，例如可W举出；二己二醇二（甲基）丙締酸醋、S 己二醇二（甲基）丙締酸醋、四己二醇二（甲基）丙締酸醋、丙二醇二（甲基）丙締酸醋、 S哲甲基丙烷二（甲基）丙締酸醋、S哲甲基丙烷S(甲基）丙締酸醋、己氧基化S哲甲基 丙烷S(甲基）丙締酸醋、二S哲甲基丙烷四（甲基）丙締酸醋、1,3-了二醇二（甲基） 丙締酸醋、新戊二醇二（甲基）丙締酸醋、1，4-了二醇二（甲基）丙締酸醋、1，6-己二醇二 (甲基）丙締酸醋、1,9-壬二醇二（甲基）丙締酸醋、1,10-癸二醇二（甲基）丙締酸醋、 二哲甲基环癸烧二（甲基）丙締酸醋、己氧基化甘油S(甲基）丙締酸醋、季戊四醇S (甲基）丙締酸醋、季戊四醇四（甲基）丙締酸醋、己氧基化季戊四醇四（甲基）丙締酸醋、 二季戊四醇五（甲基）丙締酸醋、二季戊四醇六（甲基）丙締酸醋、S季戊四醇走（甲基） 丙締酸醋、=季戊四醇八（甲基）丙締酸醋、四季戊四醇九（甲基）丙締酸醋、四季戊四醇 十（甲基）丙締酸醋、五季戊四醇十一（甲基）丙締酸醋、五季戊四醇十二（甲基）丙締酸 醋、己氧基化双苯酪A二（甲基）丙締酸醋、=((甲基）丙締酷氧基己基）异氯脈酸醋或 双（（甲基）丙締酷氧基己基）异氯脈酸醋，从曝光时的灵敏度提高、固化膜的硬度提高的 观点考虑，优选=哲甲基丙烷=(甲基）丙締酸醋、二=哲甲基丙烷四（甲基）丙締酸醋、季 戊四醇S(甲基）丙締酸醋、季戊四醇四（甲基）丙締酸醋、二季戊四醇五（甲基）丙締酸 醋、二季戊四醇六（甲基）丙締酸醋、S季戊四醇走（甲基）丙締酸醋、S季戊四醇八（甲 基）丙締酸醋、=((甲基）丙締酷氧基己基）异氯脈酸醋或双（（甲基）丙締酷氧基己基） 异氯脈酸醋。
[0058] 本发明的感光性树脂组合物中所占的炬）自由基聚合性化合物的含量在将（A)丙 締酸系树脂及炬）自由基聚合性化合物de合计设为100重量份时，一般为20~90重量份， 从固化膜的硬度及耐化学药品性提高的观点考虑，优选30~80重量份，更优选40~70重 量份。
[0059] 本发明的感光性树脂组合物含有（C)光聚合引发剂。作为（C)光聚合引发剂，优 选通过光（包含紫外线、电子束）分解及/或反应而产生自由基的引发剂。
[0060] 作为似光聚合引发剂，例如可W举出；2-甲基-1-[4-(甲硫基）苯基]-2-吗 咐基丙烷-1-酬、2-二甲基氨基-2-(4-甲基苯甲基）-1-(4-吗咐基苯基）-了烧-1-酬、 2-苯甲基-2-二甲基氨基-1- (4-吗咐基苯基）-了烧-1-酬或者3, 6-双（2-甲基-2-吗 咐基丙酷基）-9-辛基-9H-巧挫等a-氨基烷基苯酬化合物、2, 4, 6-S甲基苯甲酯基-二 苯基氧化麟、双化4,6-S甲基苯甲酯基）-苯基氧化麟或者双化6-二甲氧基苯甲酯 基）-(2, 4, 4-S甲基戊基）氧化麟等酷基氧化麟化合物、1-苯基丙烷-1，2-二酬-2- (0-己 氧基幾基）目亏、1-[4-(苯硫基）苯基]辛烧-1,2-二酬-2-(0-苯甲酯基）目亏、1-苯基了 烧-1，2-二酬-2-(0-甲氧基幾基）朽、1，3-二苯基丙烷-1，2, 3-S酬-2-(0-己氧基幾 基）朽、1-[9-己基-6-(2-甲基苯甲酯基）-9护巧挫-3-基]己酬-1-(0-己酷基）朽或 者1-巧-己基-6-[2-甲基-4-[l-化2-二甲基-1，3-二氧杂戊环-4-基）甲氧基]苯甲 酷基]-9H-巧挫-3-基]己酬-l-(0-己酷基）目亏等目亏醋化合物、二苯甲酬、4, 4'-双（二 甲基氨基）二苯甲酬、4, 4' -双（二己基氨基）二苯甲酬、4-苯基二苯甲酬、4, 4-二氯二 苯甲酬、4-哲基二苯甲酬、烷基化二苯甲酬、3, 3'，4, 4' -四（叔了基过氧化幾基）二苯 甲酬、4-甲基二苯甲酬、二苯甲基酬或者巧酬等二苯甲酬衍生物、4-二甲基氨基苯甲酸己 醋、4-二甲基氨基苯甲酸（2-己基）己醋、4-二己基氨基苯甲酸己醋或者2-苯甲酯基苯 甲酸甲醋等苯甲酸醋化合物、2, 2-二己氧基苯己酬、2, 3-二己氧基苯己酬、4-叔了基二氯 苯己酬、2-哲基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酬、2, 2-二甲氧基-1，2-二苯基己烧-1-酬、 1-哲基环己基苯基酬、2-哲基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酬、1-(4-异丙基苯基）-2-哲 基-2-甲基丙烷-1-酬、1-[4-(2-哲基己氧基）苯基]-2-哲基-2-甲基丙烷-1-酬、2-哲 基-l-[4-[4-(2-哲基-2-甲基丙酷基）苯甲基]苯基]-2-甲基丙烷-1-酬、亚苯甲基苯己 酬或者4-叠氮基节叉苯己酬等芳香族酬化合物、唾吨酬、2-甲基唾吨酬、2-氯唾吨酬、2-异 丙基唾吨酬、2, 4-二甲基唾吨酬、2, 4-二己基唾吨酬或者2, 4-二氯唾吨酬等唾吨酬化合 物、苯甲基甲氧基己基缩醒、苯偶姻、苯偶姻甲離、苯偶姻己離、苯偶姻异丙基離、苯偶姻异 了基離、4-苯甲酯基-N，N-二甲基-N-巧-(1-氧代-2-丙締氧基）己基]苯甲锭漠、（4-苯甲 酷基苯甲基）S甲基氯化锭、2-哲基-3- (4-苯甲酯基苯氧基）-N，N，N-S甲基-1-丙締氯化 侣一水盐、2-哲基-3- (3, 4-二甲基-9-氧代-9H-唾吨-2-基氧基）-N，N，N-S甲基-1-丙 烧氯化锭、蒙横酷氯、嗟咐横酷氯、2, 2' -双（2-氯苯基）-4, 5, 4'，5' -四苯基-1,2-联 咪挫、10-正了基-2-氯日丫晚酬、N-苯基硫代日丫晚酬、1，7-双（日丫晚-9-基）-正己烧、慈 酿、2-己基慈酿、2-叔了基慈酿、2-氨基慈酿、0 -氯慈酿、慈酬、苯并慈酬、二苯并环庚酬、 甲基苯基己醒酸醋、n5-环戊二締基-n6-枯締基-铁（1+)-六氣磯酸醋（1-)、4-苯甲 酷基-4' -甲基-二苯硫離、二苯硫離衍生物衍生物、双（n5-2, 4-环戊二締-1-基）-双 (2, 6-二氣-3- (1H- [I比咯-1-基）-苯基）铁、2, 6-双（4-叠氮基亚苯甲基）环己烧、2, 6-双 (4-叠氮基压苯甲基）-4-甲基环己酬、苯并唾挫二硫化物、S苯基麟、四漠化碳、S漠苯基 讽或过氧化苯甲酯基或者曙红或亚甲基藍等光还原性的色素和抗坏血酸或=己醇胺等还 原剂的组合，从固化膜的硬度提高的观点考虑，a-优选氨基烷基苯酬化合物、酷基氧化麟 化合物、朽醋化合物、具有氨基的二苯基酬化合物或具有氨基的苯甲酸醋化合物。
[0061] 作为具有氨基的二苯基酬化合物，例如可W举出；4,4'-双（二甲基氨基）二苯基 酬或4, 4' -双（二己基氨基）二苯基酬。
[0062] 作为具有氨基的苯甲酸醋化合物，例如可W举出；4-二甲基氨基苯甲酸己醋、 4-二甲基氨基苯甲酸（2-己基己基）醋或4-二己基氨基苯甲酸己醋
[0063] 至于本发明的感光性树脂组合物中所占的似光聚合引发剂的含量，在将（A)丙 締酸系树脂及炬）自由基聚合性化合物的合计设为100重量份时，优选为0. 1~20重量份， 更优选为1~10重量份。若（C)光聚合引发剂的含量低于0. 1重量份，则UV固化不会充 分地进行，在显影时产生膜减少，成为分辨率降低的原因。另一方面，若超过20重量份，贝U 由于UV固化过度进行，因此，有时成为显影后的残渣的原因，另外，残留的光聚合引发剂会 溶出等，固化膜的耐化学药品性降低。
[0064] 本发明的感光性树脂组合物含有值）金属馨合化合物。通过含有值）金属馨合化 合物，可提高得到的固化膜的耐化学药品性、真空耐性、耐湿热性及人工汗耐性。推测该是 由于该金属馨合化合物通过热与树脂等反应，作为热固化时所形成的=维网眼结构的一部 分而被导入。目P，认为因尺寸较大的原子被导入固化膜中，所W固化膜的膜密度上升，且水 分或药液的通过性降低，因此，得到的固化膜的耐化学药品性、真空耐性、耐湿热性及人工 汗耐性提高。
[0065] 作为值）金属馨合化合物，例如可W举出；铁馨合化合物、错馨合化合物、侣馨合 化合物、儀馨合化合物、锋馨合化合物、铜馨合化合物、锡馨合化合物或铜馨合化合物。
[0066] 从固化膜的密合性的观点考虑，优选铁馨合化合物、错馨合化合物、侣馨合化合物 或儀馨合化合物，从固化膜的耐湿热性及人工汗耐性的观点考虑，更优选错馨合化合物。
[0067] 该些金属馨合化合物可通过使馨合剂于金属醇盐反应而容易地得到。作为馨合化 剂，例如可W举出：己酷丙酬、苯甲酯基丙酬或者二苯甲酯基甲烧等0-二酬或己酷己酸己 醋或苯甲酯基己酸己醋等e-酬醋。
[0068] 作为值）金属馨合化合物，例如可W举出：四（己酷丙酬）铁（IV)、二异丙氧基双 (己基己酷己酸）铁（IV)、二异丙氧基双（己酷丙酬）铁（IV)、二正辛氧基双（辛二醇） 铁（IV)、二异丙氧基双己醇胺化）铁（IV)、二哲基双（2-哲基丙酸）铁（IV)或者二 哲基双（2-哲基丙酸）铁（IV)锭盐等铁馨合化合物、四（己酷丙酬）错（IV)、二正了氧基 双（己基己酷己酸）错（IV)、=正了氧基单（己酷丙酬）错（IV)或者=正了氧基单（硬 脂酸）错（IV)等错馨合化合物、S(己酷丙酬）侣（III)、S(己基己酷己酸）侣（III)、 单（己酷丙酬）双（己基己酷己酸）侣（III)、二异丙氧基单（己基己酷己酸）侣（III)或 者Plenact(注册商标）AL-M(二异丙氧基单（9-十八烷基己酷己酸）侣7^シ个 S力;k(株）审IJ)等侣馨合化合物、双（己酷丙酬）儀（II)、双（己基己酷己酸）儀（II)、 异丙氧基单（己酷丙酬）儀（II)或者异丙氧基单（己基己酷己酸）儀（II)等儀馨合化合 物、双（己酷丙酬）锋（II)或者双（己基己酷己酸）锋（II)等锋馨合化合物、双（己酷丙 酬）铜（III)或者双（己基己酷己酸）铜（III)等铜馨合化合物、双（己酷丙酬）锡（II) 或者双（己基己酷己酸）锡（II)等锡馨合化合物或双（己酷丙酬）铜（II)或者双（己基 己酷己酸）铜（II)等銅馨合化合物。
[0069] 作为值）金属馨合化合物，优选通式（2)所示的化合物。
[0070]
[0071] (M表示铁、错、侣或儀，R2表示氨、碳原子数1~10的烷基、碳原子数4~10的环 烷基或碳原子数6~15的芳基，R3及R4分别独立地表示氨、碳原子数1~20的烷基、碳原 子数4~10的环烷基、碳原子数6~15的芳基、碳原子数1~6的烷氧基或哲基，n表示 0~4的整数。）
[0072]R2优选氨、碳原子数1~6的烷基、碳原子数4~7的环烷基或碳原子数6~10 的芳基，R3及R4分别独立地优选氨、碳原子数1~18的烷基、碳原子数4~7的环烷基、碳 原子数6~10的芳基、碳原子数1~4的烷氧基或哲基。上述的烷基、环烷基、芳基及烧氧 基可W为未取代物或取代物中的任一者。M如上所述，优选错。
[007引作为通式似所示的化合物，例如可W举出；四（己酷丙酬）铁（IV)、二异丙氧基 双（己基己酷己酸）铁（IV)、二异丙氧基双（己酷丙酬）铁（IV)或者二异丙氧基双（己酷 己酸）铁（IV)等铁馨合化合物、四（己酷己酸）错（IV)、二正了氧基双（己基己酷己酸）错 (IV)或者S正了氧基单（己酷己酸）错（IV)等错馨合化合物、S(己酷己酸）侣（III)、 S(己基己酷己酸）侣（III)、单（己酷己酸）双（己基己酷己酸）侣（III)、二异丙氧基 单（己基己酷己酸）侣（III)或者文kシ六夕h(注册商标）AL-M(川研7 7斗シ个；力 (株）制）等侣馨合化合物或双（己酷己酸）儀（II)、双（己基己酷己酸）儀（II)、异丙 氧基单（己酷己酸）儀（II)或者异丙氧基单（己基己酷己酸）儀（II)等儀馨合化合物。
[0074] 至于本发明的感光性树脂组合物中所占的值）金属馨合化合物的含量，在将（A) 丙締酸系树脂及炬）自由基聚合性化合物的合计设为100重量份时，优选为0. 1~10重量 份，更优选为0. 5~5重量份。若值）金属馨合化合物的含量低于0. 1重量份，则存在耐化学 药品性、真空耐性、耐湿热性或人工汗耐性提高的效果不充分的情况。另一方面，若超过10 重量份，则有时成为透明性的降低或显影后的残渣的原因，另外，涂液的保存稳定性降低。
[0075] 本发明的感光性树脂组合物含有似溶剂。作为似溶剂，从可均匀地溶解各成 分，且使得到的固化膜的透明性提高的方面考虑，优选具有醇性哲基的化合物、具有幾基的 化合物或具有3个W上離键的化合物等，更优选大气压下的沸点为110~250°C的化合物。 通过将沸点设为ll〇°C，溶剂在涂布时适度地挥发而进行涂膜的干燥，得到没有涂布不均的 良好涂膜。另一方面，通过将沸点设为250°CW下，可抑制涂膜中的残留溶剂量使其较少，可 减低热固化时的膜收缩量，因此，可得到更良好的平坦性。
[0076] 作为具有醇性哲基，且大气压下的沸点为110~250°C的化合物，例如可W举出： 哲基丙酬、4-哲基-2- 了酬、3-哲基-3-甲基-2- 了酬、4-哲基-3-甲基-2- 了酬、5-哲 基-2-戊酬、4-哲基-2-戊酬、4-哲基-4-甲基-2-戊酬（二丙酬醇）、乳酸甲醋、乳酸己醋、 乳酸正丙醋、乳酸正了醋、己二醇单甲基離、己二醇单己基離、己二醇单正丙基離、己二醇单 正了基離、丙二醇单甲基離、丙二醇单己基離、丙二醇单正丙基離、丙二醇单正了基離、丙二 醇单叔了基離、二己二醇单甲基離、二己二醇单己基離、二己二醇单正丙基離、二丙二醇单 甲基離、二丙二醇单己基離、二丙二醇单正丙基離、甲氧基-1- 了醇、甲氧基甲基-1- 了醇、 四氨慷醇、正了醇或正戊醇，但从涂布性的观点考虑，优选二丙酬醇、乳酸己醋、己二醇单甲 基離、丙二醇单甲基離、二己二醇单甲基離、二丙二醇单甲基離、3-甲氧基-1-了醇、3-甲氧 基-3甲基-1- 了醇或四氨慷醇。
[0077] 作为具有幾基，且大气压下的沸点为110~250°C的化合物，例如可W举出：己酸 正了醋、己酸异了醋、3-甲氧基-正了基己酸醋、3-甲基-3-甲氧基-正了基己酸醋、己二醇 单甲基離己酸醋、丙二醇单甲基離己酸醋、甲基正了基酬、甲基异了基酬、二异了基酬、2-庚 酬、己酷丙酬、环戊酬、环己酬、环庚酬、丫-了内醋、丫-戊内醋、5-戊内醋、碳酸亚丙醋、 N-甲基化咯晚酬、尺小'-二甲基甲酯胺、N，N'-二甲基己酷胺或1，3-二甲基-2咪挫咐酬 等，但从涂布性的观点考虑，优选为3-甲氧基-正了基己酸醋、丙二醇单甲基離己酸醋或 丫-了内醋等。
[007引作为具有3个W上的離键，且大气压下的沸点为110~250°C的化合物，例如可W 举出；二己二醇二甲基離、二己二醇二己基離、二己二醇己基甲基離、二己二醇二正丙基離、 二丙二醇二甲基離、二丙二醇二己基離、二丙二醇己基甲基離或二丙二醇二正丙基離，但从 涂布性的观点考虑，优选为二己二醇二甲基離、二己二醇己基甲基離或二丙二醇二甲基離。
[0079] 至于本发明的感光性树脂组合物中所占的巧）溶剂的含量，只要根据涂布方法等 适宜调整即可，例如在通过旋涂进行膜形成时，一般设为感光性树脂组合物整体的50~95 重量％。
[0080] 本发明的感光性树脂组合物优选还含有（巧具有选自氨基、酷胺基、脈基、酬亚胺 基、异氯酸醋基、琉基、异氯脈酸环骨架、（甲基）丙締酷基及苯己締基中的取代基的硅烷化 合物（W下为"(巧硅烷化合物"）。从固化膜的密合性的观点考虑，（巧硅烷化合物优选具 有烷氧基。通过感光性树脂组合物含有（巧硅烷化合物，可提高得到的固化膜的密合性及 耐化学药品性。（巧硅烷化合物所具有的氨基、酷氨基、脈基、酬亚氨基、异氯酸醋基、琉基、 异氯脈酸环骨架、（甲基）丙締酷基或苯己締基等官能团为可与树脂等反应的部位，并且根 据官能团而作为可在基底的基板表面上配位的部位发生作用。另外，（巧硅烷化合物所具 有的烷氧基娃烷基通过水解转换成硅烷醇基，该硅烷醇基可与基底的基板表面上的哲基形 成共价键。推测通过该些作用，固化膜与基底的基板之间的相互作用增加，得到的固化膜的 密合性及耐化学药品性提高。
[0081] 作为（巧硅烷化合物，例如可W举出；3-氨基丙基=甲氧基硅烷、3-氨基丙基=己 氧基硅烷、N- (2-氨基己基）-3-氨基丙基S甲氧基硅烷、N- (2-氨基己基）-3-氨基丙基甲 基^甲氧基硅烷、N- (2-氨基己基）-3-氨基丙基二己氧基硅烷、N-苯基-3-氨基丙基二甲 氧基硅烷、N-(己締基苯甲基）-2-氨基己基-3-氨基丙基S甲氧基硅烷塩酸塩、3-(4-氨 基苯基）丙基S甲氧基硅烷、l-[4-(3-S甲氧基甲娃烷基丙基）苯基]脈、l-(3-S甲氧基 甲娃烷基丙基）脈、l-(3-S己氧基甲娃烷基丙基）脈、3-S甲氧基甲娃烷基-N-(l，3-二 甲基亚了基）丙基胺、3-S己氧基甲娃烷基-N-(l，3-二甲基亚了基）丙基胺、3-异氯酸醋 丙基=甲氧基硅烷、3-异氯酸醋丙基=己氧基硅烷、3-异氯酸醋丙基甲基二己氧基硅烷、 1，3,5-S(3-S甲氧基甲娃烷基丙基）异氯脈酸、1，3,5-S(3-S己氧基甲娃烷基丙基） 异氯脈酸、3-琉基丙基=甲氧基硅烷、3-琉基丙基=己氧基硅烷、3-琉基丙基甲基二甲氧 基硅烷、3-(甲基）丙締酷氧基丙基=甲氧基硅烷、3-(甲基）丙締酷氧基丙基=己氧基娃 烧、3-(甲基）丙締酷氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-(甲基）丙締酷氧基丙基甲基二己氧 基硅烷、4-苯己締基S甲氧基硅烷或4-苯己締基S己氧基硅烷。
[0082] 本发明的感光性树脂组合物中所占的（巧硅烷化合物的含量在将（A)丙締酸系 树脂及炬）自由基聚合性化合物的合计设为100重量份时，优选0. 1~10重量份，更优选 0. 5~7重量份。若（巧硅烷化合物的含量少于0. 1重量份，则有时密合性或耐化学药品性 提高的效果不充分。另一方面，若超过10重量份，则有时成