后的膜接触显影液5秒~10分 钟。
[014引优选显影处理后，通过冲洗液来清洗通过显影形成的浮雕图案。作为冲洗液，在显 影液使用碱性水溶液时，优选水。另外，也可W将己醇或异丙醇等醇类、丙二醇单甲基離己 酸醋等醋类或二氧化碳气体、盐酸或己酸等酸等加入水中来进行冲洗处理。
[0149] 在W有机溶剂进行冲洗时，优选与显影液的混合性高的甲醇、己醇、异丙醇、乳酸 己醋、丙酬酸己醋、丙二醇单甲基離己酸醋、甲基-3-甲氧基丙酸醋、己基-3-己氧基丙酸 醋、2-庚酬或己酸己醋等。
[0150] 在显影后根据需要也可W进行中间烘烤。通过进行中间烘烤，可期待热固化后的 分辨率提高，可控制热固化后的图案形状等效果。中间烘烤使用烘箱、热板或红外线等，作 为烘烤温度，优选60~250°C，更优选70~220°C。烘烤时间优选进行10秒~几小时。
[0151] 接着，通过在120~280°C的温度下加热10分钟~几小时，可得到本发明的感光性 树脂组合物的固化膜。该加热处理可在空气环境下或氮等不活泼气体气氛下进行。另外， 该加热处理也可阶段性地升温，也可连续地升温并进行5分钟~5小时。例如可W举出在 130°C、200°C及250°C下各进行30分钟热处理的方法，或在室温至250°C为止经2小时直线 性地升温等的方法。
[0152] 将本发明的感光性树脂组合物热固化而得到的固化膜的膜厚优选0. 1~15ym。 另外，优选膜厚为1. 5ym时硬度为4HW上，透过率为90 %W上。进而，在此所谓的透过率 是指在波长400nm下的透过率。硬度或透过率可通过曝光量、热固化温度的选择来调整。
[0153] 将本发明的感光性树脂组合物热固化而得到的固化膜可用于触摸面板用保护膜、 各种硬涂材料、TFT用平坦化膜、彩色滤光片用覆盖层、防反射膜或者纯化膜等各种保护膜、 光学滤片、触摸面板用绝缘膜、TFT用绝缘膜等各种绝缘膜或彩色滤光片用光间隔物等。其 中，从具有高硬度、透明性、耐化学药品性、真空耐性及耐热性考虑，因此，可优选用作触摸 面板用保护膜或触摸面板用绝缘膜。作为触摸面板的方式，例如可W举出；电阻膜式、光学 式、电磁感应式或电容式。其中，由于电容式触摸面板要求特别高的硬度，因此，可特别优选 使用本发明的固化膜。
[0154] 进而，将本发明的感光性树脂组合物热固化而得到的固化膜由于具有高耐湿热性 及人工汗耐性，可优选用作金属配线保护膜。通过将本发明的固化膜形成在金属配线上， 可防止因金属的腐蚀等所致的劣化（导电性、电阻值的降低等）。作为保护的金属配线， 例如可W举出含有选自钢、银、铜、侣、铭、铁、IT0、IZOQndiumZinc化ide，铜锋氧化物）、 AZ0(AluminumZincOxide,侣锋氧化物）、化化及CNT中的一种W上的金属配线。其中， 将本发明的感光性树脂组合物热固化而得到的固化膜可优选用作含有选自钢、银、铜、侣及 CNT中的一种W上的金属配线的保护膜或绝缘膜。
[0155] 实施例
[0156] W下举出实施例及比较例进一步具体地说明本发明，但本发明并不限定于该些范 围。另外，关于使用的化合物中使用缩写符号的情况，将名称示于W下。
[0巧7] AcOH;己酸
[01则 A1-A;侣聲合物A( 7 7 ^シ个S力；1/ (株）制己（己酷丙酬）侣（III))
[0159] BAPF;9, 9-双[4- (3-丙締酷氧基丙氧基）苯基]巧
[0160] 抓G; 了二醇、二己二醇单-正了基離
[016。BGPP;2, 2-双（4-环氧丙氧基苯基）丙烷（东京化成工业（株）制）
[016引BMI-70 ;3, 3' -二己基-5, 5' -二甲基-4, 4' -双（马来酷亚胺）二苯基甲烧化I化成（株）制）
[0163] BMI-80 ;2, 2-双[4-(4-马来酷亚胺苯氧基）苯基]丙烷（KI化成（株）审IJ)
[0164] BPEF;9,g-双[4-(2-哲基己氧基）苯基]巧（大阪方乂个S力；k(株）制）
[01财 BYK-333 ;娃酬系表面活性剂炬YK化学日本（株）审IJ)
[0166] DPHA:KAYARAD(注册商标）DPHA(日本化药（株）制；二季戊四醇六丙締酸醋）
[0167] EA-〇25〇P:才少y-;1/ (注册商标）EA-〇25〇P(大阪方乂个S力；1/ (株）审Ij)
[016引 EDM;二己二醇己基甲基離
[0169] 化地；己醇
[0170] 肥1 ;盐酸
[0171] HN03;硝酸 [017引畔04;磯酸
[0173] IC-907JRGACURE(注册商标）907 炬ASF制；2-甲基-1-[4-(甲硫基）苯基]-2-吗 咐基丙烷-1-酬）
[0174] IT0;氧化铜锡
[01巧]KBM-1403 ;4-苯己締基S甲氧基硅烷（信越化学工业（株）审IJ)
[0176] 邸M-403 ; 3-环氧丙氧基丙基S甲氧基硅烷（信越化学工业（株）审IJ)
[0177] 邸M-503 ;3-甲基丙締酷氧基丙基S甲氧基硅烷（信越化学工业（株）审IJ)
[0178] 邸M-5103 ;3-丙締酷氧基丙基S甲氧基硅烷（信越化学工业（株）审IJ)
[0179] KBM-803 ;3-琉基丙基S甲氧基硅烷（信越化学工业（株）审IJ)
[0180] KBM-903 ;3-氨基丙基S甲氧基硅烷（信越化学工业（株）审IJ)
[01引]邸E-9007 ;3-异氯酸醋丙基S己氧基硅烷（信越化学工业（株）审IJ)
[0182] 邸E-9103 ;3-S己氧基甲娃烷基-N-(l，3-二甲基亚了基）丙基胺（信越化学工 業（株）制）
[0183] 邸M-9659 ;1，3, 5-S(3-S甲氧基甲娃烷基丙基）异氯脈酸（信越化学工业（株） 制）
[0184] MAM;Mo/Al/Mo(钢 / 侣 / 钢）
[018引 MB;3-甲氧基-1-了醇
[0186] MEA;单己醇胺、2-氨基己醇
[0187] M-510 ;六口二ッ夕乂（注册商标）M-520 (东亚合成（株）制）
[018引 M-520 ;六口二ッ夕乂（注册商标）M-510 (东亚合成（株）审IJ)
[0189] 化C1 ;氯化钢
[0190] 化2册〇4;磯酸氨二钢
[0191] 化地；氨氧化钢
[019引 N-300 ;抗蚀剂剥离液（十方屯个厶テッ夕乂（株）制；MEA/BDG= 30/70)
[0193] 0FPR-800 ;正型光致抗蚀剂（东京应化工业（株）审IJ)
[0194] 0XE-01 ;IRGACURE(注册商标）0XE-01@ASF制；1-[4-(苯硫基）苯基]辛 烧-1,2-二酬-2-(0-苯甲酯基）朽）
[0195] PCT;加压蒸煮试验
[0196] PGMEA;丙二醇单甲基離己酸醋
[0197] PG-100 :才少y-;1/ (注册商标）PG-100(大阪方乂个S力；1/ (株）制）
[0198] TC-401 ;才瓜方テッ夕乂（注册商标）TC-40Uアッ子h7 7^シ个S力瓜（株） 审IJ;四（己酷丙酬）铁（IV))
[0199] TMAH;氨氧化四甲锭
[0200] TMPU;1-(3-S甲氧基甲娃烷基丙基）脈
[020UVG-3101L;TECHM0RE(注册商标）VG-3101L((株）Printex制；1，1-双（4-环氧丙 氧基苯基）-1-[4-[1-(4-环氧丙氧基苯基）-1-甲基己基]苯基]己烧）
[0202] X-12-967YP;2-(3-S甲氧基甲娃烷基丙基）-4-(N-叔了基）氨基-4-氧代了酸 (信越化学工业（株）审IJ)
[020引ZC-ISO;才；1/方子ッ夕乂（注册商标）ZC-ISO(アッ子hフア^シ个ミ力；1/ (株） 审IJ;四（己酷丙酬）错（IV))
[0204] 十一屯厶Mg;十一屯厶（注册商标）儀（日本化学产业（株）制；双（己酷丙酬） 儀（n))
[020引合成例1丙締酸系树脂溶液（A-1)的合成
[0206] 在烧瓶中装入2,2' -偶氮双（异了膳）0.821g(lmol%)、PGMEA29.09g，通过鼓 泡将烧瓶内充分地进行氮置换后，升温至80°C。然后，历时4小时滴加N-环己基马来酷亚 胺 26. 88g(30mol% )、甲基丙締酸 19. 37g(45mol% )、甲基丙締酸甲醋 12. 52g(25mol% )的 混合溶液，在80°C下加热揽拌6小时。接着，在得到的溶液中添加甲基丙締酸缩水甘油醋 14. 22g(20mol% )、二甲基苯甲基胺 0. 676g(Imol% )、4-甲氧基苯酪 0. 186g(0. 3mol% )、 PGMEA59. 06g，在70°C下加热揽拌2小时，得到丙締酸系树脂溶液（A-1)。在得到的丙締酸 系树脂溶液（A-1)中W固体成分浓度为35重量％的方式添加PGMEA。丙締酸系树脂的重均 分子量（Mw)为11000,酸值为100,双键当量为730。
[0207] 合成例2丙締酸系树脂溶液（A-。的合成
[020引使用2,2'-偶氮双（异了膳）0.821gamol%)、PGMEA26.15g、N-环己基马来酷亚 胺 13. 44g(15mol% )、甲基丙締酸 19. 37g(45mol% )、甲基丙締酸甲醋 20. 02g(40mol% )、 甲基丙締酸缩水甘油醋14. 22g(20mol% )、二甲基苯甲基胺0. 676g(lmol% )、4-甲氧基苯 酪0. 186g(0. 3mol%)、PGMEA53.lOg，与合成例1同样地进行聚合，得到丙締酸系树脂溶 液（A-2)。在得到的丙締酸系树脂溶液（A-2)中W固体成分浓度为35重量％的方式添加 PGMEA。丙締酸系树脂的重均分子量（Mw)为15000,酸值为109,双键当量为670。
[0209] 合成例3丙締酸系树脂溶液（A-：3)的合成
[0210] 使用 2,2' -偶氮双（异了膳）0.821g(lmol%)、PGMEA25. 17g、N-环己基马来酷 亚胺 8. 96g(10mol% )、甲基丙締酸 19. 37g(45mol% )、甲基丙締酸甲醋 22. 53g(45mol% )、 甲基丙締酸缩水甘油醋14. 22g(20mol% )、二甲基苯甲基胺0. 676g(lmol% )、4-甲氧基苯 酪0. 186g化3mol%)、PGMEA51.llg，与合成例1同样地进行聚合，得到丙締酸系树脂溶 液（A-3)。在得到的丙締酸系树脂溶液（A-3)中W固体成分浓度为35重量％的方式添加 PGMEA。丙締酸系树脂的重均分子量（Mw)为17000,酸值为108,双键当量为650。
[02川合成例4丙締酸系树脂溶液（A-4)的合成
[021引使用2,2' -偶氮双（异了膳）0.821g(lmol%)、PGMEA33.01g、N-环己基马来酷 亚胺44. 81g(50mol% )、甲基丙締酸19. 37g(45mol% )、甲基丙締酸甲醋2. 50g巧mol% )、 甲基丙締酸缩水甘油醋14. 22g(20mol% )、二甲基苯甲基胺0. 676g(lmol% )、4-甲氧基苯 酪0. 186g(0. 3mol%)、PGMEA67.01g，与合成例1同样地进行聚合，得到丙締酸系树脂溶 液（A-4)。在得到的丙締酸系树脂溶液（A-4)中W固体成分浓度为35重量％的方式添加 PGMEA。丙締酸系树脂的重均分子量（Mw)为11000,酸值为104,双键当量为810。
[021引合成例5丙締酸系树脂溶液（A-W的合成
[0214]使用 2,2' -偶氮双（异了膳）0. 82lg(lmol%)、PGMEA35. 14g、N-环己基马 来酷亚胺53.77g(60mol% )、甲基丙締酸17.22g(40mol% )、甲基丙締酸缩水甘油醋 10. 66g(15mol% )、二甲基苯甲基胺 0. 676g(lmol% )、4-甲氧基苯酪 0. 186g(0. 3mol% )、 PGMEA71. 34g，与合成例1同样地进行聚合，得到丙締酸系树脂溶液（A-5)。在得到的丙締 酸系树脂溶液（A-5)中W固体成分浓度为35重量％的方式添加PGMEA。丙締酸系树脂的重 均分子量（Mw)为12000,酸值为86,双键当量为1090。
[021引合成例6丙締酸系树脂溶液（A-6)的合成
[0216] 使用 2,2' -偶氮双（异了膳）0.821g(lmol%)、PGMEA28.35g、N-苯基马来酷亚 胺 25. 38g(30mol% )、甲基丙締酸 19. 37g(45mol% )、甲基丙締酸甲醋 12. 52g(25mol% )、 甲基丙締酸缩水甘油醋14. 22g(20mol% )、二甲基苯甲基胺0. 676g(lmol% )、4-甲氧基苯 酪0. 186g(0. 3mol%)、PGMEA57. 55g，与合成例1同样地进行聚合，得到丙締酸系树脂溶 液（A-6)。在得到的丙締酸系树脂溶液（A-6)中W固体成分浓度为35重量％的方式添加 PGMEA。丙締酸系树脂的重均分子量（Mw)为12000,酸值为105,双键当量为710。
[0217] 合成例7丙締酸系树脂溶液（A-7)的合成
[021引使用2,2'-偶氮双（异了膳）0.821gamol%)、PGMEA29.39g、N-苯甲基马来酷亚 胺 27. 49g(30mol% )、甲基丙締酸 19. 37g(45mol% )、甲基丙締酸甲醋 12. 52g(25mol% )、 甲基丙締酸缩水甘油醋14. 22g(20mol% )、二甲基苯甲基胺0. 676g(lmol% )、4-甲氧基苯 酪0. 186g(0. 3mol%)、PGMEA59.67g，与合成例1同样地进行聚合，得到丙締酸系树脂溶 液（A-7)。在得到的丙締酸系树脂溶液（A-7)中W固体成分浓度为35重量％的方式添加 PGMEA。丙締酸系树脂的重均分子量（Mw)为11000,酸值为98,双键当量为740。
[021引合成例8丙締酸系树脂溶液（A-8)的合成
[0220]使用 2, 2' -偶氮双（异了膳）0. 821g(lmol%)、PGMEA25. 97g、N-(2-哲 基己基）马来酷亚胺20. 58g(30mol% )、甲基丙締酸19. 37g(45mol% )、甲基丙締酸 甲醋12.52g(25mol% )、甲基丙締酸缩水甘油醋14.22g(20mol% )、二甲基苯甲基胺 0. 676g(lmol%)、4-甲氧基苯酪 0. 186g(0. 3mol%)、PGMEA52. 72g，与合成例 1 同样地进行 聚合，得到丙締酸系树脂溶液（A-8)。在得到的丙締酸系树脂溶液（A-8)中W固体成分浓度 为35重量％的方式添加PGMEA。丙締酸系树脂的重均分子量（Mw)为13000,酸值为103,双 键当量为670。
[0221] 合成例9丙締酸系树脂溶液（A-9)的合成
[022引使用2,2' -偶氮双（异了膳）0. 821g(lmol%)、PGMEA29. 24g、N-环己基马来酷 亚胺 26. 88g(30mol% )、甲基丙締酸 19. 37g(45mol% )、甲基丙締酸甲醋 5.OlgQOmol% )、 苯己締7.81g(15mol% )、甲基丙締酸缩水甘油醋14.22g(20mol% )、二甲基苯甲基胺 0. 676g(lmol%)、4-甲氧基苯酪 0. 186g(0. 3mol%)、PGMEA59. 37g，与合成例 1 同样地进 行聚合，得到丙締酸系树脂溶液（A-9)。在得到的丙締酸系树脂溶液（A-9)中W固体成分浓 度为35重量％的方式添加PGMEA。丙締酸系树脂的重均分子量（Mw)为11000,酸值为105， 双键当量为730。
[0223] 合成例10丙締酸系树脂溶液（A-10)的合成
[0224] 在烧瓶中装入 2,2'-偶氮双（异了膳）0. 821g(lmol%)、PGMEA34. 64g。接着， 装入甲基丙締酸苯甲醋26. 43g(30mol% )、甲基丙締酸21. 52g巧Omol% )、甲基丙締酸S环 [5. 2. 1.02'6]癸烧-8-基醋22.03g(20mol% )，在室温下揽拌片刻，通过鼓泡将烧瓶内充分 地氮置换后，在70°C下加热揽拌5小时。接着，在得到的溶液中添加甲基丙締酸缩水甘油醋 14. 22g(20mol% )、二甲基苯甲基胺 0. 676g(lmol% )、4-甲氧基苯酪 0. 186g(0. 3mol% )、 PGMEA70. 33g，在90°C下加热揽拌4小时，得到丙締酸系树脂溶液（A-10)。在得到的丙締 酸系树脂溶液（A-10)中W固体成分浓度为35重量％的方式添加PGMEA。丙締酸系树脂的 重均分子量（Mw)为30000,酸值为117,双键当量为840。
[0225] 合成例11丙締酸系树脂溶液（A-11)的合成
[0226] 使用 2,2' -偶氮双（异了膳）0.821g(lmol%)、PGMEA29.29g、甲基丙締酸 21.52g(50mol% )、甲基丙締酸S环[5. 2. 1.02'6]癸烧-8-基醋 22. 03g(20mol% )、苯 己締15.62g(30mol% )、甲基丙締酸缩水甘油醋14.22g(20mol% )、二甲基苯甲基胺 0. 676g(lmol%)、4-甲氧基苯酪 0. 186g(0. 3mol%)、PGMEA59. 47g，与合成例 10 同样地进 行聚合，得到丙締酸系树脂溶液（A-11)。在得到的丙締酸系树脂溶液（A-11)中W固体成分 浓度为35重量％的方式添加PGMEA。丙締酸系树脂的重均分子量（Mw)为15, 000,酸值为 109,双键当量为730。
[0227] 合成例12丙締酸系树脂溶液（A-12)的合成
[0228] 使用 2,2' -偶氮双（异了膳）0.821g(lmol%)、PGMEA23.34g、甲基丙締酸 21.52g(50mol% )、甲基丙締酸甲醋 10.01g(20mol% )、苯己締 15.62g(30mol% )、甲基 丙締酸缩水甘油醋14.22g(20mol% )、二甲基苯甲基胺0.676g(lmol% )、4