技术特征：
技术总结
一种用于OLED蒸镀的荫罩及其制作方法、OLED面板的制作方法，其中荫罩的制作方法包括：包括：提供绝缘体上半导体衬底，包括底层半导体层、绝缘层和顶层半导体层；在顶层半导体层中形成网格状的支撑层；形成覆盖网格状的支撑层和顶层半导体层表面的格栅膜层；刻蚀格栅膜层，在格栅膜层中形成若干呈阵列排布的开口，且开口暴露出网格状的支撑层之间的顶层半导体层；沿底层半导体层的表面刻蚀部分绝缘体上半导体衬底，在绝缘体上半导体衬底中形成暴露出格栅膜层中的若干开口以及相邻开口之间的网格状支撑层的凹槽。本发明形成的荫罩中开口的尺寸可以较小并形貌较好；支撑层防止格栅膜层的自重而产生变形；绝缘层能精确的控制支撑层的厚度。
技术研发人员：孔杰;居宇涵
受保护的技术使用者：上海视涯信息科技有限公司
技术研发日：2017.04.14
技术公布日：2018.11.02