的开口部25的集合体为“I个画面”。而且，实施方式(A)的蒸镀掩模100是为了同时形成多个画面的蒸镀图案而在树脂掩模20上隔开规定间隔配置有多个上述“I个画面”。即，在树脂掩模20上设有用于构成多个画面所必要的开口部25。
[0057]实施方式(A)的蒸镀掩模的特征在于，在树脂掩模的一面上叠层设有多个缝隙15的金属掩模10，金属掩模10的各缝隙分别被设在与至少I个画面整体相重叠的位置。换言之，其特征在于，在构成I个画面所必要的开口部25之间，在以横向邻接的开口部25之间不存在与缝隙15的纵向长度为相同长度且具有与金属掩模10相同厚度的金属线部分，或在以纵向邻接的开口部间25不存在与缝隙15的横向长度为相同长度且具有与金属掩模10相同厚度的金属部分。以下，有时将与缝隙15的纵向长度为相同长度且具有与金属掩模10相同厚度的金属线部分、或与缝隙15的横向长度为相同长度且具有与金属掩模10相同厚度的金属线部分总的简称为金属部分。
[0058]根据实施方式(A)的蒸镀掩模100，在使构成I个画面所必要的开口部25的大小、或构成I个画面的开口部25之间的间距变窄的情况下，例如为了进行超过400ppi的画面的形成，即使在使开口部25的大小、或开口部25之间的间距极为微小的情况下，也能够防止因上述金属部分所造成的干扰，能够形成高精细的图像。此外，在I个画面通过多个缝隙被分割的情况下，换言之，在构成I个画面的开口部25之间存在金属线部分的情况下，伴随构成I个画面的开口部25之间的间距变窄的情况，需要使存在于开口部25之间的金属部分细线化。但是，在使存在于构成I个画面的开口部25之间的金属部分细线化的情况下，该金属部分断裂的频率变高，有时断裂的金属部分在蒸镀时造成不良影响。
[0059]另外，在构成I个画面的开口部25之间存在有金属部分的情况下，该金属部分引起阴影的产生而难以形成高精细的画面。需要说明的是，阴影是指由蒸镀源放出的蒸镀材料的一部分冲撞金属掩模10的缝隙15的内壁面而未到达蒸镀对象物，从而产生成为膜厚比目的蒸镀膜厚更薄的未蒸镀部分的现象。尤其是，伴随开口部25的形状微细化，存在于I个画面内的开口部25之间的金属部分造成的阴影的影响会变大。S卩，在实施方式(A)的蒸镀掩模中，在与至少I个画面整体相重叠的位置设置缝隙，即，在构成I个画面的开口部25之间不存在金属部分，由此提高蒸镀掩模的耐久性、或防止阴影的影响。
[0060]另外，根据实施方式(A)的蒸镀掩模100，与现有的蒸镀掩模相比较，可实现轻质化。具体而言，若将实施方式(A)的蒸镀掩模100的质量、和目前公知的仅由金属所构成的蒸镀掩模的质量进行比较(假定蒸镀掩模整体的厚度相同)，仅将目前公知的蒸镀掩模的金属材料的一部分置换成树脂材料，则实施方式(A)的蒸镀掩模100的质量轻。另外，为了使用仅由金属构成的蒸镀掩模来实现轻质化，必须要使该蒸镀掩模的厚度变薄等，但是在使蒸镀掩模的厚度变薄的情况下，在将蒸镀掩模大型化时，会发生蒸镀掩模发生变形的情况、或耐久性降低的情况。另一方面，根据实施方式(A)的蒸镀掩模，即使在为了防止大型化时的变形、或满足耐久性而加厚蒸镀掩模整体的厚度的情况下，由于存在树脂掩模20，从而也能够实现比仅由金属形成的蒸镀掩模更为轻质化。以下，分别进行具体说明。这对于后述的实施方式(B)的蒸镀掩模也相同。
[0061](形成实施方式(A)的蒸镀掩模的树脂掩模)
[0062]形成实施方式(A)的蒸镀掩模的树脂掩模20可适当选择使用目前公知的树脂材料，其材料没有特别限定，但优选使用可通过激光加工等而形成高精细的开口部25，且热或经时的尺寸变化率或吸湿率小、且轻质的材料。作为这样的材料，可举出聚酰亚胺树脂、聚酰胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、聚酯树脂、聚乙烯树脂、聚乙烯醇树脂、聚丙烯树脂、聚碳酸酯树脂、聚苯乙烯树脂、聚丙烯腈树脂、乙烯-醋酸乙烯酯共聚物树脂、乙烯-乙烯醇共聚物树脂、乙烯甲基丙烯酸共聚物树脂、聚氯乙烯树脂、聚偏氯乙烯树脂、赛璐玢、离子聚合物树脂等。在上述所例示的材料中，优选其热膨胀系数为16ppm/°C C以下的树脂材料，优选为吸湿率为1.0%以下的树脂材料，特别优选为具备该两个条件的树脂材料。通过设为使用该树脂材料的树脂掩模，可使开口部25的尺寸精度提高，且可以减小热或经时的尺寸变化率或吸湿率。在实施方式㈧的蒸镀掩模中，树脂掩模20如上所述与金属材料进行比较，由可形成高精细的开口部25的树脂材料构成。因此，可形成为具有高精细的开口部25的蒸镀掩模100。对于实施方式(B)的蒸镀掩模也相同。
[0063]树脂掩模20的厚度也没有特别限定，在使用实施方式(A)的蒸镀掩模100进行蒸镀时，为了防止产生膜厚比目的蒸镀膜厚更薄的蒸镀部分，即所谓的阴影，树脂掩模20优选为尽可能薄。但是，在树脂掩模20的厚度低于3 μπι的情况下，容易产生针孔等缺陷，而且变形等风险增高。另一方面，若超出25μπι，则可能产生阴影。考虑到这一点，树脂掩模20的厚度优选为3 μ??以上且25 μm以下。通过将树脂掩模20的厚度设为该范围内，可降低针孔等缺陷或变形等风险，且可有效防止阴影的产生。尤其是，通过使树脂掩模20的厚度为3 μ m以上且10 μ m以下，更优选为4 μ m以上且8 μ m以下，可更有效地防止形成超出400ppi的高精细图案时的阴影的影响。另外，在实施方式(A)的蒸镀掩模中，即使在使树脂掩模20的厚度薄至上述优选范围的情况下，由于存在设于树脂掩模20上的金属掩模10，从而也可以使蒸镀掩模100整体的耐久性、或处理性得到满足。对于实施方式(B)的蒸镀掩模也相同。
[0064]此外，在实施方式(A)的蒸镀掩模100中，金属掩模10和树脂掩模20可直接接合，也可以通过粘接剂层接合，但在通过粘接剂层接合金属掩模10和树脂掩模20的情况下，考虑上述阴影这一点，优选以树脂掩模20和粘接剂层的合计厚度为3 μπι以上且25 μπι以下，更优选为3 μπι以上且10 μ m以下，特别优选为4 μπι以上且8 μπι以下的范围内的方式进行设定。对于实施方式(B)的蒸镀掩模也相同。
[0065]另外，实施方式(A)的蒸镀掩模100采用由上述树脂掩模20和金属掩模10叠层而成的构成，因此，由于金属掩模10的存在而实现蒸镀掩模整体的耐久性的提高，由此，实现处理性能、或防止断裂、变形。对于实施方式(B)的蒸镀掩模也相同。
[0066]接着，参照图1、图3?图6说明构成I个画面的开口部25的一例。需要说明的是，在图示的方式中，由虚线封闭的区域为I个画面。在图示的方式中，为便于说明，将少数开口部25的集合体设为I个画面，但不限于该方式，例如，在将I个开口部25设为I像素时，也可以在I个画面存在数百万像素的开口部25。
[0067]在图1所示的方式中，通过以纵向、横向设有多个开口部25而成的开口部25的集合体，构成I个画面。在图3所示的方式中，通过横向设有多个开口部25而成的开口部25的集合体，构成I个画面。另外，在图4所示的方式中，通过纵向设有多个开口部25而成的开口部25的集合体构成I个画面。接着，在图1、图3、图4中，在与I个画面整体相重叠的位置设有缝隙15。
[0068]如上述说明，金属掩模10的缝隙15可以设于仅与I个画面重叠的位置，也可以如图5(a)、图5(b)所示，缝隙15设于与2个以上的画面整体相重叠的位置。在图5(a)中，在图1所示的树脂掩模中，在与以横向连续的2个画面整体相重叠的位置设有缝隙15。在图5(b)中，在与以纵向连续的3个画面整体相重叠的位置设有缝隙15。此外，在将多个画面整体与I个缝隙重叠的情况下，相对于金属掩模10的整个表面，缝隙15所占区域的比例越多，设于树脂掩模上的金属部分所占比例越低，蒸镀掩模100整体的耐久性越低。因此，在将多个画面整体与I个缝隙重叠的情况下，需要考虑蒸镀掩模100整体的耐久性来作适当设定。
[0069]接着，以图1所示的方式为例，对构成I个画面的开口部25之间的间距、画面间的间距进行说明。关于构成I个画面的开口部25之间的间距、或开口部25的大小，没有特别限定，可根据进行蒸镀制作的图案进行适当设定。例如，在形成400ppi的高精细蒸镀图案的情况下，就构成I个画面的开口部25而言，相邻接的开口部25的横向间距(Pl)、纵向间距(P2)为60μπι左右。另外，开口部的大小为500 μπι2?100ym2左右。另外，I个开口部25不限于与I像素相对应，例如也可以通过像素排列，将多个像素汇总形成为I个开口部25。
[0070]对于画面间的横向间距(Ρ3)、纵向间距(Ρ4)也没有特别限定，如图1所示，在I个缝隙15设在与I个画面整体相重叠的位置的情况下，在各画面间存在金属部分。因此，在各画面间的横向间距(Ρ3)、纵向间距(Ρ4)比设于I个画面内的开口部25的横向间距(Ρ1)、纵向间距(Ρ2)小的情况、或大致相等的情况下，存在于各画面间的金属部分变得容易断线。因此，若考虑到这一点，则画面间的间距(Ρ3、Ρ4)优选比构成I个画面的开口部25之间的间距(Ρ1、Ρ2)更宽。作为画面间的间距(Ρ3、Ρ4)的一例，为Imm?10mm左右。需要说明的是，画面间的间距是指在I个画面、和与该I个画面相邻接的其它画面中，相邻接的开口部间的间距。
[0071]此外，如图5所示，在I个缝隙15设在与2个以上的画面整体相重叠的位置的情况下，在设于I个缝隙15内的多个画面间不存在金属部分。因此，该情况下，设于与I个缝隙15重叠的位置的2个以上的画面间的间距也可以与构成I个画面的开口部25之间的间距大致相等。
[0072]对于开口部25的剖面形状也没有特别限定，也可以为形成开口部25的树脂掩模的相向端面间彼此大致平行，但更优选为如图2、图6所示，开口部25其剖面形状为朝向蒸镀源变宽的形状。换言之，优选具有朝向金属掩模10侧变宽的锥面。通过将开口部25的剖面形状形成为该构成，在使用实施方式(A)的蒸镀掩模进行蒸镀时，可防止在进行蒸镀作成的图案上产生阴影。关于锥角Θ，可考虑树脂掩模20的厚度等适当设定，但将树脂掩模的开口部中的下底前端和相同的树脂掩模的开口部中的上底前端相连结的直线、和树脂掩模20的底面构成的角度，换言之，在树脂掩模20的构成开口部25的内壁面的厚度方向剖面，开口部25的内壁面和