专利名称：三芳基锍盐的制造方法
技术领域：
本发明涉及三芳基锍盐的新的制造方法，所述三芳基锍盐可以用作抗蚀剂用酸产生剂或光阳离子聚合引发剂，所述三芳基锍盐阳离子部分的3个芳香环中，仅有1个芳香环的结构与另外两个的结构不同。
背景技术：
在半导体制造领域的照相平板工序中，三芳基锍盐被广泛用作光酸产生剂。
采用卤化三芳基锍(例如氯化三芳基锍、溴化三芳基锍)作为中间体，可以很容易地将这些三芳基锍盐转换为各种阴离子(counter anion)。
作为溴化三芳基锍的合成方法，已知如下方法(1)使二芳基亚砜与格氏试剂(Grignard reagent)进行反应的方法(例如参照非专利文献1、非专利文献2等)；(2)在氯化铝的存在下使二芳基亚砜与芳香烃进行缩合反应的方法(例如参照非专利文献3)；(3)在氯化铝的存在下使二芳基二氯硫醚与芳香烃进行反应的方法(例如参照非专利文献4)；(4)使二芳基硫醚与二芳基碘鎓盐进行反应方法(参照非专利文献5)。
但是，这些方法具有诸如需要在高温反应的苛刻条件(例如，加热回流操作、熔融反应等)、产生亚硫酸气体、排出大量铝废液等问题。
因此，提出了通过使二芳基亚砜和芳基格氏试剂与作为烷基化剂的三乙基氧鎓四氟硼酸盐(Et3O-BF4)共存从而在温和的条件下进行反应的方法(例如参照非专利文献6)。但是，利用该方法时，由于所使用的Et3O-BF4不仅昂贵，而且是不稳定的化合物，此外还对人体有害，所以存在操作和处理困难等问题。此外，关于通过该方法来合成目的产物三芳基锍盐时其中是否含有阳离子部分具有不同结构的锍盐作为副产物这一点，却并没有任何公开。
为了解决该问题，提出了与作为活化剂的氯三甲基硅烷(TMSCl)共存来替代与Et3O-BF4共存，从而合成三芳基锍盐的方法(例如参照专利文献1)。该方法虽然适于合成阳离子部分的3个芳香环相同的锍盐，但是若将该方法用于在二芳基亚砜[2个芳香环具有相同的结构(结构a)]上导入与该二芳基亚砜的芳香环结构不同的芳香环(结构b)时，则据此得到的锍盐的3个芳香环的组合中，不仅具有目的产物[即，3个芳香环中2个为结构a，剩下的为结构b的化合物]，还具有含有不同芳香环组合的2种副产物[即，3个芳香环全是结构a的化合物或/和三个芳香环中1个为结构a，剩下2个为结构b的化合物]。
特别地，将三芳基锍盐用作抗蚀剂用酸产生剂时，由于副产物的共存对诸如图案形成、灵敏度等有影响，所以不被优选，而且，这些缺点存在难以改善的问题。
该状况下，目前期待下述的三芳基锍盐的制造方法，该方法不产生副产物，能够有效且高收率地制造3个芳香环中仅1个芳香环具有不同于另外两个芳香环的结构的三芳基锍盐。
专利文献1专利第3163615号公报非专利文献1B.S.Wildi，S.W.Taylor and H.A.Portratz，Journal of theAmerican Chemical Society，Vol.73，p.1965(1951)非专利文献2J.L.Dektar and N.P.Hacker，Journal of the AmericanChemical Society，Vol.112，No.16，p.6004(1990)非专利文献3G.H.Wiegand and W.E.McEwen，The Journal of Organicchemistry，Vol.33，No.7，p.2671(1968)非专利文献4G.Dougherty and P.D.Hammond，Journal of theAmerican Chemical Society，Vol.61，p.80(1939)非专利文献5J.V.Crivello and J.H.W.Lam，The Journal of OrganicChemistry，Vol.43，No.15，p.3055(1978)非专利文献6Kenneth K.Andersen and Nicholas E.Papanikolaou，Tetrahedron Letters，No.45，p.5445(1966)
发明内容
本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供下述的三芳基锍盐的制造方法，所述方法不产生副产物，有效地高收率地制造阳离子部分的3个芳香环中仅有一个芳香环的结构与另外两个芳香环的结构不同的三芳基锍盐(下文简称为本发明所涉及的三芳基锍盐)。
本发明是为了解决上述问题而提出的，涉及通式[4]所示的三芳基锍盐的制造方法，所述方法的特征在于，在与对氧具有高亲和性的活化剂的共存下，使通式[1]所示的二芳基亚砜与通式[2]所示的芳基格氏试剂进行反应，然后与通式[3]所示的强酸或其盐进行反应；所述对氧具有高亲和性的活化剂相对于所述二芳基亚砜为3当量～7.5当量；所述通式[1]为 通式[1]中，2个R1表示氢原子、卤原子、烷基、碳原子数为1～4的卤代烷基、烷氧基、酰基、羟基、氨基、硝基或氰基；所述通式[2]为RMgX[2]通式[2]中，R表示具有或不具有取代基的芳基，所述取代基选自卤原子、烷基、碳原子数为1～4的卤代烷基、烷氧基、烷硫基、N-烷基氨基甲酰基和氨基甲酰基，该取代基与上述通式[1]中的R1不同，X表示卤原子；所述通式[3]为HA1[3]通式[3]中，A1表示强酸残基；所述通式[4]为
通式[4]中，R、R1和A1与上述相同。
本发明的三芳基锍盐的制造方法中，通过使所使用的对氧原子具有高亲和性的活化剂的量大于等于至今所使用的量，消除了现有技术所具有的需要诸如在高温下反应的苛刻条件(例如加热回流操作、熔融反应等)、产生亚硫酸气体、排出大量的铝废液、仅合成阳离子部分的3个芳香环相同的锍盐、含有作为杂质的副产物等问题，可以有效且高收率地制造目的锍盐。所述效果是通过大幅增加本发明中所使用的对氧原子具有高亲和性的活化剂的使用量而产生的，是完全未曾预料到的。
具体实施例方式
通式[1]中，作为R1所示的卤原子，可以举出例如氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等。
作为R1所示的烷基，可以任意为直链状、支链状或环状，通常是碳原子数为1～12的烷基，优选是碳原子数为1～6的烷基，具体地，可以举出例如甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、异戊基、仲戊基、叔戊基、新戊基、2-甲基丁基、1-乙基丙基、正己基、异己基、仲己基、叔己基、新己基、2-甲基戊基、1，2-二甲基丁基、1-乙基丁基、正庚基、异庚基、仲庚基、叔庚基、新庚基、正辛基、异辛基、仲辛基、叔辛基、新辛基、正壬基、异壬基、仲壬基、叔壬基、新壬基、正癸基、异癸基、仲癸基、叔癸基、新癸基、正十一烷基、异十一烷基、仲十一烷基、叔十一烷基、新十一烷基、正十二烷基、异十二烷基、仲十二烷基、叔十二烷基、新十二烷基、环丙基、环丁基、环戊基、环己基、环己基甲基、2-环己基乙基、环庚基、环辛基、环壬基、环癸基、环十一烷基、环十二烷基等。
作为R1所示的碳原子数为1～4的卤代烷基，通常是碳原子数为1～4烷基、优选是碳原子数为1～2的烷基的氢原子的一部分或全部被卤化(例如氟化、氯化、溴化、碘化等)的卤代烷基，可以任意为直链状、支链状或环状，具体地，可以举出例如，氟甲基、二氟甲基、三氟甲基、氯甲基、二氯甲基、三氯甲基、溴甲基、二溴甲基、三溴甲基、碘甲基、二碘甲基、三碘甲基、五氟乙基、五氯乙基、五溴乙基、五碘乙基、七氟丙基、七氯丙基、七溴丙基、七碘丙基、九氟丁基、九氯丁基、九溴丁基、九碘丁基等。
作为R1所示的烷氧基，可以任意为直链状、支链状或环状，通常是碳原子数为1～8的烷氧基、优选是碳原子数为1～6的烷氧基，具体地，可以举出例如，甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、异丁氧基、仲丁氧基、叔丁氧基、正戊氧基、异戊氧基、仲戊氧基、叔戊氧基、新戊氧基、正己氧基、异己氧基、仲己氧基、叔己氧基、新己氧基、正庚氧基、异庚氧基、仲庚氧基、叔庚氧基、新庚氧基、正辛氧基、异辛氧基、仲辛氧基、叔辛氧基、新辛氧基、环丙氧基、环丁氧基、环戊氧基、环己氧基、环庚氧基、环辛氧基等。
作为R1所示的酰基，通常可以举出由碳原子数为1～16的羧酸衍生而来的酰基，具体地，可以举出例如，甲酰基、乙酰基、丙酰基、丁酰基、异丁酰基、戊酰基、异戊酰基、新戊酰基、己酰基、庚酰基、辛酰基、壬酰基、癸酰基、十一烷酰基、月桂酰基、肉豆蔻酰基、棕榈酰基、环己酰基等衍生自脂肪族羧酸的酰基，还可以举出例如，苯甲酰基、萘甲酰基、甲苯甲酰基等衍生自芳香族羧酸的酰基等。
通式[2]中，在以R表示的具有或不具有选自卤原子、烷基、碳原子数为1～4的卤代烷基、烷氧基、烷硫基、N-烷基氨基甲酰基和氨基甲酰基的取代基的芳基中，作为其中的芳基，通常是碳原子数为6～14的芳基，优选是碳原子数为6～10的芳基，具体地，可以举出例如苯基、萘基、蒽基、菲基等。
在以R表示的具有或不具有选自卤原子、烷基、碳原子数为1～4的卤代烷基、烷氧基、烷硫基、N-烷基氨基甲酰基和氨基甲酰基的取代基的芳基中，作为取代基的所述卤原子、烷基、碳原子数为1～4的卤代烷基和烷氧基可以举出与通式[1]中的R1所示的这些取代基的例子相同的基团。
在以R表示的具有或不具有选自卤原子、烷基、碳原子数为1～4的卤代烷基、烷氧基、烷硫基、N-烷基氨基甲酰基和氨基甲酰基的取代基的芳基中，作为取代基的所述烷硫基可以举出下述基团上述R所示的具有或不具有取代基的芳基中，作为取代基的烷氧基中的氧原子被硫原子取代的基团，所述基团可以任意为直链状、支链状或环状，通常是碳原子数为1～8的烷硫基，优选是碳原子数为1～6的烷硫基，具体地，可以举出例如甲硫基、乙硫基、正丙硫基、异丙硫基、正丁硫基、异丁硫基、仲丁硫基、叔丁硫基、正戊硫基、异戊硫基、仲戊硫基、叔戊硫基、新戊硫基、2-甲基丁硫基、1-乙基丙硫基、正己硫基、异己硫基、仲己硫基、叔己硫基、新己硫基、2-甲基戊硫基、3-甲基戊硫基、1，2-二甲基丁硫基、2，2-二甲基丁硫基、1-乙基丁硫基、2-乙基丁硫基、正庚硫基、异庚硫基、仲庚硫基、叔庚硫基、新庚硫基、正辛硫基、异辛硫基、仲辛硫基、叔辛硫基、新辛硫基、环丙硫基、环丁硫基、环戊硫基、环己硫基、环庚硫基、环辛硫基等。
在以R表示的具有或不具有选自卤原子、烷基、碳原子数为1～4的卤代烷基、烷氧基、烷硫基、N-烷基氨基甲酰基和氨基甲酰基的取代基的芳基中，作为取代基所举出的N-烷基氨基甲酰基可以举出例如氨基甲酰基的氢原子的一部分被碳原子数为1～6的烷基取代的N-烷基氨基甲酰基，具体地，可以举出例如N-甲基氨基甲酰基、N-乙基氨基甲酰基、N-正丙基氨基甲酰基、N-异丙基氨基甲酰基、N-正丁基氨基甲酰基、N-异丁基氨基甲酰基、N-叔丁基氨基甲酰基、N-正戊基氨基甲酰基、N-异戊基氨基甲酰基、N-叔戊基氨基甲酰基、N-正己基氨基甲酰基、N-异己基氨基甲酰基、N-叔己基氨基甲酰基等。
作为以X所示的卤原子，可以举出例如，氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等，其中，优选为氟原子、氯原子，更优选为氟原子。
另外，上述通式[1]中以R1表示的取代基和通式[2]中以R表示的具有或不具有取代基的芳基中的取代基是不相同的。此外，通式[1]的部分结构 和通式[2]中的R中的任意一个可以是苯基。
通式[3]中，作为A1所示的强酸残基，可以举出衍生自通式[5]所示的氢卤酸的强酸残基、衍生自通式[6]所示的磺酸的强酸残基、来自通式[7]所示的无机强酸的强酸残基等；所述通式[5]为HX1[5]通式[5]中，X1表示卤原子；所述通式[6]为R2-SO3H [6]通式[6]中，R2表示具有或不具有卤原子的烷基、芳基或芳烷基，或表示樟脑基(camphor group)；所述通式[7]为HM1Fn [7]通式[7]中，M1表示半金属原子，n为4或6。
通式[5]中，作为X1所示的卤原子，可以举出例如氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等，其中，优选为氯原子、溴原子，更优选为溴原子。
通式[6]中，作为R2所示的具有或不具有卤原子的烷基中的烷基，可以任意为直链状、支链状或环状，该烷基通常是碳原子数为1～29的烷基，优选是碳原子数为1～18的烷基，更优选是碳原子数为1～8的烷基，具体地可以举出例如，甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、异戊基、仲戊基、叔戊基、新戊基、正己基、异己基、仲己基、叔己基、新己基、正庚基、异庚基、仲庚基、叔庚基、新庚基、正辛基、异辛基、仲辛基、叔辛基、新辛基、正壬基、异壬基、仲壬基、叔壬基、新壬基、正癸基、异癸基、仲癸基、叔癸基、新癸基、正十一烷基、异十一烷基、仲十一烷基、叔十一烷基、新十一烷基、正十二烷基、异十二烷基、仲十二烷基、叔十二烷基、新十二烷基、正十三烷基、异十三烷基、仲十三烷基、叔十三烷基、新十三烷基、正十四烷基、异十四烷基、仲十四烷基、叔十四烷基、新十四烷基、正十五烷基、异十五烷基、仲十五烷基、叔十五烷基、新十五烷基、正十六烷基、异十六烷基、仲十六烷基、叔十六烷基、新十六烷基、正十七烷基、异十七烷基、仲十七烷基、叔十七烷基、新十七烷基、正十八烷基、异十八烷基、仲十八烷基、叔十八烷基、新十八烷基、正十九烷基、异十九烷基、仲十九烷基、叔十九烷基、新十九烷基、正二十烷基、异二十烷基、仲二十烷基、叔二十烷基、新二十烷基、正二十一烷基、异二十一烷基、仲二十一烷基、叔二十一烷基、新二十一烷基、正二十二烷基、异二十二烷基、仲二十二烷基、叔二十二烷基、新二十二烷基、正二十三烷基、异二十三烷基、仲二十三烷基、叔二十三烷基、新二十三烷基、正二十四烷基、异二十四烷基、仲二十四烷基、叔二十四烷基、新二十四烷基、正二十五烷基、异二十五烷基、仲二十五烷基、叔二十五烷基、新二十五烷基、正二十六烷基、异二十六烷基、仲二十六烷基、叔二十六烷基、新二十六烷基、正二十七烷基、异二十七烷基、仲二十七烷基、叔二十七烷基、新二十七烷基、正二十八烷基、异二十八烷基、仲二十八烷基、叔二十八烷基、新二十八烷基、正二十九烷基、异二十九烷基、仲二十九烷基、叔二十九烷基、新二十九烷基、环丙基、环丁基、环戊基、环己基、环辛基、环壬基、环癸基、环十一烷基、环十二烷基、环十三烷基、环十四烷基、环十五烷基、环十六烷基、环十七烷基、环十八烷基、环十九烷基、环二十烷基、环二十一烷基、环二十二烷基、环二十三烷基、环二十四烷基、环二十五烷基、环二十六烷基、环二十七烷基、环二十八烷基、环二十九烷基等。
作为R2所示的具有或不具有卤原子的芳基中的芳基，通常是碳原子数为6～16的芳基，优选是碳原子数为6～14的芳基，具体地，可以举出例如，苯基、萘基、蒽基、菲基、芘基等。
作为R2所示的具有或不具有卤原子的芳烷基中的芳烷基，通常是碳原子数为7～15的芳烷基，优选是碳原子数为7～10的芳烷基，具体地，可以举出例如，苄基、苯乙基、苯丙基、苯丁基、1-甲基-3-苯丙基、苯戊基、苯己基、苯庚基、苯辛基、苯壬基等。
作为R2所示的具有或不具有卤原子的烷基、芳基和芳烷基，可以举出上述烷基、芳基和芳烷基中的氢原子的一部分或全部被卤原子(例如，氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等)取代的基团。
具体地，对于烷基，可以是全部的氢原子被卤原子取代的烷基，或者通常是1个～30个、优选1个～16个氢原子被卤原子取代的烷基，其中优选全部氢原子被卤原子取代的烷基。
对于芳基，可以举出在其环中有1个～5个、优选3个～5个氢原子被卤原子取代的芳基，其中，优选在其环中全部的氢原子被卤原子取代的芳基。
对于芳烷基，可以举出其烷基部分的氢原子和/或芳基部分的氢原子被卤原子取代的芳烷基，例如可以包括其烷基部分的全部或一部分的氢原子被取代的烷基、芳基部分的环中有1个～5个(优选5个)氢原子被取代的芳烷基。
R2所示的具有或不具有卤原子的烷基、芳基或芳烷基还可以具有除了卤原子之外的其它取代基团，作为所述的其它取代基团，可以举出例如，甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基等碳原子数为1～4的烷基；氟甲基、二氟甲基、三氟甲基、氯甲基、二氯甲基、三氯甲基、溴甲基、二溴甲基、三溴甲基、碘甲基、二碘甲基、三碘甲基、三氟乙基、三氯乙基、三溴乙基、三碘乙基、五氟乙基、五氯乙基、五溴乙基、五碘乙基、七氟丙基、七氯丙基、七溴丙基、七碘丙基、九氟丁基、九氯丁基、九溴丁基、九碘丁基等碳原子数为1～4的卤代烷基；甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、异丁氧基、仲丁氧基、叔丁氧基等碳原子数为1～4的烷氧基等。
通式[7]中，作为M1所示的半金属原子，可以举出例如硼原子、硅原子、磷原子、砷原子、锑原子等，其中，优选硼原子、磷原子、砷原子、锑原子等，更优选为硼原子、磷原子等。
作为本发明使用的对氧具有高亲和性的活化剂，可以举出例如，三有机卤硅烷、三有机膦、三有机磷酸酯等，更具体地，可以举出例如，三甲基氯硅烷、三乙基氯硅烷、二甲基环己基氯硅烷、异丙基二甲基氯硅烷、二甲基叔丁基氯硅烷、二甲基2-(2，3-二甲基)丁基氯硅烷、三异丙基氯硅烷、三甲基溴硅烷等三烷基卤硅烷、以及二甲基苯基氯硅烷等三有机卤硅烷类；例如三苯基膦、三正丁基膦、三正己基膦、三正辛基膦、三环己基膦、二乙基苯基膦、二环己基苯基膦、甲基二苯基膦、乙基二苯基膦、二苯基正丙基膦、异丙基二苯基膦、三(2-甲基苯基)膦、三(3-甲基苯基)膦等三有机膦类；还可以举出例如三甲基磷酸酯、三乙基磷酸酯、三正丁基磷酸酯、三正戊基磷酸酯、三正辛基磷酸酯、三苯基磷酸酯、三甲苯基磷酸酯等三有机磷酸酯类，其中，优选三烷基卤硅烷，更优选为三甲基氯硅烷。
作为通式[1]所示的二芳基亚砜的优选具体例子，可以举出例如，二苯基亚砜、二(4-甲基苯基)亚砜、二(3-甲基苯基)亚砜、二(2-甲基苯基)亚砜、二(4-甲氧基苯基)亚砜、二(3-甲氧基苯基)亚砜、二(2-甲氧基苯基)亚砜、二(4-叔丁基苯基)亚砜、二(4-三氟甲基苯基)亚砜、二(4-氟苯基)亚砜、二(4-氯苯基)亚砜、二萘基亚砜、二(羟基苯基)亚砜等。
作为通式[2]所示的芳基格氏试剂的优选的具体例子，可以举出例如，溴化苯基镁、溴化4-甲基苯基镁、溴化3-甲基苯基镁、溴化2-甲基苯基镁、溴化4-叔丁基苯基镁、溴化4-环己基苯基镁、溴化4-甲氧基苯基镁、溴化3-甲氧基苯基镁、溴化4-正丁氧基苯基镁、溴化2-正丁氧基苯基镁、溴化4-叔丁氧基苯基镁、溴化4-环己氧基苯基镁、溴化4-甲硫基苯基镁、溴化2，4，6-三甲基苯基镁、溴化3，5-二甲基-4-甲氧基苯基镁、溴化4-氟苯基镁、溴化4-氯苯基镁、溴化4-三氟甲基苯基镁、溴化萘基镁、氯化苯基镁、氯化4-甲基苯基镁、氯化3-甲基苯基镁、氯化2-甲基苯基镁、氯化4-叔丁基苯基镁、氯化4-环己基苯基镁、氯化4-甲氧基苯基镁、氯化3-甲氧基苯基镁、氯化4-正丁氧基苯基镁、氯化2-正丁氧基苯基镁、氯化4-叔丁氧基苯基镁、氯化4-环己氧基苯基镁、氯化4-甲硫基苯基镁、氯化2，4，6-三甲基苯基镁、氯化3，5-二甲基-4-甲氧基苯基镁、氯化4-氟苯基镁、氯化4-氯苯基镁、氯化4-三氟甲基苯基镁、氯化萘基镁等。
作为通式[5]所示的氢卤酸或其盐的优选的具体例子，可以举出例如，氢氟酸、氢氯酸、氢溴酸、氢碘酸、这些氢卤酸的盐(例如，锂盐、钠盐、钾盐、铷盐、银盐、铯盐等)，其中，优选为氢氯酸、氢溴酸等，更优选为氢溴酸。
作为通式[6]所示的磺酸或其盐的优选的具体例子，可以举出例如，甲烷磺酸、乙烷磺酸、丙烷磺酸、丁烷磺酸、戊烷磺酸、己烷磺酸、庚烷磺酸、辛烷磺酸、壬烷磺酸、癸烷磺酸、十一烷磺酸、十二烷磺酸、十三烷磺酸、十四烷磺酸、十五烷磺酸、十六烷磺酸、十七烷磺酸、十八烷磺酸、十九烷磺酸、二十烷磺酸、二十一烷磺酸、二十二烷磺酸、二十三烷磺酸、二十四烷磺酸等烷基磺酸；氟甲烷磺酸、二氟甲烷磺酸、三氟甲烷磺酸、氯甲烷磺酸、二氯甲烷磺酸、三氯甲烷磺酸、溴甲烷磺酸、二溴甲烷磺酸、三溴甲烷磺酸、碘甲烷磺酸、二碘甲烷磺酸、三碘甲烷磺酸、氟乙烷磺酸、二氟乙烷磺酸、三氟乙烷磺酸、五氟乙烷磺酸、氯乙烷磺酸、二氯乙烷磺酸、三氯乙烷磺酸、五氯乙烷磺酸、三溴乙烷磺酸、五溴乙烷磺酸、三碘乙烷磺酸、五碘乙烷磺酸、氟丙烷磺酸、三氟丙烷磺酸、七氟丙烷磺酸、氯丙烷磺酸、三氯丙烷磺酸、七氯丙烷磺酸、溴丙烷磺酸、三溴丙烷磺酸、七溴丙烷磺酸、三碘丙烷磺酸、七碘丙烷磺酸、三氟丁烷磺酸、九氟丁烷磺酸、三氯丁烷磺酸、九氯丁烷磺酸、三溴丁烷磺酸、九溴丁烷磺酸、三碘丁烷磺酸、九碘丁烷磺酸、三氟戊烷磺酸、全氟戊烷磺酸、三氯戊烷磺酸、全氯戊烷磺酸、三溴戊烷磺酸、全溴戊烷磺酸、三碘戊烷磺酸、全碘戊烷磺酸、三氟己烷磺酸、全氟己烷磺酸、三氯己烷磺酸、全氯己烷磺酸、全溴己烷磺酸、全碘己烷磺酸、三氟庚烷磺酸、全氟庚烷磺酸、三氯庚烷磺酸、全氯庚烷磺酸、全溴庚烷磺酸、全碘庚烷磺酸、三氟辛烷磺酸、全氟辛烷磺酸、三氯辛烷磺酸、全氯辛烷磺酸、全溴辛烷磺酸、全碘辛烷磺酸、三氟壬烷磺酸、全氟壬烷磺酸、三氯壬烷磺酸、全氯壬烷磺酸、全溴壬烷磺酸、全碘壬烷磺酸、三氟癸烷磺酸、全氟癸烷磺酸、三氯癸烷磺酸、全氯癸烷磺酸、全溴癸烷磺酸、全碘癸烷磺酸、三氟十一烷磺酸、全氟十一烷磺酸、三氯十一烷磺酸、全氯十一烷磺酸、全溴十一烷磺酸、全碘十一烷磺酸、三氟十二烷磺酸、全氟十二烷磺酸、三氯十二烷磺酸、全氯十二烷磺酸、全溴十二烷磺酸、全碘十二烷磺酸、三氟十三烷磺酸、全氟十三烷磺酸、三氯十三烷磺酸、全氯十三烷磺酸、全溴十三烷磺酸、全碘十三烷磺酸、三氟十四烷磺酸、全氟十四烷磺酸、三氯十四烷磺酸、全氯十四烷磺酸、全溴十四烷磺酸、全碘十四烷磺酸、三氟十五烷磺酸、全氟十五烷磺酸、三氯十五烷磺酸、全氯十五烷磺酸、全溴十五烷磺酸、全碘十五烷磺酸、全氟十六烷磺酸、全氯十六烷磺酸、全溴十六烷磺酸、全碘十六烷磺酸、全氟十七烷磺酸、全氯十七烷磺酸、全溴十七烷磺酸、全碘十七烷磺酸、全氟十八烷磺酸、全氯十八烷磺酸、全溴十八烷磺酸、全碘十八烷磺酸、全氟十九烷磺酸、全氯十九烷磺酸、全溴十九烷磺酸、全碘十九烷磺酸、全氟二十烷磺酸、全氯二十烷磺酸、全溴二十烷磺酸、全碘二十烷磺酸、全氟二十一烷磺酸、全氯二十一烷磺酸、全溴二十一烷磺酸、全碘二十一烷磺酸、全氟二十二烷磺酸、全氯二十二烷磺酸、全溴二十二烷磺酸、全碘二十二烷磺酸、全氟二十三烷磺酸、全氯二十三烷磺酸、全溴二十三烷磺酸、全碘二十三烷磺酸、全氟二十四烷磺酸、全氯二十四烷磺酸、全溴二十四烷磺酸、全碘二十四烷磺酸等卤代烷基磺酸；环戊烷磺酸、环己烷磺酸等环烷基磺酸；2-氟环戊烷磺酸、2-氯环戊烷磺酸、2-溴环戊烷磺酸、2-碘环戊烷磺酸、3-氟环戊烷磺酸、3-氯环戊烷磺酸、3-溴环戊烷磺酸、3-碘环戊烷磺酸、3，4-二氟环戊烷磺酸、3，4-二氯环戊烷磺酸、3，4-二溴环戊烷磺酸、3，4-二碘环戊烷磺酸、4-氟环己烷磺酸、4-氯环己烷磺酸、4-溴环己烷磺酸、4-碘环己烷磺酸、2，4-二氟环己烷磺酸、2，4-二氯环己烷磺酸、2，4-二溴环己烷磺酸、2，4-二碘环己烷磺酸、2，4，6-三氟环己烷磺酸、2，4，6-三氯环己烷磺酸、2，4，6-三溴环己烷磺酸、2，4，6-三碘环己烷磺酸、四氟环己烷磺酸、四氯环己烷磺酸、四溴环己烷磺酸、四碘环己烷磺酸等卤化环烷基磺酸；苯磺酸、萘磺酸、蒽磺酸、菲磺酸、芘磺酸等芳香族磺酸；2-氟苯磺酸、3-氟苯磺酸、4-氟苯磺酸、2-氯苯磺酸、3-氯苯磺酸、4-氯苯磺酸、2-溴苯磺酸、3-溴苯磺酸、4-溴苯磺酸、2-碘苯磺酸、4-碘苯磺酸、2，4-二氟苯磺酸、2，6-二氟苯磺酸、2，4-二氯苯磺酸、2，6-二氯苯磺酸、2，4-二溴苯磺酸、2，6-二溴苯磺酸、2，4-二碘苯磺酸、2，6-二碘苯磺酸、2，4，6-三氟苯磺酸、3，4，5-三氟苯磺酸、2，4，6-三氯苯磺酸、3，4，5-三氯苯磺酸、2，4，6-三溴苯磺酸、3，4，5-三溴苯磺酸、2，4，6-三碘苯磺酸、3，4，5-三碘苯磺酸、五氟苯磺酸、五氯苯磺酸、五溴苯磺酸、五碘苯磺酸、氟萘磺酸、氯萘磺酸、溴萘磺酸、碘萘磺酸、氟蒽磺酸、氯蒽磺酸、溴蒽磺酸、碘蒽磺酸等卤化芳香族磺酸；对甲苯磺酸、4-异丙基苯磺酸、3，5-二(三甲基)苯磺酸、3，5-二(异丙基)苯磺酸、2，4，6-三(三甲基)苯磺酸、2，4，6-三(异丙基)苯磺酸等烷基芳香族磺酸；2-三氟甲基苯磺酸、2-三氯甲基苯磺酸、2-三溴甲基苯磺酸、2-三碘甲基苯磺酸、3-三氟甲基苯磺酸、3-三氯甲基苯磺酸、3-三溴甲基苯磺酸、3-三碘甲基苯磺酸、4-三氟甲基苯磺酸、4-三氯甲基苯磺酸、4-三溴甲基苯磺酸、4-三碘甲基苯磺酸、2，6-二(三氟甲基)苯磺酸、2，6-二(三氯甲基)苯磺酸、2，6-二(三溴甲基)苯磺酸、2，6-二(三碘甲基)苯磺酸、3，5-二(三氟甲基)苯磺酸、3，5-二(三氯甲基)苯磺酸、3，5-二(三溴甲基)苯磺酸、3，5-二(三碘甲基)苯磺酸等卤化烷基芳香族磺酸；苄基磺酸、苯乙基磺酸、苯丙基磺酸、苯丁基磺酸、苯戊基磺酸、苯己基磺酸、苯庚基磺酸、苯辛基磺酸、苯壬基磺酸等芳香脂肪族磺酸；4-氟苯甲基磺酸、4-氯苯甲基磺酸、4-溴苯甲基磺酸、4-碘苯甲基磺酸、四氟苯甲基磺酸、四氯苯甲基磺酸、四溴苯甲基磺酸、四碘苯甲基磺酸、4-氟苯乙基磺酸、4-氯苯乙基磺酸、4-溴苯乙基磺酸、4-碘苯乙基磺酸、4-氟苯丙基磺酸、4-氯苯丙基磺酸、4-溴苯丙基磺酸、4-碘苯丙基磺酸、4-氟苯丁基磺酸、4-氯苯丁基磺酸、4-溴苯丁基磺酸、4-碘苯丁基磺酸等卤化芳香脂肪族磺酸；樟脑磺酸等脂环式磺酸；上述物质的盐(例如锂盐、钠盐、钾盐、铷盐、银盐、铯盐等)等。
作为通式[7]所示的无机强酸或其盐的优选的具体例子，可以举出例如，四氟硼酸、四氟铝酸、四氟铁酸、四氟镓酸、六氟磷酸、六氟砷酸、六氟锑酸、六氟硅酸、六氟镍酸、六氟钛酸、六氟锆酸、以及上述物质的盐(例如，银盐、钾盐、钠盐、锂盐等)等。
对于通式[4]所示的三芳基锍盐，更具体地，例如，可表示为通式[8]所示的三芳基锍盐(卤盐)、通式[9]所示的三芳基锍盐(磺酸盐)、通式[10]所示的三芳基锍盐(无机强酸盐)所述通式[8]为 通式中，R、R1和X1与上述相同；所述通式[9]为 通式中，R、R1和R2与上述相同；所述通式[10]为 通式中，R、R1、M1和n与上述相同。
作为通式[8]所示的锍盐(卤盐)的优选的具体例子，可以举出例如，4-甲基苯基二苯基溴化锍、3-甲基苯基二苯基溴化锍、2-甲基苯基二苯基溴化锍、4-叔丁基苯基二苯基溴化锍、4-环己基苯基二苯基溴化锍、4-甲氧基苯基二苯基溴化锍、3-甲氧基苯基二苯基溴化锍、4-正丁氧基苯基二苯基溴化锍、2-正丁氧基苯基二苯基溴化锍、4-叔丁氧基苯基二苯基溴化锍、4-叔丁氧基苯基二苯基溴化锍、4-甲硫基苯基二苯基溴化锍、2，4，6-三甲基苯基二苯基溴化锍、3，5-二甲基-4-甲氧基苯基二苯基溴化锍、4-氟苯基二苯基溴化锍、4-氯苯基二苯基溴化锍、4-三氟甲基苯基二苯基溴化锍、1-萘二苯基溴化锍、二(4-甲基苯基)苯基溴化锍、二(4-甲氧基苯基)苯基溴化锍、二(4-叔丁基苯基)苯基溴化锍、二(4-三氟甲基苯基)苯基溴化锍、二(4-氟苯基)苯基溴化锍、二(4-氯苯基)苯基溴化锍、二(4-羟基苯基)苯基溴化锍等。
作为通式[9]所示的锍盐(磺酸盐)的优选的具体例子，可以举出例如，三氟甲烷磺酸4-甲基苯基二苯基锍盐、九氟丁烷磺酸4-甲基苯基二苯基锍盐、全氟己烷磺酸4-甲基苯基二苯基锍盐、全氟辛烷磺酸4-甲基苯基二苯基锍盐、对甲苯磺酸4-甲基苯基二苯基锍盐、五氟苯磺酸4-甲基苯基二苯基锍盐、对三氟甲基苯磺酸4-甲基苯基二苯基锍盐、三氟甲烷磺酸3-甲基苯基二苯基锍盐、九氟丁烷磺酸3-甲基苯基二苯基锍盐、全氟己烷磺酸3-甲基苯基二苯基锍盐、全氟辛烷磺酸3-甲基苯基二苯基锍盐、对甲苯磺酸3-甲基苯基二苯基锍盐、五氟苯磺酸3-甲基苯基二苯基锍盐、对三氟甲基苯磺酸3-甲基苯基二苯基锍盐、三氟甲烷磺酸2-甲基苯基二苯基锍盐、九氟丁烷磺酸2-甲基苯基二苯基锍盐、全氟己烷磺酸2-甲基苯基二苯基锍盐、全氟辛烷磺酸2-甲基苯基二苯基锍盐、对甲苯磺酸2-甲基苯基二苯基锍盐、五氟苯磺酸2-甲基苯基二苯基锍盐、对三氟甲基苯磺酸2-甲基苯基二苯基锍盐、三氟甲烷磺酸4-叔丁基苯基二苯基锍盐、九氟丁烷磺酸4-叔丁基苯基二苯基锍盐、全氟己烷磺酸4-叔丁基苯基二苯基锍盐、全氟辛烷磺酸4-叔丁基苯基二苯基锍盐、对甲苯磺酸4-叔丁基苯基二苯基锍盐、五氟苯磺酸4-叔丁基苯基二苯基锍盐、对三氟甲基苯磺酸4-叔丁基苯基二苯基锍盐、三氟甲烷磺酸4-环己基苯基二苯基锍盐、九氟丁烷磺酸4-环己基苯基二苯基锍盐、全氟己烷磺酸4-环己基苯基二苯基锍盐、全氟辛烷磺酸4-环己基苯基二苯基锍盐、对甲苯磺酸4-环己基苯基二苯基锍盐、五氟苯磺酸4-环己基苯基二苯基锍盐、对三氟甲基苯磺酸4-环己基苯基二苯基锍盐、三氟甲烷磺酸4-甲氧基苯基二苯基锍盐、九氟丁烷磺酸4-甲氧基苯基二苯基锍盐、全氟己烷磺酸4-甲氧基苯基二苯基锍盐、全氟辛烷磺酸4-甲氧基苯基二苯基锍盐、对甲苯磺酸4-甲氧基苯基二苯基锍盐、五氟苯磺酸4-甲氧基苯基二苯基锍盐、对三氟甲基苯磺酸4-甲氧基苯基二苯基锍盐、三氟甲烷磺酸3-甲氧基苯基二苯基锍盐、九氟丁烷磺酸3-甲氧基苯基二苯基锍盐、全氟己烷磺酸3-甲氧基苯基二苯基锍盐、全氟辛烷磺酸3-甲氧基苯基二苯基锍盐、对甲苯磺酸3-甲氧基苯基二苯基锍盐、五氟苯磺酸3-甲氧基苯基二苯基锍盐、对三氟甲基苯磺酸3-甲氧基苯基二苯基锍盐、三氟甲烷磺酸4-正丁氧基苯基二苯基锍盐、九氟丁烷磺酸4-正丁氧基苯基二苯基锍盐、全氟己烷磺酸4-正丁氧基苯基二苯基锍盐、全氟辛烷磺酸4-正丁氧基苯基二苯基锍盐、对甲苯磺酸4-正丁氧基苯基二苯基锍盐、五氟苯磺酸4-正丁氧基苯基二苯基锍盐、对三氟甲基苯磺酸4-正丁氧基苯基二苯基锍盐、三氟甲烷磺酸2-正丁氧基苯基二苯基锍盐、九氟丁烷磺酸2-正丁氧基苯基二苯基锍盐、全氟己烷磺酸2-正丁氧基苯基二苯基锍盐、全氟辛烷磺酸2-正丁氧基苯基二苯基锍盐、对甲苯磺酸2-正丁氧基苯基二苯基锍盐、五氟苯磺酸2-正丁氧基苯基二苯基锍盐、对三氟甲基苯磺酸2-正丁氧基苯基二苯基锍盐、三氟甲烷磺酸4-叔丁氧基苯基二苯基锍盐、九氟丁烷磺酸4-叔丁氧基苯基二苯基锍盐、全氟己烷磺酸4-叔丁氧基苯基二苯基锍盐、全氟辛烷磺酸4-叔丁氧基苯基二苯基锍盐、对甲苯磺酸4-叔丁氧基苯基二苯基锍盐、五氟苯磺酸4-叔丁氧基苯基二苯基锍盐、对三氟甲基苯磺酸4-叔丁氧基苯基二苯基锍盐、三氟甲烷磺酸4-叔丁氧基苯基二苯基锍盐、九氟丁烷磺酸4-叔丁氧基苯基二苯基锍盐、全氟辛烷磺酸4-叔丁氧基苯基二苯基锍盐、五氟苯磺酸4-叔丁氧基苯基二苯基锍盐、对三氟甲基苯磺酸4-叔丁氧基苯基二苯基锍盐、三氟甲烷磺酸4-甲硫基苯基二苯基锍盐、九氟丁烷磺酸4-甲硫基苯基二苯基锍盐、全氟己烷磺酸4-甲硫基苯基二苯基锍盐、全氟辛烷磺酸4-甲硫基苯基二苯基锍盐、对甲苯磺酸4-甲基苯基二苯基锍盐、五氟苯磺酸4-甲硫基苯基二苯基锍盐、对三氟甲基苯磺酸4-甲硫基苯基二苯基锍盐、三氟甲烷磺酸2，4，6-三甲基苯基二苯基锍盐、九氟丁烷磺酸2，4，6-三甲基苯基二苯基锍盐、全氟己烷磺酸2，4，6-三甲基苯基二苯基锍盐、全氟辛烷磺酸2，4，6-三甲基苯基二苯基锍盐、对甲苯磺酸2，4，6-三甲基苯基二苯基锍盐、五氟苯磺酸2，4，6-三甲基苯基二苯基锍盐、对三氟甲基苯磺酸2，4，6-三甲基苯基二苯基锍盐、三氟甲烷磺酸3，5-二甲基-4-甲氧基苯基二苯基锍盐、九氟丁烷磺酸3，5-二甲基-4-甲氧基苯基二苯基锍盐、全氟己烷磺酸3，5-二甲基-4-甲氧基苯基二苯基锍盐、全氟辛烷磺酸3，5-二甲基-4-甲氧基苯基二苯基锍盐、对甲苯磺酸3，5-二甲基-4-甲氧基苯基二苯基锍盐、五氟苯磺酸3，5-二甲基-4-甲氧基苯基二苯基锍盐、对三氟甲基苯磺酸3，5-二甲基-4-甲氧基苯基二苯基锍盐、三氟甲烷磺酸4-氟苯基二苯基锍盐、九氟丁烷磺酸4-氟苯基二苯基锍盐、全氟己烷磺酸4-氟苯基二苯基锍盐、全氟辛烷磺酸4-氟苯基二苯基锍盐、对甲苯磺酸4-氟苯基二苯基锍盐、五氟苯磺酸4-氟苯基二苯基锍盐、对三氟甲基苯磺酸4-氟苯基二苯基锍盐、三氟甲烷磺酸4-氯苯基二苯基锍盐、九氟丁烷磺酸4-氯苯基二苯基锍盐、全氟己烷磺酸4-氯苯基二苯基锍盐、全氟辛烷磺酸4-氯苯基二苯基锍盐、对甲苯磺酸4-氯苯基二苯基锍盐、五氟苯磺酸4-氯苯基二苯基锍盐、对三氟甲基苯磺酸4-氯苯基二苯基锍盐、三氟甲烷磺酸4-三氟甲基苯基二苯基锍盐、九氟丁烷磺酸4-三氟甲基苯基二苯基锍盐、全氟己烷磺酸4-三氟甲基苯基二苯基锍盐、全氟辛烷磺酸4-三氟甲基苯基二苯基锍盐、对甲苯磺酸4-三氟甲基苯基二苯基锍盐、五氟苯磺酸4-三氟甲基苯基二苯基锍盐、对三氟甲基苯磺酸4-三氟甲基苯基二苯基锍盐、三氟甲烷磺酸1-萘基二苯基锍盐、九氟丁烷磺酸1-萘基二苯基锍盐、全氟己烷磺酸1-萘基二苯基锍盐、全氟辛烷磺酸1-萘基二苯基锍盐、对甲苯磺酸1-萘基二苯基锍盐、五氟苯磺酸1-萘基二苯基锍盐、对三氟甲基苯磺酸1-萘基二苯基锍盐、三氟甲烷磺酸二(4-甲基苯基)苯基锍盐、九氟丁烷磺酸二(4-甲基苯基)苯基锍盐、全氟己烷磺酸二(4-甲基苯基)苯基锍盐、全氟辛烷磺酸二(4-甲基苯基)苯基锍盐、对甲苯磺酸二(4-甲基苯基)苯基锍盐、五氟苯磺酸二(4-甲基苯基)苯基锍盐、对三氟甲基苯磺酸二(4-甲基苯基)苯基锍盐、三氟甲烷磺酸二(4-甲氧基苯基)苯基锍盐、九氟丁烷磺酸二(4-甲氧基苯基)苯基锍盐、全氟己烷磺酸二(4-甲氧基苯基)苯基锍盐、全氟辛烷磺酸二(4-甲氧基苯基)苯基锍盐、对甲苯磺酸二(4-甲氧基苯基)苯基锍盐、五氟苯磺酸二(4-甲氧基苯基)苯基锍盐、对三氟甲基苯磺酸二(4-甲氧基苯基)苯基锍盐、三氟甲烷磺酸二(4-叔丁基苯基)苯基锍盐、九氟丁烷磺酸二(4-叔丁基苯基)苯基锍盐、全氟己烷磺酸二(4-叔丁基苯基)苯基锍盐、全氟辛烷磺酸二(4-叔丁基苯基)苯基锍盐、对甲苯磺酸二(4-叔丁基苯基)苯基锍盐、五氟苯磺酸二(4-叔丁基苯基)苯基锍盐、对三氟甲基苯磺酸二(4-叔丁基苯基)苯基锍盐、三氟甲烷磺酸二(4-三氟甲基苯基)苯基锍盐、九氟丁烷磺酸二(4-三氟甲基苯基)苯基锍盐、全氟己烷磺酸二(4-三氟甲基苯基)苯基锍盐、全氟辛烷磺酸二(4-三氟甲基苯基)苯基锍盐、对甲苯磺酸二(4-三氟甲基苯基)苯基锍盐、五氟苯磺酸二(4-三氟甲基苯基)苯基锍盐、对三氟甲基苯磺酸二(4-三氟甲基苯基)苯基锍盐、三氟甲烷磺酸二(4-氟苯基)苯基锍盐、九氟丁烷磺酸二(4-氟苯基)苯基锍盐、全氟己烷磺酸二(4-氟苯基)苯基锍盐、全氟辛烷磺酸二(4-氟苯基)苯基锍盐、对甲苯磺酸二(4-氟苯基)苯基锍盐、五氟苯磺酸二(4-氟苯基)苯基锍盐、对三氟甲基苯磺酸二(4-氟苯基)苯基锍盐、三氟甲烷磺酸二(4-氯苯基)苯基锍盐、九氟丁烷磺酸二(4-氯苯基)苯基锍盐、全氟己烷磺酸二(4-氯苯基)苯基锍盐、全氟辛烷磺酸二(4-氯苯基)苯基锍盐、对甲苯磺酸二(4-氯苯基)苯基锍盐、五氟苯磺酸二(4-氯苯基)苯基锍盐、对三氟甲基苯磺酸二(4-氯苯基)苯基锍盐、三氟甲烷磺酸二(4-羟基苯基)苯基锍盐、九氟丁烷磺酸二(4-羟基苯基)苯基锍盐、全氟己烷磺酸二(4-羟基苯基)苯基锍盐、全氟辛烷磺酸二(4-羟基苯基)苯基锍盐、对甲苯磺酸二(4-羟基苯基)苯基锍盐、五氟苯磺酸二(4-羟基苯基)苯基锍盐、对三氟甲基苯磺酸二(4-羟基苯基)苯基锍盐等。
作为通式[10]所示的锍盐(无机强酸盐)的优选的具体例子，可以举出例如，4-甲基苯基二苯基锍高氯酸盐、4-甲基苯基二苯基锍四氟硼酸盐、4-甲基苯基二苯基锍六氟磷酸盐、4-甲基苯基二苯基锍六氟砷酸盐、4-甲基苯基二苯基锍六氟锑酸盐、4-甲基苯基二苯基锍四苯基硼酸盐、4-甲基苯基二苯基锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、4-甲基苯基二苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、4-甲基苯基二苯基锍四苯基镓酸盐、4-甲基苯基二苯基锍四(五氟苯基)镓酸盐、3-甲基苯基二苯基锍高氯酸盐、3-甲基苯基二苯基锍四氟硼酸盐、3-甲基苯基二苯基锍六氟磷酸盐、3-甲基苯基二苯基锍六氟砷酸盐、3-甲基苯基二苯基锍六氟锑酸盐、3-甲基苯基二苯基锍四苯基硼酸盐、3-甲基苯基二苯基锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、3-甲基苯基二苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、3-甲基苯基二苯基锍四苯基镓酸盐、3-甲基苯基二苯基锍四(五氟苯基)镓酸盐、2-甲基苯基二苯基锍高氯酸盐、2-甲基苯基二苯基锍四氟硼酸盐、2-甲基苯基二苯基锍六氟磷酸盐、2-甲基苯基二苯基锍六氟砷酸盐、2-甲基苯基二苯基锍六氟锑酸盐、2-甲基苯基二苯基锍四苯基硼酸盐、2-甲基苯基二苯基锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、2-甲基苯基二苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、2-甲基苯基二苯基锍四苯基镓酸盐、2-甲基苯基二苯基锍四(五氟苯基)镓酸盐、4-叔丁基苯基二苯基锍高氯酸盐、4-叔丁基苯基二苯基锍四氟硼酸盐、4-叔丁基苯基二苯基锍六氟磷酸盐、4-叔丁基苯基二苯基锍六氟砷酸盐、4-叔丁基苯基二苯基锍六氟锑酸盐、4-叔丁基苯基二苯基锍四苯基硼酸盐、4-叔丁基苯基二苯基锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、4-叔丁基苯基二苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、4-叔丁基苯基二苯基锍四苯基镓酸盐、4-叔丁基苯基二苯基锍四(五氟苯基)镓酸盐、4-环己基苯基二苯基锍高氯酸盐、4-环己基苯基二苯基锍四氟硼酸盐、4-环己基苯基二苯基锍六氟磷酸盐、4-环己基苯基二苯基锍六氟砷酸盐、4-环己基苯基二苯基锍六氟锑酸盐、4-环己基苯基二苯基锍四苯基硼酸盐、4-环己基苯基二苯基锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、4-环己基苯基二苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、4-环己基苯基二苯基锍四苯基镓酸盐、4-环己基苯基二苯基锍四(五氟苯基)镓酸盐、4-甲氧基苯基二苯基锍高氯酸盐、4-甲氧基苯基二苯基锍四氟硼酸盐、4-甲氧基苯基二苯基锍六氟磷酸盐、4-甲氧基苯基二苯基锍六氟砷酸盐、4-甲氧基苯基二苯基锍六氟锑酸盐、4-甲氧基苯基二苯基锍四苯基硼酸盐、4-甲氧基苯基二苯基锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、4-甲氧基苯基二苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、4-甲氧基苯基二苯基锍四苯基镓酸盐、4-甲氧基苯基二苯基锍四(五氟苯基)镓酸盐、3-甲氧基苯基二苯基锍高氯酸盐、3-甲氧基苯基二苯基锍四氟硼酸盐、3-甲氧基苯基二苯基锍六氟磷酸盐、3-甲氧基苯基二苯基锍六氟砷酸盐、3-甲氧基苯基二苯基锍六氟锑酸盐、3-甲氧基苯基二苯基锍四苯基硼酸盐、3-甲氧基苯基二苯基锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、3-甲氧基苯基二苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、3-甲氧基苯基二苯基锍四苯基镓酸盐、3-甲氧基苯基二苯基锍四(五氟苯基)镓酸盐、4-正丁氧基苯基二苯基锍高氯酸盐、4-正丁氧基苯基二苯基锍四氟硼酸盐、4-正丁氧基苯基二苯基锍六氟磷酸盐、4-正丁氧基苯基二苯基锍六氟砷酸盐、4-正丁氧基苯基二苯基锍六氟锑酸盐、4-正丁氧基苯基二苯基锍四苯基硼酸盐、4-正丁氧基苯基二苯基锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、4-正丁氧基苯基二苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、4-正丁氧基苯基二苯基锍四苯基镓酸盐、4-正丁氧基苯基二苯基锍四(五氟苯基)镓酸盐、2-正丁氧基苯基二苯基锍高氯酸盐、2-正丁氧基苯基二苯基锍四氟硼酸盐、2-正丁氧基苯基二苯基锍六氟磷酸盐、2-正丁氧基苯基二苯基锍六氟砷酸盐、2-正丁氧基苯基二苯基锍六氟锑酸盐、2-正丁氧基苯基二苯基锍四苯基硼酸盐、2-正丁氧基苯基二苯基锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、2-正丁氧基苯基二苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、2-正丁氧基苯基二苯基锍四苯基镓酸盐、2-正丁氧基苯基二苯基锍四(五氟苯基)镓酸盐、4-叔丁氧基苯基二苯基锍高氯酸盐、4-叔丁氧基苯基二苯基锍四氟硼酸盐、4-叔丁氧基苯基二苯基锍六氟磷酸盐、4-叔丁氧基苯基二苯基锍六氟砷酸盐、4-叔丁氧基苯基二苯基锍六氟锑酸盐、4-叔丁氧基苯基二苯基锍四苯基硼酸盐、4-叔丁氧基苯基二苯基锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、4-叔丁氧基苯基二苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、4-叔丁氧基苯基二苯基锍四苯基镓酸盐、4-叔丁氧基苯基二苯基锍四(五氟苯基)镓酸盐、4-叔丁氧基苯基二苯基锍高氯酸盐、4-叔丁氧基苯基二苯基锍四氟硼酸盐、4-叔丁氧基苯基二苯基锍六氟磷酸盐、4-叔丁氧基苯基二苯基锍六氟砷酸盐、4-叔丁氧基苯基二苯基锍六氟锑酸盐、4-叔丁氧基苯基二苯基锍四苯基硼酸盐、4-叔丁氧基苯基二苯基锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、4-叔丁氧基苯基二苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、4-叔丁氧基苯基二苯基锍四苯基镓酸盐、4-叔丁氧基苯基二苯基锍四(五氟苯基)镓酸盐、2，4，6-三甲基苯基二苯基锍高氯酸盐、2，4，6-三甲基苯基二苯基锍四氟硼酸盐、2，4，6-三甲基苯基二苯基锍六氟磷酸盐、2，4，6-三甲基苯基二苯基锍六氟砷酸盐、2，4，6-三甲基苯基二苯基锍六氟锑酸盐、2，4，6-三甲基苯基二苯基锍四苯基硼酸盐、2，4，6-三甲基苯基二苯基锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、2，4，6-三甲基苯基二苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、2，4，6-三甲基苯基二苯基锍四苯基镓酸盐、2，4，6-三甲基苯基二苯基锍四(五氟苯基)镓酸盐、4-甲硫基苯基二苯基锍高氯酸盐、4-甲硫基苯基二苯基锍四氟硼酸盐、4-甲硫基苯基二苯基锍六氟磷酸盐、4-甲硫基苯基二苯基锍六氟砷酸盐、4-甲硫基苯基二苯基锍六氟锑酸盐、4-甲硫基苯基二苯基锍四苯基硼酸盐、4-甲硫基苯基二苯基锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、4-甲硫基苯基二苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、4-甲硫基苯基二苯基锍四苯基镓酸盐、4-甲硫基苯基二苯基锍四(五氟苯基)镓酸盐、3，5-二甲基-4-甲氧基苯基二苯基锍高氯酸盐、3，5-二甲基-4-甲氧基苯基二苯基锍四氟硼酸盐、3，5-二甲基-4-甲氧基苯基二苯基锍六氟磷酸盐、3，5-二甲基-4-甲氧基苯基二苯基锍六氟砷酸盐、3，5-二甲基-4-甲氧基苯基二苯基锍六氟锑酸盐、3，5-二甲基-4-甲氧基苯基二苯基锍四苯基硼酸盐、3，5-二甲基-4-甲氧基苯基二苯基锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、3，5-二甲基-4-甲氧基苯基二苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、3，5-二甲基-4-甲氧基苯基二苯基锍四苯基镓酸盐、3，5-二甲基-4-甲氧基苯基二苯基锍四(五氟苯基)镓酸盐、4-氟苯基二苯基锍高氯酸盐、4-氟苯基二苯基锍四氟硼酸盐、4-氟苯基二苯基锍六氟磷酸盐、4-氟基苯基二苯基锍六氟砷酸盐、4-氟苯基二苯基锍六氟锑酸盐、4-氟苯基二苯基锍四苯基硼酸盐、4-氟苯基二苯基锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、4-氟苯基二苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、4-氟苯基二苯基锍四苯基镓酸盐、4-氟苯基二苯基锍四(五氟苯基)镓酸盐、4-氯苯基二苯基锍高氯酸盐、4-氯苯基二苯基锍四氟硼酸盐、4-氯苯基二苯基锍六氟磷酸盐、4-氯基苯基二苯基锍六氟砷酸盐、4-氯苯基二苯基锍六氟锑酸盐、4-氯苯基二苯基锍四苯基硼酸盐、4-氯苯基二苯基锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、4-氯苯基二苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、4-氯苯基二苯基锍四苯基镓酸盐、4-氯苯基二苯基锍四(五氟苯基)镓酸盐、4-三氟甲基苯基二苯基锍高氯酸盐、4-三氟甲基苯基二苯基锍四氟硼酸盐、4-三氟甲基苯基二苯基锍六氟磷酸盐、4-三氟基甲基苯基二苯基锍六氟砷酸盐、4-三氟甲基苯基二苯基锍六氟锑酸盐、4-三氟甲基苯基二苯基锍四苯基硼酸盐、4-三氟甲基苯基二苯基锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、4-三氟甲基苯基二苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、4-三氟甲基苯基二苯基锍四苯基镓酸盐、4-三氟甲基苯基二苯基锍四(五氟苯基)镓酸盐、二(4-甲基苯基)苯基锍高氯酸盐、二(4-甲基苯基)苯基锍四氟硼酸盐、二(4-甲基苯基)苯基锍六氟磷酸盐、二(4-甲基苯基)苯基锍六氟砷酸盐、二(4-甲基苯基)苯基锍六氟锑酸盐、二(4-甲基苯基)苯基锍四苯基硼酸盐、二(4-甲基苯基)苯基锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、二(4-甲基苯基)苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、二(4-甲基苯基)苯基锍四苯基镓酸盐、二(4-甲基苯基)苯基锍四(五氟苯基)镓酸盐、二(4-甲氧基苯基)苯基锍高氯酸盐、二(4-甲氧基苯基)苯基锍四氟硼酸盐、二(4-甲氧基苯基)苯基锍六氟磷酸盐、二(4-甲氧基苯基)苯基锍六氟砷酸盐、二(4-甲氧基苯基)苯基锍六氟锑酸盐、二(4-甲氧基苯基)苯基锍四苯基硼酸盐、二(4-甲氧基苯基)苯基锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、二(4-甲氧基苯基)苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、二(4-甲氧基苯基)苯基锍四苯基镓酸盐、二(4-甲氧基苯基)苯基锍四(五氟苯基)镓酸盐、二(4-叔丁基苯基)苯基锍高氯酸盐、二(4-叔丁基苯基)苯基锍四氟硼酸盐、二(4-叔丁基苯基)苯基锍六氟磷酸盐、二(4-叔丁基苯基)苯基锍六氟砷酸盐、二(4-叔丁基苯基)苯基锍六氟锑酸盐、二(4-叔丁基苯基)苯基锍四苯基硼酸盐、二(4-叔丁基苯基)苯基锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、二(4-叔丁基苯基)苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、二(4-叔丁基苯基)苯基锍四苯基镓酸盐、二(4-叔丁基苯基)苯基锍四(五氟苯基)镓酸盐、二(4-三氟甲基苯基)苯基锍高氯酸盐、二(4-三氟甲基苯基)苯基锍四氟硼酸盐、二(4-三氟甲基苯基)苯基锍六氟磷酸盐、二(4-三氟甲基苯基)苯基锍六氟砷酸盐、二(4-三氟甲基苯基)苯基锍六氟锑酸盐、二(4-三氟甲基苯基)苯基锍四苯基硼酸盐、二(4-三氟甲基苯基)苯基锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、二(4-三氟甲基苯基)苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、二(4-三氟甲基苯基)苯基锍四苯基镓酸盐、二(4-三氟甲基苯基)苯基锍四(五氟苯基)镓酸盐、1-萘基二苯基锍高氯酸盐、1-萘基二苯基锍四氟硼酸盐、1-萘基二苯基锍六氟磷酸盐、1-萘基二苯基锍六氟砷酸盐、1-萘基二苯基锍六氟锑酸盐、1-萘基二苯基锍四苯基硼酸盐、1-萘基二苯基锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、1-萘基二苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、1-萘基二苯基锍四苯基镓酸盐、1-萘基二苯基锍四(五氟苯基)镓酸盐、二(4-氟苯基)苯基锍高氯酸盐、二(4-氟苯基)苯基锍四氟硼酸盐、二(4-氟苯基)苯基锍六氟磷酸盐、二(4-氟苯基)苯基锍六氟砷酸盐、二(4-氟苯基)苯基锍六氟锑酸盐、二(4-氟苯基)苯基锍四苯基硼酸盐、二(4-氟苯基)苯基锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、二(4-氟苯基)苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、二(4-氟苯基)苯基锍四苯基镓酸盐、二(4-氟苯基)苯基锍四(五氟苯基)镓酸盐、二(4-氯苯基)苯基锍高氯酸盐、二(4-氯苯基)苯基锍四氟硼酸盐、二(4-氯苯基)苯基锍六氟磷酸盐、二(4-氯苯基)苯基锍六氟砷酸盐、二(4-氯苯基)苯基锍六氟锑酸盐、二(4-氯苯基)苯基锍四苯基硼酸盐、二(4-氯苯基)苯基锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、二(4-氯苯基)苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、二(4-氯苯基)苯基锍四苯基镓酸盐、二(4-氯苯基)苯基锍四(五氟苯基)镓酸盐、二(4-羟基苯基)苯基锍高氯酸盐、二(4-羟基苯基)苯基锍四氟硼酸盐、二(4-羟基苯基)苯基锍六氟磷酸盐、二(4-羟基苯基)苯基锍六氟砷酸盐、二(4-羟基苯基)苯基锍六氟锑酸盐、二(4-羟基苯基)苯基锍四苯基硼酸盐、二(4-羟基苯基)苯基锍四{3，5-二(三氟甲基)苯基}硼酸盐、二(4-羟基苯基)苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、二(4-羟基苯基)苯基锍四苯基镓酸盐、二(4-羟基苯基)苯基锍四(五氟苯基)镓酸盐等。
例如，可以如下制造通式[4]所示的锍盐。
即，将通式[1]所示的二芳基亚砜溶解于适当的溶剂中，在其中添加对氧原子具有高亲和性的活化剂(下文，简称为本发明所涉及的活化剂)，制成均一的溶液。另一方面，按照常规方法调制通式[2]所示的芳基格氏试剂，在-78℃～50℃下将预先调制的上述二芳基亚砜和本发明所涉及的活化剂的均一溶液添加至其中后，搅拌反应0.1小时～2小时。反应结束后，在0℃～50℃下使所得到的反应液与通式[3]所示的强酸或其盐反应，以此得到通式[4]所示的三芳基锍盐。
对于通式[1]所示的二芳基亚砜，可以使用市售的二芳基亚砜，也可以使用通过常规方法(例如，Ber.，23，1844(1890)，J.Chem.Soc.(C)，2424(1969)，Synlett，2003(13)，p2029等)适当制造的二芳基亚砜。
对于通式[2]所示的芳基格氏试剂，可以使用市售的芳基格氏试剂，也可以使用通过常规方法适当制造的芳基格氏试剂。
本发明所涉及的活化剂的使用量根据所使用的通式[1]所示的二芳基亚砜、通式[2]所示的芳基格氏试剂、以及溶剂种类的不同而不同，相对于所述二芳基亚砜，活化剂使用量的下限依次优选为3当量、4当量、4.5当量，上限依次优选为7.5当量、7当量、6当量；此外，相对于所述芳基格氏试剂，其下限依次优选为1.2当量、1.6当量、1.8当量，上限依次优选为3当量、2.8当量、2.4当量。
通式[2]所示的芳基格氏试剂的使用量根据所使用的通式[1]所示的二芳基亚砜和溶剂种类的不同而不同，相对于该二芳基亚砜，所述芳基格氏试剂的使用量为1.0当量～10当量，优选为2.0当量～5.0当量。
作为所使用的反应溶剂，可以举出例如，乙醚、异丙醚、四氢呋喃、二氧杂环己烷、1，2-二甲氧基乙烷、叔丁基甲醚、环戊基甲醚等醚类；二氯甲烷、二溴甲烷、1，2-二氯乙烷、氯仿等卤化烃类；苯、甲苯、二甲苯等芳香族烃类等，这些溶剂可以单独使用，也可以至少2种适当地组合使用。
此外，对于本发明的方法得到的三芳基锍盐中的卤盐，按照常规方法(例如，参照国际公开第WO02/092559号公报等)，将其溶解于诸如甲醇、乙醇、异丙醇等醇类中，用氧化银处理，然后添加1.0倍摩尔～5.0倍摩尔的各种酸，过滤除去生成的卤化银，蒸馏除去醇类，然后再将其溶解于诸如二氯甲烷、1，2-二氯乙烷、乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、甲基异丁基酮、甲基乙基酮等有机溶剂中。将得到的溶液水洗，然后减压浓缩，即可以得到目的三芳基锍盐，原本作为阴离子(counter anion)的卤原子被取代成了衍生自酸的阴离子。
此外，在2层体系中进行反应时，将三芳基锍盐溶解于诸如二氯甲烷、1，2-二氯乙烷、乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、甲基异丁基酮、甲基乙基酮等有机溶剂和水的2层溶剂中，添加1.0倍摩尔～5.0倍摩尔的各种酸或碱金属盐、碱土金属盐进行反应。反应结束后，将得到的反应液水洗，然后减压浓缩，则可以得到目的三芳基锍盐，原本作为阴离子(counter anion)的卤原子被取代成了衍生自酸的阴离子。
可以按照该领域通常采用的后处理方法来进行反应后的后处理。
本发明的三芳基锍盐的制造方法中，通过使所使用的对氧原子具有高亲和性的活化剂的量大于等于至今所使用的量，消除了现有技术所具有的需要诸如在高温下反应的苛刻条件(例如加热回流操作、熔融反应等)、产生亚硫酸气体、排出大量的铝废液、仅合成阳离子部分的3个芳香环相同的锍盐、含有作为杂质的副产物等问题，可以有效且高收率地制造本发明所涉及的三芳基锍盐。
此外，对于本发明所涉及的三芳基锍盐，使其按照常规方法与具有目的阴离子的化合物进行反应，则可以容易地制造阴离子被交换为目的阴离子(counter anion)的三芳基锍盐。
进一步，对于通过本发明的方法所制造的三芳基锍盐，由于副产物含量极低，将其用作酸产生剂时，可以期待诸如能够改善超微细图案的轮廓或侧壁的粗糙、能够形成矩形的边缘粗糙度小的良好的图案等效果。
下文根据实施例、实验例以及比较例对本发明进行详细的说明，但是本发明并不限于上述实例。
实施例1 4-甲基苯基二苯基溴化锍的合成采用4-溴甲苯和镁作为原料，以四氢呋喃(THF)作为溶剂，按照常规方法调制的4-甲基苯基格氏试剂，将151.71g(0.75摩尔，1当量)的二苯基亚砜和407.25g(3.75摩尔，5当量)的氯三甲基硅烷(TMSCl)溶解于0.6L的THF中，形成溶液，在-5℃～室温下将上述调制的4-甲基苯基格氏试剂1.32L(1.88摩尔，1.42摩尔/升，2.5当量)添加于上述溶液中，然后搅拌反应30分钟。反应结束后，将得到的反应液注入1.1L的12％的氢溴酸中，以1.8L的二氯甲烷提取2次。将得到的目的物洗涤后，浓缩干燥，以1.8L的丙酮进行结晶化，以此得到203.7g作为目的物的白色结晶(收率为76％)。物性数据如表1所示。
实施例2～16 各种锍盐的合成除了使用如表1～3所示的规定的芳基卤化物作为芳基卤化物来替代实施例1中所使用的4-溴甲苯以外，进行与实施例1相同的操作，得到目的物。其结果如表1～3所示。
实施例17～23各种锍盐的合成除了使用溴苯作为芳基卤化物来替代实施例1中所使用的4-溴甲苯、使用表4和表5所示的规定的亚砜作为亚砜来替代二苯基亚砜之外，进行与实施例1相同的操作，得到目的物。其结果如表4所示。
而且，对于实施例1～23，通过高速液相色谱[波长237nm，流速0.75ml/min，流动相含有6mM氢氧化四丙基铵(TPAH)的水-乙腈溶液(水/乙腈＝13/7)(pH值为7.0)，测定时间30min]测定副产物的生成率，结果未见副产物的生成。
比较例1和实验例1～6.本发明所涉及的活化剂的当量关系除了以如下的当量使用实施例1中使用的TMSCl的当量(5当量)之外，进行与实施例1相同的操作，得到作为目的物的4-甲基苯基二苯基溴化锍。所得到的目的物、三苯基溴化锍(副产物1)和二(4-甲基苯基)苯基溴化锍(副产物2)的收率如表5所示。
由表5的结果可知，对比较例1和实验例1～6的结果进行比较，结果发现，比较例1中产生了副产物且目的物的收率也低，而与之相对，实验例1～6中，收率很高，且副产物的生成率极少。特别地，实验例3～6中，未发现副产物的生成。
由上述结果可知，对于1当量的二芳基亚砜，本发明所涉及的活化剂的使用量通常为3当量～7.5当量，优选为4当量～7当量，更优选为4.5当量～6当量，如此可以抑制副产物的生成。
产业上的可利用性本发明的三芳基锍盐的制造方法中，通过使所使用的对氧原子具有高亲和性的活化剂的量大于等于至今所使用的量，消除了现有技术所具有的需要诸如在高温下反应的苛刻条件(例如加热回流操作、熔融反应等)、产生亚硫酸气体、排出大量的铝废液、仅合成阳离子部分的3个芳香环相同的锍盐、含有作为杂质的副产物等问题，可以有效且高收率地制造目的锍盐。所述效果是通过大幅增加本发明中所使用的对氧原子具有高亲和性的活化剂的使用量而产生的，是完全未曾预料到的。
权利要求
1.通式[4]所示的三芳基锍盐的制造方法，其特征在于，在与对氧具有高亲和性的活化剂的共存下，使通式[1]所示的二芳基亚砜与通式[2]所示的芳基格氏试剂进行反应，然后与通式[3]所示的强酸或其盐反应；所述对氧具有高亲和性的活化剂相对于所述二芳基亚砜为3当量～7.5当量；所述通式[1]为 通式(1)中，2个R1表示氢原子、卤原子、烷基、碳原子数为1～4的卤代烷基、烷氧基、酰基、羟基、氨基、硝基或氰基；所述通式[2]为RMgX[2]通式[2]中，R表示具有或不具有取代基的芳基，所述取代基选自卤原子、烷基、碳原子数为1～4的卤代烷基、烷氧基、烷硫基、N-烷基氨基甲酰基和氨基甲酰基，该取代基与上述通式[1]中的R1不同，X表示卤原子；所述通式[3]为HA1[3]通式[3]中，A1表示强酸残基；所述通式[4]为 通式[4]中，R、R1和A1与上述相同。
2.如权利要求1所述的制造方法，其中，所述对氧具有高亲和性的活化剂是三有机卤硅烷。
3.如权利要求1所述的制造方法，其中，所述对氧具有高亲和性的活化剂是三烷基卤硅烷。
4.如权利要求1所述的制造方法，其中，所述对氧具有高亲和性的活化剂是三甲基氯硅烷。
5.如权利要求1所述的制造方法，其中，相对于通式[2]所示的芳基格氏试剂，所述对氧具有高亲和性的活化剂的使用量为1.2当量～3当量。
6.如权利要求1所述的制造方法，其中，所述A1所示的强酸残基为来自通式[5]所示的氢卤酸的阴离子、来自通式[6]所示的磺酸的阴离子、或为来自通式[7]所示的无机强酸的阴离子，所述通式[5]为HX1[5]通式[5]中，X1表示卤原子；所述通式[6]为R2-S03H [6]通式[6]中，R2表示具有或不具有卤原子的烷基、芳基或芳烷基，或表示樟脑基；所述通式[7]为HM1Fn[7]通式[7]中，M1表示半金属原子，n为4或6。
7.如权利要求6所述的制造方法，其中，X1是氯原子或溴原子。
8.如权利要求6所述的制造方法，其中，M1表示的半金属原子是硼原子、磷原子、砷原子或锑原子。
全文摘要
本发明涉及通式[4]所示的三芳基锍盐的制造方法，该方法可以有效地制造三芳基锍盐中仅一个芳香环不同于另外两个芳香环的三芳基锍盐，所述制造方法的特征在于，在与对氧具有高亲和性的活化剂的共存下，使通式[1]所示的二芳基亚砜与通式[2]所示的芳基格氏试剂进行反应，然后与通式[3]所示的强酸或其盐反应；所述对氧具有高亲和性的活化剂相对于所述二芳基亚砜为3当量～7.5当量；所述通式[2]为RMgX，其中R表示具有或不具有取代基的芳基，所述取代基与上述通式[1]中的R
文档编号C07C381/12GK1871212SQ200480030948
公开日2006年11月29日 申请日期2004年10月4日 优先权日2003年10月21日
发明者角野元重, 深沢和仁, 今关重明, 渡边哲也 申请人:和光纯药工业株式会社