基板搬送装置的制作方法

文档序号:12899158阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基板搬送装置,包括多个平行设置的传送轴,设置于所述传送轴相对的第一端和第二端的支撑结构,以及用于驱动传送轴转动的驱动结构,其特征在于,每个所述传送轴沿其长度方向至少划分为两部分,相邻两部分所述传送轴之间设有连接结构,所述支撑结构与所述连接结构相配合使得每个所述传送轴整体位于一水平面上。

2.根据权利要求1所述的基板搬送装置,其特征在于,每个所述传送轴沿其长度方向包括第一部分和第二部分,所述连接结构包括:

连接所述第一部分的第一轴承和连接所述第二部分的第二轴承;

设置于所述第一部分和所述第二部分之间的第一支撑架,所述第一支撑架上设有用于安装所述第一轴承和所述第二轴承的第一轴承槽。

3.根据权利要求2所述的基板搬送装置,其特征在于,所述第一轴承槽上设有导向槽,所述第一轴承的外部和所述第二轴承的外部均固定连接有连接件,所述连接件具有能够插接于所述导向槽内、以防止相应的所述传送轴在与所述传送轴径向相平行的方向跳动的插接部;所述导向槽的延伸方向与所述传送轴的延伸方向一致。

4.根据权利要求2所述的基板搬送装置,其特征在于,所述第一支撑架上沿其长度方向设有压板,所述压板覆盖于所述第一轴承槽上以防止所述传送轴在与水平面垂直的方向跳动。

5.根据权利要求2所述的基板搬送装置,其特征在于,每个所述传送轴沿其长度方向包括第一部分和第二部分,且所述第一部分的长度和所述第二部分的长度相等,所述第一支撑架上包括数量与所述传送轴数量相对应的所述第一轴承槽。

6.根据权利要求2所述的基板搬送装置,其特征在于,所述第一轴承和所述第二轴承之间具有间隙。

7.根据权利要求2所述的基板搬送装置,其特征在于,所述支撑结构包括第二支撑架,所述第二支撑架设有数量与所述传送轴的数量相对应的第二轴承槽,所述第二轴承槽内安装有第三轴承以与所述第一部分或所述第二部分连接。

8.根据权利要求7所述的基板搬送装置,其特征在于,所述第二支撑架上设置有压条,所述压条覆盖于所述第二轴承槽上以防止所述传送轴在与水平面垂直的方向跳动。

9.根据权利要求2所述的基板搬送装置,其特征在于,所述驱动结构包括设置于所述传送轴第一端的第一驱动部和设置于所述传送轴第二端的第二驱动部,所述第一驱动部和所述第二驱动部相配合以使得每个传送轴的所述第一部分和所述第二部分同时转动,且使得多个传送轴同时转动。

10.根据权利要求9所述的基板搬送装置,其特征在于,所述第一驱动部的结构和所述第二驱动部的结构相同,所述第一驱动部包括:

驱动马达;

传动结构,与多个所述传送轴的相应的所述第一部分连接,用于在所述驱动马达的驱动下驱动多个所述传送轴同时转动。

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