基板搬送装置的制作方法

文档序号:12899158阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及一种基板搬送装置,包括多个平行设置的传送轴,设置于所述传送轴相对的第一端和第二端的支撑结构,以及用于驱动传送轴转动的驱动结构,每个所述传送轴沿其长度方向至少划分为两部分,相邻两部分所述传送轴之间设有连接结构,所述支撑结构与所述连接结构相配合使得每个所述传送轴整体位于一水平面上。本实用新型的有益效果是:传送轴由至少两部分组成,避免传送轴转动过程中的抖动,保证基板表面的平整,降低清洁作业难度。

技术研发人员:寇建龙;吴凯;谢金涛
受保护的技术使用者:合肥京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司
文档号码:201720322858
技术研发日:2017.03.29
技术公布日:2017.11.10

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