7和固化机构9的顺序，因此在使固化机构9以面向基板2的方式向喷嘴7前方移动后，仅使固化机构用支承柱8行走，从而也能够执行涂敷前的UV活性化处理等实施各种处理。
[0086]代替上述变形例，在喷嘴用支承柱6行走于第二行走轨道构件5b上、固化机构用支承柱8行走于第一行走轨道构件5a上的情况下的位置交换步骤中，虽然未图示，但明确可知，至少在结束从喷嘴7喷出涂液D，喷嘴用支承柱6及固化机构用支承柱8在基板2的外侧停止后的待机状态下，执行喷嘴7的向固化机构9上方的上升、喷嘴用支承柱6的向喷嘴7跨越固化机构9的位置的行走、以及喷嘴7的下降，从而相对于成为回路的相反方向的行走方向对喷嘴7和固化机构9进行交换排序。
[0087]仅仅是喷嘴7跨越固化机构9、或固化机构9跨越喷嘴7的不同，能够获得相同的作用效果。
[0088]图6是表示本发明所涉及的基板的涂敷装置I的变形例的侧视图。在本变形例中，供固化机构用支承柱8行走的第二行走轨道构件5b被配置在工作台3的上方，固化机构用支承柱8被吊挂在第二行走轨道构件5b上，将固化机构用支承柱8设置为行走自如。也可以采用如下方式，即，代替第二行走轨道构件5b，而将第一行走轨道构件5a配置在工作台3的上方，将喷嘴用支承柱6吊挂在该第一行走轨道构件5a上，将喷嘴用支承柱6设置为行走自如。
[0089]在这种情况下，也能够具备使喷嘴7及固化机构9的任一方跨越另一方的结构。当然这种变形例也能够实现上述的作用效果。
[0090]图7是表示本发明所涉及的基板的涂敷装置I的其他变形例的侧视图。该变形例为，由一个被吊挂在第二行走轨道构件5b上的固化机构用支承柱8和两个对喷嘴7进行支承的喷嘴用支承柱6A、6B构成的情况。两个喷嘴用支承柱6A、6B行走在相同的第一行走轨道构件5a上。
[0091]当以这种方式构成时，能够进行如下的操作，即，在通过右侧的喷嘴用支承柱6A的喷嘴7A进行涂敷处理，并且通过追随于该右侧的喷嘴7A的固化机构9进行固化处理后，在使右侧的喷嘴7A返回至初始的位置时，通过使固化机构9向左侧的喷嘴支承用柱6B的左侧移动，之后，通过左侧的喷嘴7B进行涂敷处理，并且使固化机构9追随于该左侧的喷嘴7B以进行固化处理，从而能够利用一个固化机构9的行走移动，高效地实施对由两个喷嘴7A、7B实施的涂敷处理的固化处理，进而能够提高设备效率及生产效率。另外，如果使右侧的喷嘴7A和左侧的喷嘴7B的涂液D不同，则还能够进行不同种类的涂液的重叠涂敷。
[0092]【符号说明】
[0093]I基板的涂敷装置
[0094]2 基板
[0095]3工作台
[0096]4 基台
[0097]5行走轨道
[0098]5a第一行走轨道构件
[0099]5b第二行走轨道构件
[0100]6、6A、6B喷嘴用支承柱
[0101]7、7A、7B 喷嘴
[0102]8固化机构用支承柱
[0103]9固化机构
[0104]D 涂液
[0105]H升降行程量
[0106]L UV 光
[0107]Z涂敷末端区域
[0108]gl喷嘴与基板的上下方向上的间隙间隔
[0109]g2固化机构与基板的上下方向上的间隙间隔
[0110]Si固化机构的向喷嘴上方的上升
[0111]s2固化机构用支承柱的向固化机构跨越喷嘴的位置的行走
[0112]s3固化机构的下降
[0113]vl喷嘴用支承柱(喷嘴)的行走速度
[0114]v2固化机构用支承柱(固化机构)的行走速度
[0115]xl喷嘴的升降动作
[0116]x2固化机构的升降动作
[0117]a基板
[0118]b喷嘴
[0119]c涂液
[0120]d固化机构
[0121]e间隙间隔
[0122]f间隙间隔的增幅
[0123]y、yl、y2喷嘴与固化机构的距离
【主权项】
1.一种基板的涂敷装置，其通过从喷嘴喷出的涂液对基板进行涂敷处理，并通过固化机构对被涂敷在该基板上的涂液进行固化处理，所述喷嘴被行走于行走轨道上的喷嘴用支承柱支承为升降自如，所述基板的涂敷装置的特征在于， 具备固化机构用支承柱，所述固化机构用支承柱独立于喷嘴用支承柱的行走而单独地行走于上述行走轨道上，并且以独立于上述喷嘴的升降动作的方式单独地将上述固化机构支承为升降自如。2.根据权利要求1所述的基板的涂敷装置，其特征在于， 所述行走轨道由第一行走轨道构件和第二行走轨道构件构成，所述第一行走轨道构件以接近所述基板的方式配置，所述第二行走轨道构件以与该第一行走轨道构件相比远离该基板的方式配置，所述喷嘴用支承柱在上述第一行走轨道构件上行走，所述固化机构用支承柱在上述第二行走轨道构件上行走，该固化机构用支承柱以到达所述喷嘴的上方的升降行程量将所述固化机构支承为升降自如。3.根据权利要求1所述的基板的涂敷装置，其特征在于， 所述行走轨道由第一行走轨道构件和第二行走轨道构件构成，所述第一行走轨道构件以接近所述基板的方式配置，所述第二行走轨道构件以与该第一行走轨道构件相比远离该基板的方式配置，所述固化机构用支承柱在上述第一行走轨道构件上行走，所述喷嘴用支承柱在上述第二行走轨道构件上行走，该喷嘴用支承柱以到达所述固化机构的上方的升降行程量将所述喷嘴支承为升降自如。4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板的涂敷装置，其特征在于， 所述固化机构为UV照射体、发热体或干燥机。5.一种基板的涂敷方法，其使用权利要求1所述的基板的涂敷装置而对基板进行涂敷，其特征在于， 包括: 涂敷处理步骤，使所述喷嘴用支承柱从位于行走方向前方的所述基板的涂敷开始端向涂敷末端行走并通过从所述喷嘴喷出的涂液对该基板进行涂敷处理，并且使所述固化机构用支承柱从喷嘴用支承柱的行走方向后方追随于该喷嘴用支承柱而从该基板的涂敷开始端向涂敷末端行走，并通过所述固化机构对涂敷在该基板上的涂液进行固化处理； 涂敷末端处理步骤，在到达上述基板的涂敷末端区域时，上述喷嘴用支承柱使上述喷嘴上升并行走，另一方面，上述固化机构用支承柱将上述固化机构的高度位置维持固定并行走。6.一种基板的涂敷方法，其使用权利要求2所述的基板的涂敷装置，使所述喷嘴及所述固化机构往返行走并对基板进行涂敷，所述基板的涂敷方法的特征在于， 包括: 涂敷处理步骤，使所述喷嘴用支承柱从位于行走方向前方的所述基板的涂敷开始端向涂敷末端行走并通过从所述喷嘴喷出的涂液对该基板进行涂敷处理，并且使所述固化机构用支承柱从喷嘴用支承柱的行走方向后方追随于该喷嘴用支承柱而从该基板的涂敷开始端向涂敷末端行走，并通过所述固化机构对涂敷在该基板上的涂液进行固化处理； 涂敷末端处理步骤，在到达上述基板的涂敷末端区域时，上述喷嘴用支承柱使上述喷嘴上升并行走，另一方面，上述固化机构用支承柱将上述固化机构的高度位置维持固定并行走； 位置交换步骤，至少在结束涂液从上述喷嘴的喷出，并使上述喷嘴用支承柱及上述固化机构用支承柱停止后，执行上述固化机构的向该喷嘴上方的上升、该固化机构用支承柱的向该固化机构跨越该喷嘴的位置的行走、以及该固化机构的下降，从而相对于相反方向的行走方向对该喷嘴和该固化机构进行交换排序， 所述基板的涂敷方法反复实施从上述涂敷处理步骤到上述位置交换步骤的过程。7.一种基板的涂敷方法，其使用权利要求3所述的基板的涂敷装置，使所述喷嘴及所述固化机构反复行走并对基板进行涂敷，所述基板的涂敷方法的特征在于， 包括: 涂敷处理步骤，使所述喷嘴用支承柱从位于行走方向前方的所述基板的涂敷开始端向涂敷末端行走并通过从所述喷嘴喷出的涂液对该基板进行涂敷处理，并且使所述固化机构用支承柱从喷嘴用支承柱的行走方向后方追随于该喷嘴用支承柱而从该基板的涂敷开始端向涂敷末端行走，并通过所述固化机构对涂敷在该基板上的涂液进行固化处理； 涂敷末端处理步骤，在到达上述基板的涂敷末端区域时，上述喷嘴用支承柱使上述喷嘴上升并行走，另一方面，上述固化机构用支承柱将上述固化机构的高度位置维持固定并行走； 位置交换步骤，至少在结束涂液从上述喷嘴的喷出，并使上述喷嘴用支承柱及上述固化机构用支承柱停止后，执行该喷嘴的向上述固化机构上方的上升、该喷嘴用支承柱的向该喷嘴跨越该固化机构的位置的行走、以及该喷嘴的下降，从而相对于相反方向的行走方向对该喷嘴和该固化机构进行交换排序， 所述基板的涂敷方法反复实施从上述涂敷处理步骤到上述位置交换步骤的过程。
【专利摘要】本发明提供一种基板的涂敷装置以及基板的涂敷方法，其由于使基板的涂膜厚度均匀化，特别是，即使至少在基板的涂敷末端使喷嘴朝向上方移动的情况下，也能够使由追随于喷嘴的固化机构实施的涂液的固化处理均质化，并且能够提高处理控制的通用性。基板的涂敷装置(1)通过从喷嘴(7)喷出的涂液对基板(2)进行涂敷处理，并通过固化机构(9)对被涂敷在基板上的涂液进行固化处理，所述喷嘴被行走于行走轨道(5)上的喷嘴用支承柱(6)支承为升降自如，所述基板的涂敷装置具备固化机构用支承柱(8)，所述固化机构用支承柱独立于喷嘴用支承柱的行走而单独地行走于行走轨道上，并且以独立于喷嘴的升降动作的方式单独地将固化机构支承为升降自如。
【IPC分类】B05D1/02, B05B13/04, B05D3/02
【公开号】CN105080766
【申请号】CN201410403278
【发明人】户内八郎
【申请人】中外炉工业株式会社
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2014年8月15日