技术特征：
技术总结
本发明提供一种基于扫描探针的光路减震装置及方法，用于减少光路振动，所述装置包括控制器、第一扫描振镜及一第二扫描振镜、第一采样镜及第二采样镜、第一四象限光探测器及第二四象限光探测器。本发明的优点在于，通过四象限光探测器感应光路中光信号，并将其位置信息进行实时反馈，通过扫描振镜调节光源的光路，使得样品上的光斑位置相对样品保持稳定不变，实现控制光斑稳定不漂移。本发明方法在减少光路振动的基础上，提高了扫描探针显微镜在材料表面光电测量上的稳定性和可靠性，提升了扫描探针显微镜在微区光电响应表征的准确度。
技术研发人员：蓝剑越;刘争晖;徐耿钊;钟海舰;陈科蓓;张春玉;徐科
受保护的技术使用者：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
技术研发日：2017.03.29
技术公布日：2017.08.18