技术总结
本发明涉及一种基板搬送装置。本发明一实施例涉及的基板搬送装置(100)的特征在于，包括：搬送部(110)，其与基板(10)的上部面相向，以非接触式支持基板(10)的上部面；以及主体部(150)，其包括用于向搬送部(110)提供气体(g)以及真空(v)的流路，其中，搬送部(110)具有用于喷出气体(g)的气体喷射支持部(130‑136、140‑146)以及用于提供真空(v)的真空支持部(120‑128)。
技术研发人员：李裕进;李在鹤
受保护的技术使用者：TGO科技株式会社
文档号码：201610349437
技术研发日：2016.05.24
技术公布日：2017.02.15