基板保持装置的制作方法

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种基板保持装置。

背景技术：

在半导体领域，可以在基板上设置各种电子部件，例如芯片、电容器、电阻等等。在某些场景下，需要对设置了各种电子部件的基板进行分割。例如，可以将待分割的基板放入托盘中，并将该托盘传输至切割位置，由分割装置(例如切割机)对该基板进行分割。

应当注意，上面对背景技术的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本申请的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

技术实现要素：

发明人发现：在加工制造时，为生产方便，通常会将大量相同的电子部件重复形成于一张基板后，再对基板进行分割而形成带有控制电路的独立的电子部件。对于重量较轻的电子部件，在对基板进行分割时，由于切割力的作用容易出现电子部件飞散的情况，或者电子部件随切割而被移位从而导致分割不准确的情况，以及分割后的电子部件被卷进分割装置的转子中而导致电子部件损坏的情况。

为了解决上述问题，本实用新型提供一种基板保持装置；通过支撑部件和压住部件对基板例如配置有重量较轻的电子部件的基板进行按压。

根据本实用新型实施例的第一方面，提供了一种基板保持装置，其保持待分割的基板以使分割装置对所述待分割的基板进行分割；所述基板保持装置包括：

支撑部件，其支撑所述待分割的基板，其中所述待分割的基板的一面与所述支撑部件接触；以及

压住部件，其与所述待分割的基板的另一面接触，对所述待分割的基板进行按压。根据本实用新型实施例的第二方面，其中，所述压住部件的与所述待分割的基板的另一面接触的位置处具有一个或多个第一弹性部件。

根据本实用新型实施例的第三方面，其中，所述第一弹性部件在垂直于所述待分割的基板的另一面的方向上与所述待分割的基板上的电子部件的至少一部分相向。

根据本实用新型实施例的第四方面，其中，所述第一弹性部件包括海绵、橡胶、树脂中的一种或多种。

根据本实用新型实施例的第五方面，其中，所述支撑部件还具有一个或多个第二弹性部件。

根据本实用新型实施例的第六方面，其中，所述第二弹性部件被设置在被分割的位置与电子部件的位置以外的位置处。

根据本实用新型实施例的第七方面，其中，所述第二弹性部件包括海绵、橡胶、树脂中的一种或多种。

根据本实用新型实施例的第八方面，其中，所述压住部件和/或所述支撑部件还具有固定部件；所述压住部件和所述支撑部件通过所述固定部件被连接。

根据本实用新型实施例的第九方面，其中，所述固定部件为一个或多个磁性部件。根据本实用新型实施例的第十方面，其中，所述电子部件的质量在规定质量以下。本实用新型的有益效果在于：通过基板保持装置的支撑部件和压住部件，能够对配置有重量较轻的电子部件的基板进行按压，可以防止切割过程中电子部件飞散，减少或消除电子部件随切割而被移位从而导致分割不准确的情况，以及减少或消除分割后的电子部件被卷进分割装置的转子中而导致电子部件损坏的情况。

参照后文的说明和附图，详细公开了本实用新型的特定实施方式，指明了本实用新型的原理可以被采用的方式。应该理解，本实用新型的实施方式在范围上并不因而受到限制。在所附权利要求的精神和条款的范围内，本实用新型的实施方式包括许多改变、修改和等同。

附图说明

所包括的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本实用新型的实施方式，并与文字描述一起来阐释本实用新型的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：

图1是本实用新型的基板保持装置的示意图；

图2是本实用新型的压住部件的另一示意图；

图3是本实用新型的压住部件的另一示意图；

图4是本实用新型的支撑部件的另一示意图；

图5是本实用新型的支撑部件的另一示意图。

具体实施方式

参照附图，通过下面的说明，本实用新型的前述以及其它特征将变得明显。在说明书和附图中，具体公开了本实用新型的特定实施方式，其表明了其中可以采用本实用新型的原则的部分实施方式，应了解的是，本实用新型不限于所描述的实施方式，相反，本实用新型包括落入所附权利要求的范围内的全部修改、变型以及等同物。

在本实用新型实施例中，术语“第一”、“第二”等用于对不同元素从称谓上进行区分，但并不表示这些元素的空间排列或时间顺序等，这些元素不应被这些术语所限制。术语“和/或”包括相关联列出的术语的一种或多个中的任何一个和所有组合。术语“包含”、“包括”、“具有”等是指所陈述的特征、元素、元件或组件的存在，但并不排除存在或添加一个或多个其他特征、元素、元件或组件。

在本实用新型实施例中，单数形式“一”、“该”等可以包括复数形式，应广义地理解为“一种”或“一类”而并不是限定为“一个”的含义；此外术语“所述”应理解为既包括单数形式也包括复数形式，除非上下文另外明确指出。此外术语“根据”应理解为“至少部分根据……”，术语“基于”应理解为“至少部分基于……”，除非上下文另外明确指出。

在本实用新型的下述说明中，为了说明的方便，将与沿着轴延伸的方向平行的方向称为“轴向”，将以轴为中心的半径方向称为“径向”，将以轴为中心的包围装置的径向外侧的方向称为“周向”。但值得注意的是，这些只是为了说明的方便，并不限定该装置使用和制造时的朝向。

在本实用新型的下述说明中，为了说明的方便，将靠近压住部件的一侧称为“上侧”或者“上方”，将靠近支撑部件的一侧称为“下侧”或者“下方”。但值得注意的是，这些只是为了说明的方便，并不限定该基板保持装置使用和制造时的朝向。

下面参照附图对本实用新型的实施方式进行说明。

本实用新型实施例提供一种基板保持装置，其保持待分割的基板以使分割装置对所述待分割的基板进行分割。图1是本实用新型的基板保持装置的示意图，如图1所示，基板保持装置100包括：

支撑部件101，其支撑待分割的基板200，其中所述待分割的基板200的一面(例如下表面)与所述支撑部件101接触；以及

压住部件102，其与所述待分割的基板200的另一面(例如上表面)接触，对所述待分割的基板200进行按压。

由此，通过基板保持装置的支撑部件和压住部件，能够对基板进行按压，可以防止切割过程中基板飞散，减少或者消除基板切割时基板被移位而导致分割不准确的情况，以及减少或消除分割后的基板被卷进分割装置的转子中而导致电子部件损坏的情况。

图2是本实用新型的压住部件的另一示意图，示例性示出了沿图1的Y方向(即从下向上)对所述压住部件102进行观察的情况。图3是本实用新型的压住部件的另一示意图，示例性示出了沿图1的Z方向对所述压住部件102进行观察的情况。

如图2和3所示，所述压住部件102的与所述待分割的基板200的另一面(例如上表面)接触的位置处，具有一个或多个第一弹性部件1021。如图2和3所示，所述第一弹性部件1021在垂直于所述待分割的基板200的另一面的方向(例如图2所示的Y方向)上与所述待分割的基板200上的电子部件201的至少一部分相向。

例如，所述第一弹性部件1021可以包括海绵、橡胶、树脂中的一种或多种；但本实用新型不限于此，还可以是其他的任意弹性部件。

由此，通过第一弹性部件1021，基板200上的电子部件201即使在被按压或飞散时也不容易被损坏；此外还可以增加压住部件102与基板200之间的摩擦力，使得基板200在被分割时不容易被移位。

在本实用新型中，所述电子部件201的质量可以在规定质量以下。例如，该规定质量可以预先被确定，例如可以为1克(g)；即电子部件201的质量在1g以下，例如可以为0.72g；关于具体的规定质量可以根据实际需要确定，本实用新型不对此进行限制。

图4是本实用新型的支撑部件的另一示意图，示例性示出了沿图1的Y方向的相反方向(即从上向下)对所述支撑部件101进行观察的情况。图5是本实用新型的支撑部件的另一示意图，示例性示出了沿图1的Z方向对所述支撑部件101进行观察的情况。

如图4和5所示，所述支撑部件101还可以具有一个或多个第二弹性部件1011。其中，所述第二弹性部件1011被设置在被分割的位置(例如图4所示的A位置)与电子部件的位置(例如图4所示的B位置)以外的位置处。

例如，所述第二弹性部件1011可以包括海绵、橡胶、树脂中的一种或多种；但本实用新型不限于此，还可以是其他的任意弹性部件。

由此，通过第二弹性部件1011，能够支撑基板200上的电子部件201，使得电子部件201即使在被按压或飞散时也不容易被损坏；此外还可以增加支撑部件101与基板200之间的摩擦力，使得基板200在被分割时不容易被移位。

在本实用新型中，所述压住部件102和/或所述支撑部件101还可以具有固定部件；所述压住部件102和所述支撑部件101可以通过所述固定部件被连接。

在一个实施方式中，所述固定部件可以为一个或多个磁性部件；但本实用新型不限于此，例如还可以是其他的任意固定件。

例如，可以在所述压住部件102上设置多个磁性部件，而在支撑部件101对应于这些磁性部件的位置处设置金属或磁性部件，所述压住部件102和所述支撑部件101可以通过所述磁性部件的吸附力被固定。

例如如图2和3所示，所述磁性部件可以包括设置于所述压住部件102的侧部的长条状磁石1022；这两个长条状磁石1022可以平行地被设置。但本实用新型不限于此，例如，所述磁性部件还可以包括设置于所述压住部件102的角部(例如可以是四个角部)的点状磁石。对于支撑部件101，可以相应地设置所述磁性部件。

由此，通过固定部件，能够将支撑部件101和压住部件102进行连接并相对固定，能够增大对基板200的按压力。进一步地，通过一个或多个磁性部件，还可以容易地对基板200进行安装和卸载。

此外，图2中第一弹性部件1021以正方形为例，图4中第二弹性部件1011以圆形为例，对本实用新型进行了示例性说明。但本实用新型不限于此，对各弹性部件和各磁性部件的形状和大小并不进行限制。

值得注意的是，以上仅对本实用新型进行了示例性说明，但本实用新型不限于此，还可以在以上各个实施方式的基础上进行适当的变型。此外，以上仅对各个部件进行了示例性说明，但本实用新型不限于此，各个部件的具体内容还可以参考相关技术；此外还可以增加图1至5中没有示出的部件，或者减少图1至5中的一个或多个部件。

以上结合具体的实施方式对本实用新型进行了描述，但本领域技术人员应该清楚，这些描述都是示例性的，并不是对本实用新型保护范围的限制。本领域技术人员可以根据本实用新型的精神和原理对本实用新型做出各种变型和修改，这些变型和修改也在本实用新型的范围内。

以上参照附图描述了本实用新型的优选实施方式。这些实施方式的许多特征和优点根据该详细的说明书是清楚的，因此所附权利要求旨在覆盖这些实施方式的落入其真实精神和范围内的所有这些特征和优点。此外，由于本领域的技术人员容易想到很多修改和改变，因此不是要将本实用新型的实施方式限于所例示和描述的精确结构和操作，而是可以涵盖落入其范围内的所有合适修改和等同物。