一种压靶模具的制作方法

本实用新型涉及一种模具，尤其是涉及一种压靶模具。

背景技术：

使用脉冲激光沉积、磁控溅射等设备制备氧化物、陶瓷薄膜的时候都需要靶材。一般来说，氧化物、陶瓷靶材是通过粉末压制而成。压靶模具就是将粉末压制成靶材的常用工具。在工业化生产靶材的时候，靶材的厚度要求是一定的，如何保证压制靶材的厚度均匀性是关键问题。

为了实现上述目的，人们对压靶模具进行了很多的研究和改进。其中公开号为CN 201320322140.1的中国专利公开了一种带有刻度的压靶模具，上模具杆的一端固定连接在模具把上，上模具杆远离模具把的一端固定连接在上模具的中心位置，并且上模具和下模具均安装在模具套的中心孔内，其特征在于：上模具的上模具杆上安装有刻度尺，所以在使用压靶模具的时候就可以得到具有相同厚度的靶材。但是，在使用上述压靶模具时，工作人员必须仔细观察刻度尺，以保证每次的压制都达到统一刻度，从而给工作人员带来较大的工作量。此外，使用上述模具时，需要通过肉眼来观察刻度尺，这样就会有出现误差甚至错误的情况产生。

技术实现要素：

本实用新型意在提供一种压靶模具，以降低靶材生产过程中出现的误差。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种压靶模具，包括模具套、上模具、下模具、上模具杆和模具把，所述上模具杆的一端固定连接在上模具的上表面中央，所述模具把下表面与数个中空的定位筒连接，所述定位筒壁上设有多个锁孔，锁孔在定位筒壁上沿纵向分布，每相邻两个锁孔的间隔距离相同，所述定位筒内滑动连接着一个定位杆，所述定位杆上设有沿径向的定位孔，所述定位孔与所述锁孔通过螺栓固定连接，所述定位杆远离所述模具把的一端固定连接着挡块，所述挡块与所述模具套的侧壁顶端相抵。

上述技术方案的特点是：由于定位筒壁上有距离相同的数个锁孔，通过螺栓将定位孔与不同的锁孔连接，就能制得不同厚度的靶材。又因为定位杆下端固定连接着挡块，所以在压制过程中，上模具杆向下运动就能带动挡块向下运动，直到挡块与模具套的侧壁顶端相抵。因此，在使用本实用新型提供的压靶模具时，只需要人工将定位孔与不同的锁孔连接，之后就能够保证制得的靶材具有相同的厚度。由于在生产靶材的过程中，不需要工作人员随时关注刻度尺的读数，从而能够减少工作人员的工作量。此外，本方案相比现有技术减少了肉眼的观察，因此，本实用新型提供的压靶模具能够有效地降低生产过程中出现的误差。

以下是上述方案的优选方案：

优选方案一：所述定位筒有2个，两个所述定位筒关于所述上模具杆的中轴对称。通过使用关于上模具杆中轴对称的两个定位筒，能够保证在压制过程中限位更加稳定，不会出现由于模具把一端的挡块与模具套相抵，从而造成另一端倾斜的情况。

优选方案二：所述定位筒与所述模具把下表面可拆卸连接。通过定位筒与模具把的可拆卸连接，可以使定位筒的更换和维护更加方便。此外，还可以通过更换具有不同锁孔间距的定位筒，制得之前定位筒不能压制的厚度的靶材。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构示意图；

图2为本实用新型限位装置的结构示意图。

具体实施方式

下面通过具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明：

说明书附图中的附图标记包括：模具套1、下模具2、上模具3、上模具杆4、模具把5、定位筒6、定位杆7、挡块8、锁孔9、定位孔10、螺栓11。

实施例如图1和图2所示：上模具3与下模具2套接在模具套1内，并且能够在模具套1中滑动。上模具3与模具把5通过上模具杆4连接在一起。两个定位筒6均通过螺栓与模具把5的下表面可拆卸连接，并且两个定位筒6关于上模具杆4的中轴对称。定位筒6侧壁上纵向设有5个锁孔9，每相邻两个锁孔9间的距离为1厘米。定位杆7的一端与挡块8固定连接，定位杆7上沿径向设有一个定位孔10。定位杆7滑动连接在定位筒6内。

使用时，将定位杆7上的定位孔10与定位筒6上某一锁孔9对齐，并且用螺栓11锁紧。当定位孔10与定位筒6上最上面的锁孔9锁紧时，上模具3能够向下移动到刚好与下模具2相抵。定位孔10每向下移动1厘米，压制出来的靶材厚度增加1厘米。

此外，由于定位筒6与模具把5之间通过螺栓连接，所以可以根据实际情况更换具有不同锁孔9间距的定位筒6，从而制得之前定位筒6不能压制的厚度的靶材。

以上所述的仅是本实用新型的实施例，方案中公知的具体结构和/或特性等常识在此未作过多描述。应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本实用新型结构的前提下，还可以作出若干变形和改进，这些也应该视为本实用新型的保护范围，这些都不会影响本实用新型实施的效果和专利的实用性。本申请要求的保护范围应当以其权利要求的内容为准，说明书中的具体实施方式等记载可以用于解释权利要求的内容。