专利名称：：基板的贴合方法和装置的制作方法
技术领域：
：本发明涉及适用于制造电子纸、有机EL元件等的显示面板的基板的贴合方法和装置ο
背景技术：
：作为基板的贴合方法，如专利文献1所述，存在通过基板用粘接剂使第一基板和第二基板重叠后使该基板用粘接剂固化的方法。在这种现有的基板的贴合方法中，首先，使第一基板和第二基板通过在一个基板上涂敷(也称为涂布或涂覆)的基板用粘接剂重叠。接着，重叠后的第一基板和第二基板通过进行加热、加压的固化装置即一对加热辊之间而被搬送，使基板用粘接剂固化，完成贴I=IO在现有技术中，使重叠后的第一基板和第二基板通过一对辊之间，使介于这些基板之间的基板用粘接剂固化，由此完成基板的贴合。因此，重叠后的第一基板和第二基板，可能会由于在从重叠工序至加热工序的这些基板的搬送过程中产生的振动等导致位置偏移，或由于在一对辊之间对这些基板施加的热的影响、外力的作用等导致位置偏移，进而导致这些基板的贴合位置的精度下降。专利文献1日本特开2009-2309
发明内容本发明的课题在于，在使第一基板和第二基板重叠后，通过使介于这些基板之间的基板粘接剂固化来完成这些基板的贴合时，提高这些基板的贴合位置精度。本发明的第一方面提供一种贴合基板的制造方法，在将用于制造显示面板的第一基板和第二基板通过(利用)基板用粘接剂重叠后，使该基板用粘接剂固化，由此制造贴合基板，该贴合基板的制造方法的特征在于将第一基板支承在外形尺寸比该第一基板大的第一支承部件(或称为第一支持部件)的中央区域，将第二基板支承在外形尺寸比该第二基板大的第二支承部件的中央区域，在上述第一支承部件的支承上述第一基板的支承面一侧和上述第二支承部件的支承上述第二基板的支承面一侧中的至少一方(即至少一侧)，以包围上述第一基板或第二基板的方式，涂敷与上述基板用粘接剂(的固化前的粘接力)相比固化前的粘接力(或称为粘着力)更大的支承用粘接剂，在将由上述第一支承部件支承的上述第一基板和由上述第二支承部件支承的上述第二基板重叠时，利用上述支承用粘接剂将上述第一支承部件和第二支承部件贴合。本发明的第二方面是，在本发明的第一方面中，在上述基板用粘接剂固化后，在上述第一基板和第二基板与上述支承用粘接剂之间，将第一支承部件和第二支承部件切断。本发明的第三方面是，在本发明的第一方面或第二方面中，在减压气氛下，利用支承用粘接剂将上述第一支承部件和第二支承部件贴合。本发明的第四方面是，在本发明的第三方面中，上述第一基板是显示模块基板，上述第二基板是彩色滤光片基板。本发明的第五方面提供一种贴合基板的制造方法，在将用于制造显示面板的、外周具有余白部的第一基板和第二基板通过基板用粘接剂重叠后，使该基板用粘接剂固化，由此制造贴合基板，该贴合基板的制造方法的特征在于将上述第二基板支承在外形尺寸比该第二基板大的支承部件的中央区域，在上述支承部件的支承上述第二基板的支承面一侧和上述第一基板的余白部的与上述第二基板重叠的面一侧的至少一方，以包围上述第二基板的大小，涂敷与上述基板用粘接剂相比固化前的粘接力更大的支承用粘接剂，在将上述第一基板和第二基板重叠时，利用上述支承用粘接剂将上述支承部件和上述第一基板贴I=IO本发明的第六方面是，在本发明的第五方面中，在上述基板用粘接剂固化后，在上述第二基板与上述支承用粘接剂之间，将支承部件和上述第一基板切断。本发明的第七方面是，在本发明的第五方面或第六方面中，在减压气氛下，利用支承用粘接剂将上述支承部件和上述第一基板贴合。本发明的第八方面是，在本发明的第七方面中，上述第一基板是显示模块基板，上述第二基板是彩色滤光片基板。本发明的第九方面提供一种贴合基板的制造装置，在将用于制造显示面板的第一基板和第二基板通过基板用粘接剂重叠后，使该基板用粘接剂固化，由此制造贴合基板，该贴合基板的制造装置的特征在于，包括第一基台，其支承外形尺寸比上述第一基板的外形尺寸大的第一支承部件，在该第一支承部件的中央区域支承上述第一基板；第二基台，其支承外形尺寸比上述第二基板的外形尺寸大的第二支承部件，在该第二支承部件的中央区域支承上述第二基板；驱动部，其使上述第一基台和第二基台在相对地接近或远离的方向上移动；和控制部，其控制驱动部，以使上述第一基台和第二基台接近地移动，由此在将上述第一基板和上述第二基板重叠时，利用以包围上述第一基板或第二基板的方式涂敷在上述第一支承部件的支承上述第一基板的支承面一侧和上述第二支承部件的支承上述第二基板的支承面一侧中的至少一方的、与上述基板用粘接剂相比固化前的粘接力更大的支承用粘接剂，将上述第一支承部件和第二支承部件贴合。本发明的第十方面是，在本发明的第九方面中，还包括切除装置，该切除装置在上述基板用粘接剂固化后，在上述第一基板和第二基板与上述支承用粘接剂之间，将上述第一支承部件和第二支承部件切断。本发明的第十一方面是，在本发明的第九方面或第十方面中，还包括能够减压的腔室，该腔室能够在减压气氛下，利用支承用粘接剂将上述第一支承部件和第二支承部件贴合。本发明的第十二方面是，在本发明的第十一方面中，上述第一支承部件和上述第二支承部件中的至少一方由柔性膜形成。本发明的第十三方面是，在本发明的第十二方面中，支承由上述柔性膜形成的支承部件的上述基台，在与该支承部件的涂敷支承用粘接剂的部分对应的部分，设置有高度比与该支承部件的其它部分对应的部分高的支承面。本发明的第十四方面是，在本发明的第十三方面中，上述第一基板是显示模块基板，上述第二基板是彩色滤光片基板。本发明的第十五方面提供一种贴合基板的制造装置，在将用于制造显示面板的、外周具有余白部的第一基板和第二基板通过基板用粘接剂重叠后，使该基板用粘接剂固化，由此制造贴合基板，该贴合基板的制造装置的特征在于，包括支承上述第一基板的第一基台；第二基台，其支承外形尺寸比上述第二基板的外形尺寸大的支承部件，在该支承部件的中央区域支承上述第二基板；驱动部，其使上述第一基台和第二基台在相对地接近或远离的方向上移动；和贴合装置，其控制驱动部，以使上述第一基台和第二基台接近地移动，由此，在将上述第一基板和第二基板重叠时，利用以包围上述第二基板的大小涂敷在上述第一基板的余白部的与上述第二基板重叠的面一侧和上述支承部件的支承上述第二基板的支承面一侧中的至少一方的、与上述基板用粘接剂相比固化前的粘接力更大的支承用粘接剂，将上述支承部件和上述第一基板贴合。本发明的第十六方面是，在本发明的第十五方面中，还包括切除装置，该切除装置在上述基板用粘接剂固化后，在上述第二基板与上述支承用粘接剂之间，将支承部件和上述第一基板切断。本发明的第十七方面是，在本发明的第十五方面或第十六方面中，还包括能够减压的腔室，该腔室能够在减压气氛下，利用支承用粘接剂将上述支承部件和上述第一基板贴合。本发明的第十八方面是，在本发明的第十七方面中，上述支承部件由柔性膜形成。本发明的第十九方面是，在本发明的第十八方面中，上述第一基板是显示模块基板，上述第二基板是彩色滤光片基板。发明的效果根据本发明，能够在将用于制造显示面板的第一基板和第二基板重叠后，通过使介于这些基板之间的基板用粘接剂固化而完成这些基板的贴合时，提高基板的贴合位置精度。图1是表示显示面板制造生产线的示意图。图2是表示实施例1的基板的贴合方法的示意图。图3是表示第一基板的贴合准备工序的示意图。图4是表示第二基板的贴合准备工序的示意图。图5是表示将第一基板和第二基板设置到贴合装置的工序的示意图。图6是表示贴合装置中进行的第一基板和第二基板的重叠工序的示意图。图7是表示利用支承用粘接剂进行临时固定工序的示意图。图8是表示利用固化装置进行基板用粘接剂的固化的工序的示意图。图9是表示利用切除装置进行基板模块的取出的工序的示意图。图10是表示实施例2的基板的贴合方法的示意图。图11是表示实施例3的基板的贴合方法的示意图。图12㈧、⑶是表示基板的贴合准备工序的示意图。图13是表示贴合装置的变形例的示意图。附图标记的说明1第一基板2第二基板3基板用粘接剂4基板模块5第一支承部件6第二支承部件8支承用粘接剂11减压泵12腔室20第一基台22弹性支承部件23弹性凸部23A高阶差支承面30第二基台32静电保持部件40摄像单元50气体供给源100重叠装置200固化装置300切除装置具体实施例方式(实施例1)(图1图9)图1所示的显示面板制造生产线，将第一基板1和第二基板2通过(隔着)涂敷在第一基板1上形成的膜状的基板用粘接剂3重叠，然后使基板用粘接剂3固化(通过使溶剂蒸发来实现的固化以及通过化学反应而实现的固化)，由此组装基板模块4，该生产线具有重叠装置100、固化装置200和切除装置300。重叠装置100，在将第一基板1和第二基板2分别支承在第一支承部件5和第二支承部件6的中央区域的状态下，通过设置于第一基板1的基板用粘接剂3，以规定的位置重叠精度将第一基板1和第二基板2重叠。固化装置200，使被重叠装置100重叠的基板1、2之间的基板用粘接剂3固化。切除装置300，在固化装置200使基板用粘接剂3固化后，将第一支承部件5和第二支承部件6在比支承第一基板1和第二基板2的中央区域更靠外侧的外周部进行切除，取出基板模块4。另外，此处，第一基板1是显示模块基板，该显示模块基板具有呈矩阵状地配置有多个微囊(microcapsule，也称为微小容器)的电泳片和与微囊对应地形成有开关元件的元件基板，该微囊封入有电泳粒子。另外，第二基板2是彩色滤光片基板。另外，此处，第一支承部件5和第二支承部件6的支承有第一基板1、第二基板2的区域是中央区域。并且，外周部是比中央区域更靠外侧的至第一支承部件5和第二支承部件6的外边缘为止的区域。第一支承部件5、第二支承部件6具有比第一基板1、第二基板2大的外形尺寸(轮廓)，第一基板1、第二基板2按照各自的中央分别与第一支承部件5和8第二支承部件6—致的方式被支承。另外，该实施例中，第一基板1和第二基板2的大小相同，第一支承部件5和第二支承部件6的大小相同。重叠装置100如图2所示，具有用减压泵11减压的腔室12。S卩，腔室12内由减压泵11减压至规定的压力，例如1左右。在腔室12的一侧形成有由闸部件13开闭的出入口14，由第一支承部件5支承的上述第一基板1和由第二支承部件6支承的第二基板2从该出入口14出入(放入取出)。上述腔室12内设置有第一基台20。该第一基台20由第一驱动源21在X、Y和θ方向上驱动。支承涂敷有基板用粘接剂3的上述第一基板1的第一支承部件5，以使第一基板1的支承面向上的方式，隔着(通过)弹性支承部件22被支承在第一基台20的保持面(上表面)上。在第一基台20的上方，设置有第二基台30。该第二基台30，被第二驱动源31在相对第一基台20接近或远离的Z方向上驱动。在第二基台30的下表面的保持面，隔着静电保持部件32，利用静电力保持支承上述第二基板2的第二支承部件6。另外，各基台20、30的保持面的面积形成为比支承基板1、2的支承部件5、6的面积稍大。并且，第二基台30对基板2的保持并不限于利用静电保持部件32，也可以利用真空吸附保持部件、粘接保持部件等其它的保持部件。通过第一支承部件5和第二支承部件6保持在第一基台20和第二基台30(上)的第一基板1和第二基板2，其四角部分别被设置在上述腔室12的下方的4组摄像单元40(只图示2组)拍摄。各摄像单元40包括粗对位用的第一摄像相机41；和摄像倍率比该第一摄像相机41高的精密对位用的第二摄像相机42。各摄像单元40的第一、第二摄像相机41、42由具有Χ、Υ和Z平台(table)的定位装置43在X、Y和Z方向上驱动，各定位装置43设置在配置于上述腔室12的下方的载置板44上。上述腔室12的底壁的至少与各定位装置43相对的部位形成为透明窗45。在配置于上述腔室12内的第一基台20和弹性支承部件22的与上述透明窗45对应的部位，形成有空洞部46，使得能够通过上述第一、第二摄像相机41、42拍摄通过第一支承部件5(支承部件5由透光性的材料形成，优选由透明材料形成)保持在第一基台20、弹性支承部件22的保持面上的第一基板1的四角部、且通过上述第一、第二摄像相机41、42隔着该第一基板1拍摄保持在上述第二基台30的保持面上的第二基板2的四角部。在上述第一基板1和第二基板2的外侧的四角部，分别设置有未图示的粗对位标记和精密对位标记。通过使各基板1、2的粗对位标记一致，能够对第一基板1和第二基板2进行粗对位，通过使各精密对位标记一致，能够对一对基板1、2进行精密对位。其中，为了拍摄第一、第二基板1、2的图像，在第一基台20和弹性支承部件20形成有空洞部46，但也可以不形成空洞部46，而使第一基台20和弹性支承部件22整体由透明的材料形成。第一摄像相机41和第二摄像相机42的摄像信号被输入到未图示的图像处理部。图像处理部对输入的摄像信号使用公知的图像处理技术进行处理，计算各基板1、2的对位标记的相位的位置偏移。即，图像处理部对第一摄像相机41的摄像进行图像处理，对第一基板1的粗对位标记与第二基板2的粗对位标记进行图像识别，计算两标记的相对的位置偏移(偏差)。另外，图像处理部对第二摄像相机42的摄像进行图像处理，对第一基板1的精密对位标记与第二基板2的精密对位标记进行图像识别，计算两标记的相对的位置偏移。图像处理部将计算结果发送到设置于控制装置47的未图示的运算处理部。在运算处理部中，根据由图像处理部计算出的分别设置在第一基板1和第二基板2的四角部的各一对的粗对位标记或精密对位标记的相对的位置偏移，计算这些基板1、2的X、Y和θ方向上的相对的位置偏移。当通过上述运算处理部计算出一对基板1、2的位置偏移时，将该位置偏移存储在设置于控制装置47的未图示的存储部中，也向驱动部(同样未图示)输出。由此，驱动部向驱动第一基台20的第一驱动源21输出驱动信号，将上述第一基板20在X方向、Y方向和θ方向上驱动，将第一基板1和第二基板2对位。第一基板1和第二基板2的对位，通过基于来自第一摄像相机41的摄像信号的粗对位和基于来自第二摄像相机42的摄像信号的精密对位来进行。另外，在进行第一基板1和第二基板2的粗对位和精密对位时，第一基板1和第二基板2的间隔可以相同，也可以与粗对位相比，在基板1、2的间隔更近时进行精密对位。第一基板1和第二基板2的间隔，由上述控制装置47的驱动部控制上述第二驱动源31来进行。在上述腔室12，通过流量调整阀51连接有供给氮等被加压后的气体的气体供给源50。通过调整流量调整阀51的开度来调整向腔室12内供给的气体的流量，能够使通过减压泵11减压后的腔室12内的压力基于规定的上升曲线上升。上述流量调整阀51的开度由上述控制装置47的驱动部调整。以下，对使用重叠装置100、固化装置200和切除装置300制造由第一基板1和第二基板2形成的基板模块4的方法，连同这些装置结构一起进行说明。(1)第一基板1的贴合准备工序(图3)在第一基板1的上表面预先涂敷基板用粘接剂3形成基板用粘接剂3的膜，并通过双面粘接胶带等将该第一基板1的下表面(设置有基板用粘接剂3的面的相反侧的面)载置在具有比第一基板1的轮廓大的轮廓的第一支承部件5上进行支承(图3(A))。在本实施例中，基板用粘接剂3具有被加热后固化的热固化性，由于粘度低等原因，常温下不发挥粘接性或粘接性极弱。另外，第一支承部件5由透光性的柔性膜(即可挠性膜)形成。另外，此处，就基板用粘接剂3而言，既可以涂敷液状或膏状的粘接剂，也可以贴附片状的粘接剂。另外，在形成基板用粘接剂3的膜之前，可以使第一支承部件5的内周部支承第一基板1。在第一支承部件5的外周部，以涂敷装置7吐出的支承用粘接剂8在周方向上呈环状地相连的方式涂敷该支承用粘接剂8(图3(B),(O)0在本实施例中，支承用粘接剂是通过紫外线照射而硬化的UV硬化型(UV固化型)粘接剂。另外，支承用粘接剂8是具有硬化(固化)前的状态下的粘接力比基板用粘接剂3更大的特性的粘接剂。(2)第二基板2的贴合准备工序(图4)通过双面粘接胶带等将第二基板2的下表面(与第一基板1贴合的面的相反侧的面)载置在具有比第二基板2的轮廓大的轮廓的第二支承部件6的内周部进行支承(图4)。其中，第二支承部件6由透光性的玻璃基板或树脂基板形成。(3)将上述(1)的第一基板1和上述O)的第二基板2设置到重叠装置100的工序(图5)将支承第一基板1的第一支承部件5载置在重叠装置100的腔室12内的第一基台20的弹性支承部件22上加以支承。第一支承部件5通过摩擦力由第一基台20的弹性支承部件22保持。此时，在本实施例中，由于上述(1)中在第一支承部件5的外周部涂敷的支承用粘接剂8的涂敷高度比第一基板1和第二基板2的总板厚小，所以在支承第一支承部件5的第一基台20的弹性支承部件22的外周部中、与该第一支承部件5的涂敷支承用粘接剂8的部分对应的外周部，设置具有高阶差支承面23A的框状的弹性凸部23。由此，第一支承部件5中涂敷有支承用粘接剂8的部分的下表面由弹性凸部23支承，在第一支承部件5的支承第一基板1的部件的下表面，形成高阶差支承面23A的阶差高度的空隙。利用后述(4)的由柔性膜形成的第一支承部件5的挠曲来补足支承用粘接剂8的上述涂敷高度的不足。另外，此处在弹性凸部23处的高阶差支承面23A，沿着弹性凸部23的框形状形成有多个未图示的真空吸附孔，能够真空吸附第一支承部件5的周缘部。另外，也可以将弹性支承部件22的位于弹性凸部23的内侧的上表面形成为与弹性凸部23的高阶差支承面23A相同的高度，在第一支承部件5的下表面与弹性支承部件22的上表面之间不形成空隙。此时，可以利用比弹性凸部23更软的弹性材料来形成弹性支承部件22，使得在如后所述将第一基板1与第二基板2重叠时，弹性支承部件22的与第一基板1对应的支承面能够相对于高阶差支承面23A下陷。另一方面，将支承第二基板2的第二支承部件6静电吸附于重叠装置100的腔室12内的第二基台30的静电保持部件32加以保持。接着，将如上所述支承于第一基台20的第一基板1与如上所述支承于第二基台30的第二基板2的重叠位置对位。S卩，控制装置47的运算处理部，根据摄像单元40的第一摄像相机41或第二摄像相机42拍摄的第一基板1和第二基板2的四角部的各一对的粗对位标记或精密对位标记的摄像信号，计算这些基板1、2的X、Y和θ方向上的相对的位置偏移。控制装置47的驱动部，以消除该位置偏移的方式在X方向、Y方向和θ方向上驱动第一基台20，对第一基板1和第二基板2进行对位。(4)重叠装置100进行的第一基板1和第二基板2的重叠工序(图6)通过控制装置47的驱动部将第二基台30在Z方向(下方向)上驱动，使第一基板1和第二基板2以上述(3)的对位状态重叠，并通过支承用粘接剂8贴合第一支承部件5和第二支承部件6。由此，第一基板1和第二基板2构成夹在第一支承部件5和第二支承部件6之间并被保持的基板模块4。另外，泵腔室12内从第一基板1和第二基板2的上述重叠前起已通过减压泵11被减压，在该减压气氛下，将第一基板1和第二基板2重叠，并利用支承用粘接剂8将第一支承部件5和第二支承部件6贴合。由此，将重叠第一基板1和第二基板2而形成的基板模块4夹在第一支承部件5和第二支承部件6之间，密封在由第一支承部件5、第二支承部件6和支承用粘接剂8形成的减压气氛中。此时，由柔性膜形成的第一支承部件5与所述(3)的支承用粘接剂8的涂敷高度不足的量相应地被压入第一基台20的由弹性支撑部件22的高阶差支撑面23Α所包围的内周侧阶差部，与相对的第二支承部件6通过支撑部用粘接剂8被粘接而被贴合。即，重叠装置100作为第一、第二支撑部件5、6的贴合装置发挥功能。将第一基板1和第二基板2夹在第一支承部件5和第二支承部件6之间加以保持的基板模块4构成之后，利用从气体供给源50供给的气体，腔室12内返回到大气压。由此，构成基板模块4的第一基板1和第二基板2在受到大气的外压的第一支承部件5和第二支承部件6之间被牢固地重叠并被保持，可靠地维持所述(3)的对位状态。(5)支承用粘接剂8的硬化工序(图7)解除第二基台30的静电保持部件32进行的静电保持，使构成基板模块4的第二支承部件6离开第二基台30的静电保持部件32，使第二基台30上升。接着，将间部件13打开，从出入口14取出基板模块4，搬送至位于与固化装置200之间的UV照射位置。另外，第二基台30的静电保持部件32进行的静电保持的解除，也可以在将第一基板1和第二基板2重叠之后进行，即，也可以在将第一支承部件5和第二支承部件6贴合后，至从气体供给源50向腔室12内开始供给气体为止的期间内进行。在UV照射位置，利用未图示的紫外线照射装置，从基板模块4的上方向整个基板模块4进行紫外线照射，支承用粘接剂8固化(硬化)。此时，为了防止紫外线照射到第一基板1、第二基板2、以及两基板1、2之间的基板粘接剂3，在基板模块4中与第一基板1、第二基板2、两基板1、2之间的基板粘接剂3对应的部分配置掩膜(mask遮蔽物)9。由此，使第一支承部件5和第二支承部件6夹持第一基板1和第二基板2的保持状态牢固，可靠地维持所述(3)的第一基板1和第二基板2的对位状态。(6)采用固化装置200进行的基板用粘接剂3的固化工序(图8)将基板模块4搬送至固化装置200，在固化装置200的加热炉201内对基板模块4进行加热，并且将基板模块4的第一基板1和第一支承部件5以及第二基板2和第二支承部件6夹在加压部件202与支承台203之间利用加压部件202加压，对第一基板1和第二基板2之间的基板用粘接剂3进行加热、加压并使之固化。由此，第一基板1和第二基板2保持在所述(3)的重叠装置100被重叠的位置精度的状态被贴合，构成基板模块4的第一基板1和第二基板2的贴合位置精度被提高。(7)采用切除装置300进行的基板模块4的取出工序(图9)在利用固化装置200使基板用粘接剂3固化后的基板模块4中，将第一支承部件5和第二支承部件6的外周部与支承用粘接剂8一并切除。具体来说，在第一支承部件5和第二支承部件6的外周部的、所述第一基板和第二基板与所述支承用粘接剂之间，沿着其外周边预先设定切断除去线(图9的C表示切断除去线)。使具有未图示的切断机构的进行旋转驱动的圆盘状的切断齿，沿着预先设定的切断除去线移动，将第一支承部件5和第二支承部件6的、比切断除去线靠外侧的部分与支承用粘接剂8—并切除。由此，基板模块4被取出，将第一支承部件5从第一基板1剥离，将第二支承部件6从第二基板2剥离，完成基板模块4。采用本实施例起到以下的作用效果。(a)在重叠装置100中，将第一基板1和第二基板2对位并进行重叠时，利用支承用粘接剂8将对第一基板1进行支承的第一支承部件5和对第二基板2进行支承的第二支承部件6贴合。第一基板1和第二基板2通过在固化前的状态下粘度(粘接力)比基板用粘接剂3高的支承用粘接剂8被牢固地贴合。因此，通过重叠装置100被对位并被重叠的第一基板1和第二基板2，被夹持在第一支承部件5和第二支承部件6之间并被保持，该第一支承部件5和第二支承部件6比第一基板1和第二基板2之间被更牢固地粘接在相互之间无位置偏离的状态。由此，第一基板1和第二基板2在第一支承部件5和第二支承部件6之间重叠保持为无位置偏离的状态，即使介于两基板1、2之间的粘接剂3由于粘度低等原因在被加热前不发挥粘接力的情况下，在被搬送到用于对涂敷在这些基板1、2之间的基板用粘接剂进行固化的固化装置200时，即使受到震动等位置也不偏离，在固化装置200中即使受到对基板1、2所施加的热量的影响、外力的作用等也无位置偏离，能够使基板用粘接剂3固化并完成贴合。因此，在保持基板1、2在重叠装置100中被重叠的对位精度的状态完成贴合时，能够提高基板1、2的贴合对位精度，提高由基板1、2构成的面板品质。具体来说，在制造电子纸时，利用重叠装置高精度地对作为显示模块部的第一基板1和作为彩色滤光片基板的第二基板2进行对位并加以重叠之后，直至利用固化装置200使介于两基板1、2之间的粘接剂3固化为止的期间内，因为两基板1、2之间的对位状态被维持，所以能够将彩色滤光片基板高精度地粘接固定在显示模块部。因此，能够得到显示品质良好的电子纸，该电子纸能够防止由彩色滤光片基板的位置偏离引起的显示色不均(显示色斑)等。(b)在减压气氛下，利用支承用粘接剂8将第一支承部件5和第二支承部件6贴合。因此，在减压气氛下利用支承用粘接剂8将第一支承部件5和第二支承部件6贴合的结果是，如上述(a)那样将第一基板1和第二基板2夹在第一支承部件5和第二支承部件6之间加以保持而构成基板模块4，在减压气氛下密封该基板模块4。然后，腔室12内返回至大气压，即使第一支承部件5和第二支承部件6等暴露在大气下，被夹持在第一支承部件5和第二支承部件6之间的第一基板1和第二基板2依然被密封在减压气氛下，基板1、2在受到大气的外压的第一支承部件5和第二支承部件6之间进一步被牢固地重叠并被保持，位置不偏离，直至如上述(a)那样完成贴合，提高其贴合位置精度。(c)第一支承部件5由柔性膜构成。由柔性膜构成的支承部件5陷入(进入)到如上述(a)、(b)那样被夹持的基板1的外周角和外周面地密封，能够进一步牢固地重叠并保持这些基板1、2。(d)对支承部件5进行支承的第一基台20上设置有弹性支承部件22的弹性凸部23。在对支承部件5进行支承的第一基台20的保持面(上表面)上有变形(歪曲)时，弹性支承部件22的弹性凸部23吸收该变形。因此，重叠装置100能够通过第一和第二基台20、30，对第一基板1、第二基板2及这些基板1、2之间的基板用粘接剂3、以及第一支承部件5和第二支承部件6的整个面均勻地施加重叠负荷、贴合负荷，能够提高包括这些基板1、2的面板的品质。(e)在对由柔性膜构成的支承部件5进行支承的第一基台20的外周部，即在与盖支承部件5的涂敷支承用粘接剂8的部分对应的外周部，设置高阶差支承面23A。因此，在利用涂敷在第一支承部件5和第二支承部件6的外周部的支承用粘接剂8包围第一基板1和第二基板2时，当支承用粘接剂8的涂敷高度小于第一基板1和第二基板2的合计板厚(总板厚)时，能够利用由柔性膜构成的支承部件5的弯曲补充支承用粘接剂8的涂敷高度的不足。由柔性膜构成的支承部件5，与支承用粘接剂8的涂敷高度不足的量相应地，被压入对该支承部件5进行支承的第一基台20的外周部的高阶差支承面23A所包围的内周侧阶差部，通过支承用粘接剂8与相对的另一方的第二支承部件6贴合。因此，能够利用支承用粘接剂8更加可靠地粘接第一支承部件5和第二支承部件6。(f)基板用粘接剂3具有热固化性。将在重叠装置100中如上述的方式重叠并保持的第一基板1和第二基板2搬送至固化装置200，对涂敷在这些基板1、2之间的基板用粘接剂3进行加热、加压并进行固化。保持这些基板1、2在重叠装置100中被重叠的对位精度完成贴合。(g)基板用粘接剂3固化后，切除第一支承部件5的外周部和第二支承部件6的外周部，能够将以高的贴合位置精度贴合的基板模块4提供给显示用面板等。另外，在实施例1中，虽然在第一支承部件5的外周部涂敷支承用粘接剂8，但是支承用粘接剂8也可以涂敷在第一支承部件5和/或第二支承部件6的外周部。(实施例2)(图10)图10所示的实施例2与实施例1不同之处是，在重叠装置100中，将第一基台20的弹性支承部件22上的弹性凸部23撤去，第一支承部件5的整个下表面与形成为平面的弹性支承部件22的上表面相接并被该弹性支承部件22支承。(实施例3)(图11、12)图11、图12所示的实施例3与实施例1的不同之处是，仅使用1个支承部件6(也可以仅使用支承部件幻。即，第一基板1被形成为其外形大于第二基板2的外形，从第二基板2伸出的部分是制造上使用的余白部，是作为制品所不需要的部分。在使用与实施例1相同的重叠装置100时，重叠装置100能够在第二基台30(具有静电保持部件3对支承部件6进行支承，该支承部件6对第二基板2进行支承，并且该重叠装置100能够在第一基台20直接对第一基板1进行支承。另外，在第一基板1的外周部(余白部)涂敷有支承用粘接剂8(也可以在支承部件6的外周部涂敷支承用粘接剂8)。在重叠装置100中，将第一基板1和第二基板2重叠时，将第一基板1支承在第一基台20上，并且将支承部件6支承在第二基台30上，利用支承用粘接剂将第一基板1和支承部件6贴合。采用本实施例能够起到以下的作用效果。在重叠装置100中，将第一基板1和第二基板2对位并重叠时，利用支承用粘接剂8将第一基板1和对第二基板2进行支承的第二支承部件6贴合。因此，通过重叠装置100被对位并被重叠的第一基板1和第二基板2构成为将第二基板2夹持并保持在第一基板1和支承部件6之间，其中，该第一基板1和支承部件6通过支承用粘接剂8被粘接在比第一基板1和第二基板2之间更牢固且相互之间没有位置偏离的状态，在固化前的状态下，支承用粘接剂8的粘度(粘接力)比基板用粘接剂3的高。由此，第一基板1和第二基板2在第一基板1和第二支承部件6之间被重叠保持在不会使第二基板2发生位置偏离的状态，在被搬送到用于对涂敷在这些基板1、2之间的基板用粘接剂3进行固化的固化装置200时，即使受到震动等位置也不偏离，在固化装置200中即使受到对这些基板1、2施加的热量的影响、外力的作用等位置也无偏离，使基板用粘接剂3固化，从而完成贴合。因此，能够使这些基板1、2在重叠装置100中保持重叠对位精度地完成贴合，能够提高基板1、2的贴合对位精度，提高由这些基板1、2构成的面板的品质。具体来说，在制造电子纸时，利用重叠装置将作为显示模块部的第一基板1和作为彩色滤光片基板的第二基板2高精度地对位并进行重叠之后，至利用固化装置200使介于两基板1、2之间的粘接剂3固化为止的期间，因为两基板1、2之间的对位状态被维持，所以能够将彩色滤光片基板高精度地粘接固定在显示模块部。因此，能够得到能够防止由于彩色滤光片的位置偏离导致的显示色不均等的显示品质良好的电子纸。而且，即使是实施例3，也能够在重叠装置100的腔室12内，在减压气氛下，利用支承用粘接剂8将第一基板1和支承部件6贴合。起到与实施例1的所述(b)相同的作用效^ο另外，支承部件6也能够是由柔性膜构成的部件。起到与实施例1的所述(C)相同的作用效果。另外，在对支承部件6进行支承的台30上也能够设置弹性支承面。起到与实施例1的所述(d)相同的作用效果。另外，能够在对由柔性膜构成的支承部件6进行支承的基台30的外周部，即在与该支承部件6的涂敷支承用粘接剂8的部分对应的外周部，设置高阶差支承面。起到与实施例1的所述(e)相同的作用效果。另外，也能够使涂敷在第一基板和第二基板之间的基板用粘接剂3具有热固化性，设置使基板用粘接剂3固化的加热固化装置200。采用与实施例1相同的固化装置200，起到与所述(f)相同的作用效果。另外，也能够设置切除装置300，在利用固化装置200使基板用粘接剂3固化后，利用该切除装置300将支承部件6的外周部和第一基板1的外周部切除。采用与实施例1相同的固化装置300，起到与所述(g)相同的作用效果。(实施例4)实施例4与实施例1的不同之处是，采用由改善基板模块4的光学特性的光学树脂形成的粘接剂作为基板用粘接剂3。由光学树脂形成的基板用粘接剂3是由于紫外线的照射而固化的UV硬化型(UV固化型)，通过紫外线照射装置被固化。基板用粘接剂3在由光学树脂形成的情况下，由于粘度低等原因，基板用粘接剂3在常温下不发挥粘接性或其粘接性非常弱，既可以涂敷为液体状或膏状，也可以是粘贴为片状的方式。因此，在实施例4中，能够采用重叠装置100、紫外线照射装置和切除装置300(不要具有加热炉的固化装置200)，以实施例1的(1)(5)、(7)的结构制造包括第一基板1和第二基板2的基板模块4。另外，在实施例1的(5)中，在紫外线照射装置使UV固化型的支承用粘接剂8固化时，同样由UV固化型的光学树脂构成的本实施例的基板用粘接剂3也同时进行固化。然后，通过实施例1的(7)的切除装置300，将第一支承部件5和第二支承部件6的外周部与支承用粘接剂8—起切除，取出基板模块4，将第一支承部件5从第一基板1剥离，将第二支承部件6从第二基板2剥离，完成基板模块4。而根据本实施例，在重叠装置100中，将第一基板1和第二基板2对位并重叠时，利用支承用粘接剂8将对第一基板1进行支承的第一支承部件5和对第二基板2进行支承的第二支承部件6贴合。第一基板1和第二基板2通过支承用粘接剂8被牢固地贴合，其中，该支承用粘接剂8与基板用粘接剂3相比，在固化前的状态下粘度(粘接力)更高。因此，通过重叠装置100被对位并被重叠的第一基板1和第二基板2被夹持在第一支承部件5和第二支承部件6之间并被保持，该第一支承部件5和第二支承部件6被粘接在与第一基板1和第二基板2相比更牢固地粘贴且相互之间无位置偏离的状态。由此，第一基板115和第二基板2在第一支承部件5和第二支承部件6之间重叠保持在无位置偏离的状态，即使在介于两基板1、2之间的粘接剂3由于粘度低等原因不发挥粘接力的情况下，被搬送到用于对涂敷在这些基板1、2之间的基板用粘接剂3进行UV硬化的紫外线照射装置时，即使受到震动等位置也不偏离，在通过紫外线照射装置对粘接剂3施加的紫外线的照射而硬化的过程中，即使该粘接剂3收缩等，基板1、2的位置也不偏离，使基板用粘接剂3固化，从而完成贴合。因此，能够使基板1、2保持在重叠装置100中被重叠的对位精度完成贴合，能够提高基板1、2的贴合对位精度，提高包括基板1、2的面板的品质。具体来说，在制造电子纸时，利用重叠装置高精度地将作为显示模块部的第一基板1和作为彩色滤光片基板的第二基板2对位并进行重叠之后，在通过固化装置200使介于两基板1、2之间的粘接剂3固化为止的期间，因为两基板1、2之间的对位状态被维持，所以能够将彩色滤光片基板高精度地粘接固定在显示模块部。因此，能够得到能够防止由于彩色滤光片的位置偏离导致的显示色不均等的显示品质良好的电子纸。另外，在减压气氛下，利用支承用粘接剂8将第一支承部件5和第二支承部件6贴合。因此，在重叠装置100的减压气氛下利用支承用粘接剂8将第一支承部件5和第二支承部件6贴合的结果是，如上所述那样将第一基板1和第二基板2夹持在第一支承部件5和第二支承部件6之间而形成基板模块4，且将该基板模块4密封在减压气氛下。之后，腔室12内返回至大气压，即使第一支承部件5和第二支承部件6等暴露在大气下，被夹持在第一支承部件5和第二支承部件6之间的第一基板1和第二基板2依然被密封在减压气氛下，因此这些基板1、2在受到大气的外压的第一支承部件5和第二支承部件6之间被更牢固地重叠保持，位置不偏离，直至如上所述那样完成贴合，能够提高第一基板1和第二基板2的贴合位置精度。另外，通过使基板用粘接剂3具有UV固化性，将在重叠装置100中如上述那样重叠保持的第一基板1和第二基板2搬送至紫外线照射装置，使涂敷在这些基板1、2之间的基板用粘接剂3进行UV硬化并固化。使这些基板1、2保持在重叠装置100中被重叠的对位精度地完成贴合。以上，虽然根据附图对本发明的实施例进行了详细说明，但是本发明的具体的结构并不被限定于该实施例，在不脱离本发明的趣旨的范围内进行的设计的变更等也包含于本发明。例如，在实施例1中，虽然在弹性支承部件22上设置有弹性凸部23，但是也可以将两者独立地设置。例如，以与第一支承部件5上的支承用粘接剂8的涂敷位置对应的矩阵框形状的形状设置规定高度的弹性凸部23，在弹性凸部23的框区域的内侧设置由比弹性凸部23更柔软的弹性材料形成的弹性支承部件22。通过采用这种结构，在通过第二基台30的下降，第二基板2隔着基板用粘接剂3被按压在第一基板1上时，即使弹性支承部件22被压垮，也由于弹性凸部23与弹性支承部件22被独立地形成，且第一支承部件5由柔性膜构成，因此弹性凸部23不会被压垮而维持原来的形状。因此，即使在涂覆在第一支承部件5上的支承用粘接剂8的涂敷高度小于两基板1、2的合计板厚(总板厚)的情况下，也能够可靠地使支承用粘接剂8接触第二支承部件6并进行粘接。另外，也可以利用弹性材料代替弹性支承部件22，利用弹簧22S等弹性支承具有对第一支承部件5进行支承的支承面的、能够升降的平板22P(图13)。另外，在使第一支承部件5的下表面或第一基板1的下表面接触弹性支承部件22的上表面进行支承的情况下，也可以在弹性支承部件22的上表面设置真空吸附孔等吸附机构。另外，虽然在减压气氛下进行第一基板1和第二基板2的重叠以及第一支承部件5和第二支承部件6的粘接，但是并不限制于此，也可以在大气压下进行。即使在这种情况下，重叠的第一基板1和第二基板2之间的对位状态，通过被支承用粘接剂8粘接的第一支承部件5和第二支承部件6被维持，因此，在由固化装置200使基板用粘接剂3固化为止的期间内，能够防止重叠的第一基板1和第二基板2之间的对位状态被损坏。另外，在大气压下进行第一基板1和第二基板2的重叠时，支承用粘接剂8不需要连续涂敷为封闭环状，只要能够得到能够防止第一基板1和第二基板2的位置偏离的程度的粘接力即可，因此也可以断续地进行涂敷。另外，虽然对支承用粘接剂8为UV(紫外线)硬化型的粘接剂的例子进行了说明，但是并不限制于此，只要在固化前的状态下具有比基板用粘接剂高的粘度(粘接性)即可，因此也可以是热固化性的粘接剂、热UV并用硬化型等。例如，在上述的实施例1中，在使支承用粘接剂8为热固化性的情况下，省略在工序(5)中所示的支承用粘接剂8的硬化工序，在工序(6)中与基板用粘接剂3的固化同时进行支承用粘接剂8的固化。即使是这种情况下，也因为支承用粘接剂8具有比基板用粘接剂3高的粘度(粘接性)，所以能够利用其粘接力防止第一支承部件5和第二支承部件6之间的位置偏离，因此也能够防止夹在第一支承部件5和第二支承部件6之间的第一基板1和第二基板2间的位置偏离，能够防止在从重叠开始到基板用粘接剂3被固化为止的期间在搬送中等第一基板1和第二基板2之间的对位状态被破坏。另外，在重叠装置100中，也可以设置支承用粘接剂8的临时硬化用UV照射机构。例如，可以在第一基台20或第二基台30的与支承用粘接剂8的涂敷位置对应的一个位置或多个位置设置连接UV光源的UV照射口，在将第一基板1和第二基板2重叠后，且在解除静电保持部件32对第二支承部件6的保持之前，从UV照射口向支承用粘接剂8照射紫外线，使支承用粘接剂8部分硬化。另外，也可以与支承用粘接剂8的涂敷位置的整个区域对应地配置UV照射口，能够使支承用粘接剂8的整个区域固化，代替配置在重叠位置100和固化装置200之间的紫外线照射装置。另外，虽然以热固化性的例子对位于第一基板1和第二基板2之间的基板用粘接剂3进行了说明，但是也能够使用通过紫外线的照射而固化的UV硬化性的粘接剂和/或由于加压而固化的加压固化性的粘接剂等。另外，在实施例14中，虽然在第一基板1和第二基板2中的至少一方设置有支承部件，但是在第一基板1和第二基板2双方在其外周部具有余白部等作为制品不需要的部分的情况下，也可以使用第一基板1和第二基板2双方的余白部作为支承部件。产业上的可利用性采用本发明，在将用于制造显示面板的第一基板和第二基板对位并重叠后，通过对介于这些基板之间的基板用粘接剂进行固化，在完成这些基板的贴合时，能够提高这些基板的贴合位置精度。权利要求1.一种贴合基板的制造方法，在将用于制造显示面板的第一基板和第二基板通过基板用粘接剂重叠后，使该基板用粘接剂固化，由此制造贴合基板，该贴合基板的制造方法的特征在于将第一基板支承在外形尺寸比该第一基板大的第一支承部件的中央区域，将第二基板支承在外形尺寸比该第二基板大的第二支承部件的中央区域，在所述第一支承部件的支承所述第一基板的支承面一侧和所述第二支承部件的支承所述第二基板的支承面一侧中的至少一方，以包围所述第一基板或第二基板的方式，涂敷与所述基板用粘接剂相比固化前的粘接力更大的支承用粘接剂，在将由所述第一支承部件支承的所述第一基板和由所述第二支承部件支承的所述第二基板重叠时，利用所述支承用粘接剂将所述第一支承部件和第二支承部件贴合。2.如权利要求1所述的贴合基板的制造方法，其特征在于在所述基板用粘接剂固化后，在所述第一基板和第二基板与所述支承用粘接剂之间，将第一支承部件和第二支承部件切断。3.如权利要求1或2所述的贴合基板的制造方法，其特征在于在减压气氛下，利用支承用粘接剂将所述第一支承部件和第二支承部件贴合。4.如权利要求3所述的贴合基板的制造方法，其特征在于所述第一基板是显示模块基板，所述第二基板是彩色滤光片基板。5.一种贴合基板的制造方法，在将用于制造显示面板的、外周具有余白部的第一基板和第二基板通过基板用粘接剂重叠后，使该基板用粘接剂固化，由此制造贴合基板，该贴合基板的制造方法的特征在于将所述第二基板支承在外形尺寸比该第二基板大的支承部件的中央区域，在所述支承部件的支承所述第二基板的支承面一侧和所述第一基板的余白部的与所述第二基板重叠的面一侧中的至少一方，以包围所述第二基板的大小，涂敷与所述基板用粘接剂相比固化前的粘接力更大的支承用粘接剂，在将所述第一基板和第二基板重叠时，利用所述支承用粘接剂将所述支承部件和所述第一基板贴合。6.如权利要求5所述的贴合基板的制造方法，其特征在于在所述基板用粘接剂固化后，在所述第二基板与所述支承用粘接剂之间，将支承部件和所述第一基板切断。7.如权利要求5或6所述的贴合基板的制造方法，其特征在于在减压气氛下，利用支承用粘接剂将所述支承部件和所述第一基板贴合。8.如权利要求7所述的贴合基板的制造方法，其特征在于所述第一基板是显示模块基板，所述第二基板是彩色滤光片基板。9.一种贴合基板的制造装置，在将用于制造显示面板的第一基板和第二基板通过基板用粘接剂重叠后，使该基板用粘接剂固化，由此制造贴合基板，该贴合基板的制造装置的特征在于，包括第一基台，其支承外形尺寸比所述第一基板的外形尺寸大的第一支承部件，在该第一支承部件的中央区域支承所述第一基板；第二基台，其支承外形尺寸比所述第二基板的外形尺寸大的第二支承部件，在该第二支承部件的中央区域支承所述第二基板；驱动部，其使所述第一基台和第二基台在相对地接近或远离的方向上移动；和控制部，其控制驱动部，以使所述第一基台和第二基台接近地移动，由此在将所述第一基板和所述第二基板重叠时，利用以包围所述第一基板或第二基板的方式涂敷在所述第一支承部件的支承所述第一基板的支承面一侧和所述第二支承部件的支承所述第二基板的支承面一侧中的至少一方的、与所述基板用粘接剂相比固化前的粘接力更大的支承用粘接剂，将所述第一支承部件和第二支承部件贴合。10.如权利要求9所述的贴合基板的制造装置，其特征在于，包括切除装置，该切除装置在所述基板用粘接剂固化后，在所述第一基板和第二基板与所述支承用粘接剂之间，将所述第一支承部件和第二支承部件切断。11.如权利要求9或10所述的贴合基板的制造装置，其特征在于，包括能够减压的腔室，该腔室能够在减压气氛下，利用支承用粘接剂将所述第一支承部件和第二支承部件贴合。12.如权利要求11所述的贴合基板的制造装置，其特征在于所述第一支承部件和所述第二支承部件中的至少一方由柔性膜形成。13.如权利要求12所述的贴合基板的制造装置，其特征在于支承由所述柔性膜形成的支承部件的所述基台，在与该支承部件的涂敷支承用粘接剂的部分对应的部分，设置有高度比与该支承部件的其它部分对应的部分高的支承面。14.如权利要求13所述的贴合基板的制造装置，其特征在于所述第一基板是显示模块基板，所述第二基板是彩色滤光片基板。15.一种贴合基板的制造装置，在将用于制造显示面板的、外周具有余白部的第一基板和第二基板通过基板用粘接剂重叠后，使该基板用粘接剂固化，由此制造贴合基板，该贴合基板的制造装置的特征在于，包括支承所述第一基板的第一基台；第二基台，其支承外形尺寸比所述第二基板的外形尺寸大的支承部件，在该支承部件的中央区域支承所述第二基板；驱动部，其使所述第一基台和第二基台在相对地接近或远离的方向上移动；和贴合装置，其控制驱动部，以使所述第一基台和第二基台接近地移动，由此，在将所述第一基板和第二基板重叠时，利用以包围所述第二基板的大小涂敷在所述第一基板的余白部的与所述第二基板重叠的面一侧和所述支承部件的支承所述第二基板的支承面一侧中的至少一方的、与所述基板用粘接剂相比固化前的粘接力更大的支承用粘接剂，将所述支承部件和所述第一基板贴合。16.如权利要求15所述的贴合基板的制造装置，其特征在于，包括切除装置，该切除装置在所述基板用粘接剂固化后，在所述第二基板与所述支承用粘接剂之间，将支承部件和所述第一基板切断。17.如权利要求15或16所述的贴合基板的制造装置，其特征在于，包括能够减压的腔室，该腔室能够在减压气氛下，利用支承用粘接剂将所述支承部件和所述第一基板贴合。18.如权利要求17所述的贴合基板的制造装置，其特征在于所述支承部件由柔性膜形成。19.如权利要求18所述的贴合基板的制造装置，其特征在于所述第一基板是显示模块基板，所述第二基板是彩色滤光片基板。全文摘要本发明提供基板的贴合方法和装置。将用于制造显示面板的第一基板和第二基板对位并重叠后，使涂敷在这些基板之间的基板用粘接剂固化，由此在将这些基板贴合完后，能够提高这些基板的贴合位置精度。一种贴合基板的制造装置包括使第一基台和第二基台在相对地接近或远离的方向上移动的驱动部；和控制部，其控制驱动部，以使第一基台和第二基台接近移动，由此在将第一基板和第二基板重叠时，利用以包围第一基板或第二基板的方式涂敷在第一支承部件的支承第一基板的支承面一侧和第二支承部件的支承第二基板的支承面一侧的至少一方的、固化前的粘接力比基板用粘接剂的大的支承用粘接剂，将第一支承部件和第二支承部件贴合。文档编号B32B37/10GK102152598SQ2010106175公开日2011年8月17日申请日期2010年12月29日优先权日2009年12月29日发明者伊原一彦,增田浩一,牧野勉,高桥崇史申请人:芝浦机械电子装置股份有限公司