的Ar优选为苯环或萘环。
[0034] 作为碳原子数1~6的烷基，可举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、环丙基、正丁基、异 丁基、仲丁基、叔丁基、环丁基、1-甲基-环丙基、2-甲基-环丙基、正戊基、1-甲基-正丁基、2-甲基-正丁基、3-甲基-正丁基、1，1_二甲基-正丙基、1，2_二甲基-正丙基、2,2_二甲基-正丙 基、1-乙基-正丙基、环戊基、1-甲基-环丁基、2-甲基-环丁基、3-甲基-环丁基、1，2_二甲基-环丙基、2,3_二甲基-环丙基、1-乙基-环丙基、2-乙基-环丙基、正己基、1-甲基-正戊基、2-甲基-正戊基、3-甲基-正戊基、4-甲基-正戊基、1，1-二甲基-正丁基、1，2-二甲基-正丁基、 1，3-二甲基-正丁基、2,2-二甲基-正丁基、2,3-二甲基-正丁基、3,3-二甲基-正丁基、1-乙 基-正丁基、2-乙基-正丁基、1，1，2-三甲基-正丙基、1，2,2-三甲基-正丙基、1-乙基-1-甲 基-正丙基、1-乙基-2-甲基-正丙基、环己基、1-甲基-环戊基、2-甲基-环戊基、3-甲基-环戊 基、1-乙基-环丁基、2-乙基-环丁基、3-乙基-环丁基、1，2-二甲基-环丁基、1，3-二甲基-环 丁基、2，2-二甲基-环丁基、2，3-二甲基-环丁基、2，4-二甲基-环丁基、3，3-二甲基-环丁基、 1_正丙基_环丙基、2-正丙基-环丙基、1 -异丙基-环丙基、2-异丙基-环丙基、1，2,2 -二甲基-环丙基、1，2,3_二甲基-环丙基、2,2,3_二甲基-环丙基、1_乙基_2_甲基-环丙基、2_乙基-1-甲基-环丙基、2-乙基-2-甲基-环丙基和2-乙基-3-甲基-环丙基等。另外，上述也相当于碳 原子数1~6的烷硫基的烷基部分的例子。
[0035] 作为碳原子数3~6的烯基，可举出乙烯基、1-丙烯基、2-丙烯基、1-甲基-1-乙稀 基、1_丁烯基、2-丁烯基、3-丁烯基、2-甲基丙烯基、2 -甲基丙烯基、I-乙基乙烯基、1_ 甲基丙烯基、1-甲基-2-丙烯基、1_戊烯基、2_戊烯基、3_戊烯基、4_戊烯基、1_正丙基乙 烯基、I-甲基丁烯基、I-甲基-2_丁烯基、1_甲基_3_丁烯基、2_乙基_2_丙烯基、2_甲基-1-丁烯基、2_甲基_2_丁烯基、2_甲基_3_丁烯基、3_甲基-1-丁烯基、3_甲基_2_丁烯基、3_甲 基 _3_丁烯基、1，1_二甲基_2_丙烯基、1_异丙基乙烯基、1，2_二甲基-1-丙烯基、1，2_二甲 基-2-丙烯基、1-环戊烯基、2-环戊烯基、3-环戊烯基、1-己烯基、2-己烯基、3-己烯基、4-己 烯基、5_己烯基、1_甲基-1-戊烯基、1_甲基_2_戊烯基、1_甲基_3_戊烯基、1_甲基_4_戊稀 基、1 _正丁基乙烯基、2_甲基-1-戊烯基、2_甲基_2_戊烯基、2_甲基_3_戊烯基、2_甲基_4_戊 烯基、2_正丙基_2_丙烯基、3_甲基-1-戊烯基、3_甲基_2_戊烯基、3_甲基_3_戊烯基、3_甲 基 -4_戊烯基、3_乙基_3_丁烯基、4_甲基-1-戊烯基、4_甲基_2_戊烯基、4_甲基_3_戊烯基、 4-甲基_4_戊烯基、1，1_二甲基_2_ 丁烯基、1，1_二甲基_3_ 丁烯基、1，2_二甲基-1-丁烯基、 1，2_二甲基_2_ 丁烯基、1，2_二甲基_3_ 丁烯基、1-甲基_2_乙基_2_丙烯基、1-仲丁基乙稀 基、1，3_二甲基-1-丁烯基、1，3_二甲基_2_丁烯基、1，3_二甲基_3_丁烯基、1_异丁基乙稀 基、2，2_二甲基_3_丁烯基、2，3_二甲基-1-丁烯基、2，3_二甲基_2_丁烯基、2，3_二甲基_3_ 丁烯基、2_异丙基_2_丙烯基、3，3_二甲基-1-丁烯基、1_乙基-1-丁烯基、1_乙基_2_丁烯基、 1_乙基 _3-丁烯基、1-正丙基-1-丙烯基、1 -正丙基-2-丙烯基、2-乙基-1 -丁烯基、2-乙基-2-丁烯基、乙基_3_丁烯基、1，1，2_二甲基_2_丙烯基、1_叔丁基乙烯基、1_甲基-1-乙基_2_ 丙烯基、1_乙基 _2-甲基丙烯基、I-乙基甲基丙烯基、I-异丙基丙烯基、I-异丙 基-2_丙烯基、1_甲基_2_环戊烯基、1_甲基_3_环戊烯基、2_甲基-1-环戊烯基、2_甲基_2_环 戊烯基、甲基 _3_环戊烯基、2_甲基_4_环戊烯基、2_甲基_5_环戊烯基、2_亚甲基-环戊基、 3-甲基-1-环戊烯基、3-甲基-2-环戊烯基、3-甲基-3-环戊烯基、3-甲基-4-环戊烯基、3-甲 基-5-环戊烯基、3-亚甲基-环戊基、1-环己烯基、2-环己烯基和3-环己烯基等。
[0036]作为碳原子数1~6的烷氧基，可举出甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧 基、异丁氧基、仲丁氧基、叔丁氧基、正戊氧基、1-甲基-正丁氧基、2-甲基-正丁氧基、3-甲 基-正丁氧基、1，1-二甲基-正丙氧基、1，2-二甲基-正丙氧基、2,2-二甲基-正丙氧基、1-乙 基-正丙氧基、正己氧基、1-甲基-正戊氧基、2-甲基-正戊氧基、3-甲基-正戊氧基、4-甲基-正戊氧基、1，1-二甲基-正丁氧基、1，2-二甲基-正丁氧基、1，3-二甲基-正丁氧基、2，2-二甲 基-正丁氧基、2,3_二甲基-正丁氧基、3,3_二甲基-正丁氧基、1-乙基-正丁氧基、2-乙基-正 丁氧基、1，1，2_三甲基-正丙氧基、1，2,2_三甲基-正丙氧基、1-乙基-1-甲基-正丙氧基、以 及1-乙基-2-甲基-正丙氧基等。
[0037] 作为卤素基团，可举出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子。
[0038] 用于制造本发明的聚合物的含二环氧基的化合物(A)例如可以如下示例。
[0039]
[0040] 用于制造本发明的聚合物的含二羧基的化合物(Β)例如可以如下示例。
[0041]
[0042] 含二环氧基的化合物(Α)与含二羧基的化合物(Β)的反应是通过使用乙二醇单甲 基醚、乙二醇单乙基醚、甲基溶纤剂乙酸酯、乙基溶纤剂乙酸酯、二乙二醇单甲基醚、二乙二 醇单乙基醚、丙二醇、丙二醇单甲基醚、丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯、甲 苯、二甲苯、甲基乙基酮、环戊酮、环己酮、2-羟基丙酸乙酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、乙氧 基乙酸乙酯、羟基乙酸乙酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙 酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、 乳酸乙酯、乳酸丁酯等溶剂，在50~160°C、优选在70~130°C下进行1~50小时、优选为2~ 12小时的反应而获得的。此外，作为催化剂，可以添加苄基三乙基氯化铵、乙基三苯基溴化 磷等。
[0043] 通过含二环氧基的化合物(A)与含二羧基的化合物(B)的反应而获得的直链状聚 合物例如可以如下示例。
[0044]
[0045]
[0046]含二环氧基的化合物(A)与含二羧基的化合物(B)的反应可以以1:0.7~1.3、或1: 0.8~1.2的摩尔比进行反应。
[0047]上述聚合物可以是通过分别具有式（1)和式(2)所表示的结构的2种含二环氧基的 化合物(A)、与具有式(3)所表示的结构的含二羧基的化合物(B)的反应获得的聚合物。关于 分别具有式（1)和式(2)所表示的结构的2种含二环氧基的化合物，可以使式（1)所表示的结 构的含二环氧基的化合物:式(2)所表示的结构的含二环氧基的化合物以1:0.1~0.6、或1: 0.2~0.5的摩尔比进行反应。
[0048]此外，聚合物可以是通过具有式（1)所表示的结构的含二环氧基的化合物(A)、与 分别具有式(2)和式(3)所表示的结构的2种含二羧基的化合物(B)的反应获得的聚合物。可 以使式(2)所表示的结构的含二羧基的化合物:式(3)所表示的结构的含二羧基的化合物以 1:1~9、或1:2~7的摩尔比进行反应。
[0049]本发明的抗蚀剂下层膜形成用组合物还可以包含交联性化合物。作为那样的交联 性化合物，无特别限制，但是优选使用具有至少二个交联形成取代基的交联性化合物。可举 出例如，具有羟甲基、甲氧基甲基等交联形成取代基的三聚氰胺系化合物、取代脲系化合 物。具体而言，是甲氧基甲基化甘脲或甲氧基甲基化三聚氰胺等化合物，例如，四甲氧基甲 基甘脲、四丁氧基甲基甘脲、或六甲氧基甲基三聚氰胺。此外，还可举出四甲氧基甲基脲、四 丁氧基甲基脲等化合物。这些交联性化合物可以引起基于自缩合的交联反应。此外，可以与 本发明中聚合物中的羟基发生交联反应。而且，通过这样的交联反应，所形成的抗蚀剂下层 膜变得坚固。而且，成为在有机溶剂中的溶