技术总结
本发明实施例公开了一种镀膜设备，包括储料室、镀膜室和开关，所述储料室和镀膜室通过开关打开或关闭两者的连通，所述储料室内腔中存储待镀膜基材，所述储料室设有抽气口，所述抽气口处安装有真空泵，所述抽气口处靠近储料室内腔一侧安装有导流罩，所述导流罩设有进气口，所述抽气口与所述进气口连通形成气流通道，所述导流罩用于减少真空泵工作时气流与待镀膜基材的接触几率。采用本发明，具有减少待镀膜基材表面的粉尘数量的优点。
技术研发人员：邹政文;李晨光;胡国栋
受保护的技术使用者：南昌欧菲显示科技有限公司
文档号码：201611153995
技术研发日：2016.12.14
技术公布日：2017.05.24