技术总结
本发明公开了一种共掺杂DLC薄膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：（1）将分别经过丙酮、酒精、去离子水等严格清洗的玻璃衬底置于载物台上，载物台正对钨W、石墨C两靶材的焦点处。（2）W、C两靶材都分别成45°倾斜，都对准衬底。（3）氩离子轰击靶材，达到去除靶材表面杂质和活化靶材的作用。（4）通入氩气，使两靶材同时起辉，通过分别改变每个靶材的参数，达到制备高性能的W掺杂类金刚石薄膜。本发明通过改变每个靶材的工艺参数，可以根据实际需要制备不同掺杂量和不同性能的W掺杂DLC薄膜。
技术研发人员：沈洪雪;甘治平;李刚;姚婷婷;杨勇;金克武
受保护的技术使用者：蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司
文档号码：201611188594
技术研发日：2016.12.21
技术公布日：2017.05.31