技术特征:
技术总结
本发明提供了一种支撑件,包括本体,所述本体包括设于本体后部的装配部以及设于本体前部的头部,所述头部包括设于头部一侧表面并且与装配部相邻的凸起部以及设于头部前部的接触部,所述接触部与凸起部相邻的一侧表面形成接触面,所述头部的左右两端延伸至本体的左右两侧外,使本体形成T字形。本发明还提供了一种镀膜设备,在内侧防着板上设有所述的支撑件,所述本体通过装配部与内侧防着板固定,接触面与放置在托盘上的基板相对。本发明与现有技术相比,通过增加支撑件中与基板接触的接触面面积,使承受冲击力的表面积增加,这样能够使所受到的冲击力减小,从而降低破片率。
技术研发人员:王子彦
受保护的技术使用者:武汉华星光电技术有限公司
技术研发日:2017.06.20
技术公布日:2017.10.20