一种真空溅射镀膜装置的制作方法

文档序号:23292020发布日期:2020-12-15 08:31阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种真空溅射镀膜装置,包括一真空腔体以及间隔设置在该真空腔体内的a靶和b靶,a靶和b靶分别连接第一电源,其特征在于:b靶的等离子体的方向朝向a靶的表面,用于将b靶的材料沉积在a靶的表面上,a靶的等离子体的方向朝向基板,用于将a靶和b靶的材料沉积在基板上而形成薄膜层,还包括第一导电板,第一导电板设置在基板的远离a靶的另一侧,第一导电板连接第二电源的一输出端。

2.一种真空溅射镀膜装置,包括一真空腔体以及间隔设置在该真空腔体内的a靶和b靶,a靶和b靶分别连接第一电源,其特征在于:b靶的等离子体的方向朝向a靶的表面,用于将b靶的材料沉积在a靶的表面上,a靶的等离子体的方向朝向基板,用于将a靶和b靶的材料沉积在基板上而形成薄膜层,还包括第一导电板、第二导电板和第三导电板,第一导电板设置在基板的远离a靶的另一侧,第一导电板连接第二电源的一输出端,第二导电板位于a靶的远离b靶的一侧,第三导电板位于b靶的远离a靶的一侧,第二导电板和第三导电板分别连接第三电源的两输出端。

3.根据权利要求2所述的真空溅射镀膜装置,其特征在于:所述第二导电板和第三导电板均为金属板。

4.根据权利要求1或2所述的真空溅射镀膜装置,其特征在于:所述第一导电板为金属板。

5.根据权利要求1或2所述的真空溅射镀膜装置,其特征在于:所述a靶和b靶之间的距离可调节。

6.根据权利要求1或2所述的真空溅射镀膜装置,其特征在于:所述a靶和b靶都为旋转圆柱靶;或a靶为旋转圆柱靶而b靶为平面靶。

7.根据权利要求1或2所述的真空溅射镀膜装置,其特征在于:所述a靶表面的磁场强度与b靶表面的磁场强度不相等。

8.根据权利要求1或2所述的真空溅射镀膜装置,其特征在于:还包括一挡板,所述挡板阻挡在b靶与基板之间。

9.根据权利要求8所述的真空溅射镀膜装置,其特征在于:所述挡板与第二电源或第四电源的一输出端连接。

10.根据权利要求1或2所述的真空溅射镀膜装置,其特征在于:该真空溅射镀膜装置为水平构造或立式构造。


技术总结
本实用新型涉及真空镀膜技术领域。本实用新型公开了一种真空溅射镀膜装置,包括一真空腔体以及间隔设置在该真空腔体内的A靶和B靶,A靶和B靶分别连接第一电源,B靶的等离子体的方向朝向A靶的表面,A靶的等离子体的方向朝向基板,用于将A靶和B靶的材料沉积在基板上而形成薄膜层,还包括第一导电板,第一导电板设置在基板的远离A靶的另一侧,第一导电板连接第二电源的一输出端。本实用新型通过将B靶的等离子体朝向A靶的表面,A靶的等离子体朝向基板方向,这样B靶的材料就先沉积到A靶上,然后再和A靶的材料一起沉积到基板上,能够很容易实现多组分薄膜层的沉积,且可提高所沉积膜层的组分均匀性,可以用于各种不同材料的沉积。

技术研发人员:胡兴微;蒋玉东
受保护的技术使用者:四川猛犸半导体科技有限公司
技术研发日:2020.05.18
技术公布日:2020.12.15
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