1.一种真空溅射镀膜装置,包括一真空腔体以及间隔设置在该真空腔体内的a靶和b靶,a靶和b靶分别连接第一电源,其特征在于:b靶的等离子体的方向朝向a靶的表面,用于将b靶的材料沉积在a靶的表面上,a靶的等离子体的方向朝向基板,用于将a靶和b靶的材料沉积在基板上而形成薄膜层,还包括第一导电板,第一导电板设置在基板的远离a靶的另一侧,第一导电板连接第二电源的一输出端。
2.一种真空溅射镀膜装置,包括一真空腔体以及间隔设置在该真空腔体内的a靶和b靶,a靶和b靶分别连接第一电源,其特征在于:b靶的等离子体的方向朝向a靶的表面,用于将b靶的材料沉积在a靶的表面上,a靶的等离子体的方向朝向基板,用于将a靶和b靶的材料沉积在基板上而形成薄膜层,还包括第一导电板、第二导电板和第三导电板,第一导电板设置在基板的远离a靶的另一侧,第一导电板连接第二电源的一输出端,第二导电板位于a靶的远离b靶的一侧,第三导电板位于b靶的远离a靶的一侧,第二导电板和第三导电板分别连接第三电源的两输出端。
3.根据权利要求2所述的真空溅射镀膜装置,其特征在于:所述第二导电板和第三导电板均为金属板。
4.根据权利要求1或2所述的真空溅射镀膜装置,其特征在于:所述第一导电板为金属板。
5.根据权利要求1或2所述的真空溅射镀膜装置,其特征在于:所述a靶和b靶之间的距离可调节。
6.根据权利要求1或2所述的真空溅射镀膜装置,其特征在于:所述a靶和b靶都为旋转圆柱靶;或a靶为旋转圆柱靶而b靶为平面靶。
7.根据权利要求1或2所述的真空溅射镀膜装置,其特征在于:所述a靶表面的磁场强度与b靶表面的磁场强度不相等。
8.根据权利要求1或2所述的真空溅射镀膜装置,其特征在于:还包括一挡板,所述挡板阻挡在b靶与基板之间。
9.根据权利要求8所述的真空溅射镀膜装置,其特征在于:所述挡板与第二电源或第四电源的一输出端连接。
10.根据权利要求1或2所述的真空溅射镀膜装置,其特征在于:该真空溅射镀膜装置为水平构造或立式构造。