技术特征：
技术总结
本发明公开了一种ITO薄膜的制备方法，其包括：将ITO前驱体液涂覆在基体上，并经干燥处理而形成薄膜；将所述薄膜空气氛围退火，之后进行闪灯强脉冲光烧结处理。与空气退火后不进行闪灯烧结和不进行空气退火直接闪灯烧结的ITO薄膜相比，藉由本发明的方法可以显著提升ITO薄膜的电导，特别是使ITO薄膜在低温下有高的电导，同时还可显著改善ITO薄膜的形貌，并且本发明的方法无需真空、无需高温、简单易行，适用于低温下的应用。
技术研发人员：谢美兰;吴馨洲;邵霜霜;陈征;崔铮
受保护的技术使用者：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
技术研发日：2016.01.18
技术公布日：2017.07.25