共聚物、含有该共聚物的感光性树脂组合物及树脂膜的制作方法_2

文档序号:8547483阅读:来源:国知局
重复单元。
[0038] 作为(al)(甲基)丙烯酸羟基苯酯的具体例子,可以列举丙烯酸邻羟基苯酯、丙烯 酸间羟基苯酯、丙烯酸对羟基苯酯、甲基丙烯酸邻羟基苯酯、甲基丙烯酸间羟基苯酯、甲基 丙烯酸对羟基苯酯等。它们可以单独使用,也可以2种以上组合使用。另外,在它们之中, 优选甲基丙烯酸对羟基苯酯。
[0039]在共聚物[A]中,优选含有30mol%~90mol%的来自(al)(甲基)丙稀酸羟基苯 酯的重复单元,更加优选含有40mol%~80mol%。若来自(al)(甲基)丙烯酸羟基苯酯的 重复单元不足30mol %,则碱溶性可能会变得不足,另一方面,若超过90mol %,可能无法形 成良好的图案。
[0040] (a2)具有嵌段异氰酸酯基的不饱和化合物,容易通过使具有异氰酸酯基的不饱 和化合物与公知或众所周知的嵌段化剂反应,使异氰酸酯基进行嵌段而得到。作为具有异 氰酸酯基的不饱和化合物,可以列举(甲基)丙烯酸2-异氰基乙酯、异丙烯基-a,a-二 甲基苄基异氰酸酯等具有异氰酸酯基的烯类不饱和化合物。作为嵌段化剂,优选烷基酮肟 类、酚类、醇类、吡唑类、0 _二酮类及内酰胺类,更加优选烷基酮肟类、酚类、醇类及吡唑类, 最优选烷基酮肟类及吡唑类。作为具有嵌段异氰酸酯基的不饱和化合物的具体例子,可 以列举2-(0_[1' -甲基亚丙基氨基]羧基氨基)乙基丙烯酸酯、2-(0_[1' -甲基亚丙基氨 基]羧基氨基)乙基甲基丙烯酸酯、2-[(3, 5-二甲基吡唑基)羰基氨基]乙基丙烯酸酯、 2- [ (3, 5-二甲基吡唑基)羰基氨基]乙基甲基丙烯酸酯、2-[(邻苯二甲酰亚胺)羰基氨基] 乙基丙烯酸酯、2-[(邻苯二甲酰亚胺)羰基氨基]乙基甲基丙烯酸酯、2-[(琥珀酰亚胺) 羰基氨基]乙基丙烯酸酯、2-[(琥珀酰亚胺)羰基氨基]乙基甲基丙烯酸酯等异氰酸酯基 嵌段的(甲基)丙烯酸2-异氰基乙酯,2-(0-[1' -甲基亚丙基氨基]羧基氨基)3-异丙烯 基-a,a -二甲基苄酯、2- (0_[1' _甲基亚丙基氨基]羧基氨基)4-异丙烯基_ a,a _二甲 基苄酯、2_[(3,5_二甲基吡唑基)羰基氨基]3-异丙烯基-a,a-二甲基苄酯、2-[(3,5_二 甲基吡唑基)羰基氨基]4-异丙烯基-a,a -二甲基苄酯等异氰基酯基嵌段的异丙烯 基-a,a-二甲基苄基异氰酸酯。它们可以单独使用,也可以2种以上组合使用。另外,在 它们之中,从共聚性的角度考虑,优选异氰酸酯嵌段的(甲基)丙烯酸2-异氰基乙酯。
[0041] 在共聚物[A]中,优选含有lOmol%~70mol%的来自(a2)具有嵌段异氰酸酯基 的不饱和化合物的重复单元,更加优选含有20mol%~60mol%。若来自(a2)具有嵌段异 氰酸酯基的不饱和化合物的重复单元不足lOmol%,则耐热性、耐化学性及电性能可能会降 低,另一方面,若超过70mol %,则碱溶性可能会变得不足。
[0042] 共聚物[A]既可以是仅由(al)(甲基)丙烯酸羟基苯酯及(a2)具有嵌段异氰酸 酯基的不饱和化合物形成的共聚物,也可以是由(al)(甲基)丙烯酸羟基苯酯及(a2)具有 嵌段异氰酸酯基的不饱和化合物共聚得到、且作为共聚成分含有其他烯类不饱和化合物的 共聚物。作为其他不饱和化合物,可以列举例如丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、马来酸、富马 酸、柠康酸、中康酸、衣康酸、马来酸酐、富马酸酐、柠康酸酐、中康酸酐、衣康酸酐、苯甲酸乙 烯酯、(甲基)丙烯酸邻羧基苯酯、(甲基)丙烯酸间羧基苯酯、(甲基)丙烯酸对羧基苯 酯、邻羧苯基(甲基)丙烯酰胺、间羧苯基(甲基)丙烯酰胺、对羧苯基(甲基)丙烯酰胺、 琥珀酸单[2_(甲基)丙烯酰氧乙基]酯、邻苯二甲酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯、 羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯、5-羧基双环[2.2. 1]庚-2-烯、5, 6-二羧基双环 [2. 2. 1]庚-2-烯、5-羧基-5-甲基双环[2. 2. 1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基双环[2. 2. 1] 庚-2_條、5_幾基_6_甲基双环[2. 2. 1]庚_2_條、5_幾基_6_乙基双环[2. 2. 1]庚_2_條、 5, 6-二羧基双环[2. 2. 1]庚-2-烯酐、三环[5. 2. 1. 02'6]癸烷-8-基(甲基)丙烯酸酯、 三环[5. 2. 1. 02'6]癸烷-8-基氧基乙基(甲基)丙烯酸醋、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基) 丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲 基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸异癸酯、(甲基)丙烯酸正月桂酯、(甲基)丙 烯酸十三烷基酯、(甲基)丙烯酸正十八烷基酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸 2-甲基环己酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸羟甲酯、(甲基)丙烯酸2-羟乙 酯、(甲基)丙烯酸3-羟丙酯、(甲基)丙烯酸4-羟丁酯、二乙二醇单(甲基)丙烯酸酯、 (甲基)丙烯酸2, 3-二羟丙酯、2-(甲基)丙烯酰氧乙基糖苷、(甲基)丙烯酸苯醋、(甲 基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸邻甲氧基苯酯、(甲基)丙烯酸间甲氧基苯酯、(甲基)丙 烯酸对甲氧基苯酯、(甲基)丙烯酸3-甲基-4-羟基苯酯、(甲基)丙烯酸2-甲基-4-羟 基苯酯、(甲基)丙烯酸二甲基羟苯酯、马来酸二乙酯、富马酸二乙酯、衣康酸二乙酯、双环 [2. 2. 1]庚-2-烯、5-甲基双环[2. 2. 1]庚-2-烯、5-乙基双环[2. 2. 1]庚-2-烯、5-甲氧 基双环[2. 2. 1]庚-2-烯、5-乙氧基双环[2. 2. 1]庚-2-烯、5, 6-二甲氧基双环[2. 2. 1] 庚-2-烯、5, 6-二乙氧基双环[2. 2. 1]庚-2-烯、5-叔丁氧基羰基双环[2. 2. 1]庚-2-烯、 5-环己氧基羰基双环[2. 2. 1]庚-2-烯、5-苯氧基羰基双环[2. 2. 1]庚-2-烯、5, 6-二(叔 丁氧基羰基)双环[2. 2. 1]庚-2-烯、5, 6-二(环己氧基羰基)双环[2. 2. 1]庚-2-烯、 5-(2'_羟乙基)双环[2. 2. 1]庚-2-烯、5, 6-二羟基双环[2. 2. 1]庚-2-烯、5, 6-二(羟甲 基)双环[2. 2. 1]庚-2-烯、5, 6-二(2' -羟乙基)双环[2. 2. 1]庚-2-烯、5-羟基-5-甲 基双环[2. 2. 1]庚-2-烯、5-羟基-5-乙基双环[2. 2. 1]庚-2-烯、5-羟甲基-5-甲基双 环[2. 2. 1]庚-2-烯、苯乙烯、a -甲基苯乙烯、邻甲基苯乙烯、间甲基苯乙烯、对甲基苯乙 烯、邻甲氧基苯乙烯、间甲氧基苯乙烯、对甲氧基苯乙烯、1,3-丁二烯、异戊二烯、2, 3-二甲 基-1,3-丁二烯、丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、乙酸 乙烯酯、邻羟苯基(甲基)丙烯酰胺、间羟苯基(甲基)丙烯酰胺、对羟苯基(甲基)丙烯 酰胺、3, 5-二甲基-4-羟基苄基(甲基)丙烯酰胺、苯基马来酰亚胺、羟基苯基马来酰亚胺、 环己基马来酰亚胺、苄基马来酰亚胺、三氟甲基(甲基)丙烯酸酯等。它们可以单独使用, 也可以2种以上组合使用。为了调节透明性、耐热性、贴附性、耐试剂性、电性能、折射率、涂 布性、显影性、保存稳定性、机械强度等,可以在不对各特性造成不良影响的范围内,以任意 比例使用这些不饱和化合物。
[0043] 本发明的共聚物的重均分子量(Mw)以聚苯乙烯换算优选为1500~50000,更加优 选为2000~20000。若重均分子量不足1500,则可能会无法得到平坦的树脂膜,显影后的 残膜率可能会下降,还可能会导致所得到的树脂膜的图案形状及耐热性劣化,另一方面,若 重均分子量超过50000,则灵敏度可能会下降,且图案形状可能会劣化。
[0044] 此外,本发明的共聚物的分子量的值通过下述方式计算:使用凝胶渗透色谱 (GPC)以下列条件进行测定,通过聚苯乙烯换算算出。以从GPC启动开始的时间至21分钟 作为计算范围,计算重均分子量及分子量分布。
[0045] 柱:昭和电工(Shodex,注册商标)KF-801+KF-802+KF-802+KF-803
[0046]柱温:4(TC
[0047] 淋洗液:四氢呋喃
[0048] 检测器:差示折射计(昭和电工(注册商标)RI-1
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