01)
[0049] 流速：lmL/分钟
[0050] 用于获得本发明的共聚物的共聚反应没有特别的限制，可以列举自由基聚合、阳 离子聚合、阴离子聚合、配位阴离子聚合等。具体而言，在以（al)(甲基）丙烯酸羟基苯 酯及（a2)具有嵌段异氰酸酯基的不饱和化合物为必要成分、且根据需要优选总计以10质 量％~60质量％的范围含有其他不饱和化合物的反应溶剂中，可以使用聚合引发剂进行 聚合。分子量的调整可以通过调整反应溶剂的使用量、引发剂的使用量和聚合温度来实现。 另外，分子量的调整也可以通过使用以硫醇类为代表的链转移剂来实现。
[0051]作为反应溶剂的具体例子，可以列举甲醇、乙醇、1-丙醇、异丙醇、丁醇、乙二醇、丙 酮、甲基乙基酮、甲基异丁基酮、四氢呋喃、二噁烷、甲苯、二甲苯、乙酸乙酯、乙酸异丙酯、乙 酸正丙酯、乙酸丁酯、乙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、乙二醇单乙醚乙酸酯、乙 酸3-甲氧基丁酯等乙酸甲氧基丁酯、乙二醇单丁基醚乙酸酯、二乙二醇单乙醚乙酸酯、二 乙二醇单丁醚乙酸酯、丙二醇单甲醚、乙二醇单醚、3-甲氧基丁醇、二乙二醇单乙醚、二乙二 醇单丁醚、二甲基亚砜、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、乳酸乙酯、二乙二醇乙基甲基醚、二 乙二醇二甲醚、甲氧基丙酸甲酯、乙氧基丙酸乙酯等。
[0052] 作为聚合引发剂，可以列举例如：2, 2' -偶氮二（2, 4-二甲基戊腈）、2, 2' -偶氮 二（2-丁腈）、2, 2'-偶氮二异丁腈、二甲基-2, 2'-偶氮二异丁酯、1，1'_偶氮二（环己 烷-1-腈）等偶氮引发剂，或者过氧化苯甲酰、月桂基过氧化物、过氧化辛酰、过氧化乙酰、 二叔丁基过氧化物、叔丁基枯基过氧化物、二枯基过氧化物、叔丁基过氧乙酸酯、叔丁基过 氧苯甲酸酯等有机过氧化物。
[0053] 在本发明的感光性树脂组合物中，作为必要成分含有的具有醌二叠氮基的化合物 [B]为感光剂，只要是具有醌二叠氮基的化合物则没有特别的限定。优选可以列举例如：能 够通过酚类化合物或醇类化合物与1，2-萘醌二叠氮磺酸卤化物缩合而得到的酯。其中，从 感光性及树脂膜的透明性的角度考虑，相对于酚类化合物或醇类化合物中的羟基，更加优 选使相当于30~85mol %的1，2-萘醌二叠氮磺酸卤化物缩合而成的酯，最优选使相当于 50~70mol %的1，2-萘醌二叠氮磺酸卤化物缩合而成的酯。作为该酚类化合物或醇类化合 物的具体例子，可以列举2, 3, 4-三羟基二苯甲酮、2, 4, 6-三羟基二苯甲酮、2, 2'，4, 4' -四 羟基二苯甲酮、2, 3, 4, 3' -四羟基二苯甲酮、2, 3, 4, 4' -四羟基二苯甲酮、2, 3, 4, 2' -四羟 基-4'-甲基二苯甲酮、2, 3, 4, 4'-四羟基-3'-甲氧基二苯甲酮、2, 3, 4, 2'，6'-五羟基 二苯甲酮、2, 4, 6, 3'，4'，5'-六羟基二苯甲酮、3, 4, 5, 3'，4'，5'-六羟基二苯甲酮、2-甲 基-2-(2,4-二羟基苯基）-4-(4_羟基苯基）-7_羟基色满、2-[双{(5-异丙基-4-羟 基-2-甲基）苯基}甲基]苯酚、1-[1-(3-{1-(4_羟基苯基）-1_甲基乙基}-4,6_二羟基 苯基）-1-甲基乙基]-3- (1- (3- {1- (4-羟基苯基）-1-甲基乙基} -4, 6-二羟基苯基）-1-甲 基乙基）苯、4,6-双{1-(4-羟基苯基）-1-甲基乙基}-1，3-苯二酚双（2,4-二羟基苯 基）甲烷、双（对羟基苯基）甲烷、三（对羟基苯基）甲烷、1，1，1-三（对羟基苯基）乙 烷、双（2, 3, 4-羟基苯基）甲烷、2, 2-双（2, 3, 4-三羟基苯基）丙烷、1，1，3_三（2, 5-二甲 基_4-羟基苯基）苯基丙烷、I-[I-(4 -羟基苯基）异丙基][1，I-双（4-羟基苯基） 乙基]苯、双（2, 5-二甲基-4-羟基苯基）-2-羟基苯基甲烷、3, 3, 3'，3'-四甲基-1，1'-螺 二茚-5, 6, 7, 5'，6'，7' -己醇、2, 2, 4-三甲基-7, 2'，4' -三羟基黄烷等。它们可以单独使 用，也可以2种以上组合使用。作为具有醌二叠氮基的化合物[B]，优选1-[1-(4_羟基苯 基）异丙基]_4_[1，1-双（4-羟基苯基）乙基]苯的1，2-萘醌二叠氮磺酸酯。
[0054] 在本发明的感光性树脂组合物中，相对于100质量份共聚物[A](固相组分），具有 醌二叠氮基的化合物[B]的添加量优选为5质量份~60质量份，更加优选为10质量份~ 50质量份。若具有醌二叠氮基的化合物[B]的添加量不足5质量份，则可能会导致显影不 佳，另一方面，若超过60质量份，则可能会导致显影不佳，还会使树脂膜的透明性、绝缘性 及平坦性变差。
[0055] 本发明的感光性树脂组合物虽然含有共聚物[A]及具有醌二叠氮基的化合物[B] 作为必要成分，但在不损害本发明的效果的范围内，根据需要，可以含有紫外线吸收剂、增 感剂、增感助剂、增塑剂、增稠剂、有机溶剂、分散剂、消泡剂、表面活性剂、贴附性助剂、热敏 性产酸化合物、与共聚物[A]及具有醌二叠氮基的化合物[B]交联反应得到的化合物。
[0056] 另外，本发明的感光性树脂组合物是通过将共聚物[A]及具有醌二叠氮基的化合 物[B]、以及如上所述的可任意添加的其他成分均匀混合而制备的，能够以溶解于适当的溶 剂中以溶液状态使用。
[0057] 作为溶剂，可以使用使共聚物[A]及具有醌二叠氮基的化合物[B]、以及可任意添 加的其他成分均匀溶解而不与各成分反应的溶剂，可以列举与上述的作为能够用于制备共 聚物[A]的溶剂所例示的相同的溶剂。其中，考虑到各成分的溶解性、与各成分的反应性、 涂膜形成的容易程度等方面，可以优选使用二乙二醇乙基甲基醚、二乙二醇二甲醚、丙二醇 单甲醚、丙二醇单甲醚乙酸酯、甲氧基丁基乙酸酯、甲氧基丙酸甲酯及乙氧基丙酸乙酯。另 外，为了提高膜厚在面内的均匀性，可以与这些溶剂一同使用N-甲基吡咯烷酮、y-丁内 酯、N，N-二甲基乙酰胺等高沸点溶剂。
[0058] 以溶液状态配制本发明的感光性树脂组合物时，相对于共聚物[A](固相组分）及 具有醌二叠氮基的化合物[B]、以及可任意添加的其他成分的总量100质量份，能够以30质 量份~4000质量份、优选为50质量份~3000质量份添加上述溶剂（可以单独使用，也可 以2种以上组合使用）。
[0059] 由于本发明的感光性树脂组合物的涂布性、显影性、固化性及保存稳定性良好，通 过使用该感光性树脂组合物，能够形成透明性、耐热变色性及电性能优异的树脂膜。该树脂 膜能够适用于形成电子部件的保护膜、平坦化膜或者层间绝缘膜，以及形成微透镜或微透 镜阵列，形成液晶显示元件的光扩散反射膜、取向控制用突起或间隔，形成滤色器或光波导 路。
[0060] 下面对使用了本发明的感光性树脂组合物的树脂膜的形成方法进行说明。首先， 在玻璃基板、硅片、以及在它们的表面上形成有各种金属的基板上，涂布本发明的感光性树 脂组合物，使其干燥，形成辐射敏感性树脂膜。作为感光性树脂组合物的涂布方法，没有特 别的限制，可以列举喷涂法、辊涂法、旋涂法、棒涂法、狭缝涂布法等适当的方法。干燥条件 根据各成分的种类、使用比例等而有所不同，但是可以设为在60°c~110°C下进行30秒~ 30分钟左右。
[0061] 接着，在所形成的树脂膜上，隔着具有特定图案的掩膜，用放射线照射后，通过使 用显影液进行显影处理，可以进行图案的形成。作为此时使用的放射线，可以列举例如g 线（波长为436nm)、i线（波长为365nm)、KrF准分子激光、ArF准分子激光、X射线、电子 束等，作为其光源，可以列举低压汞灯、高压汞灯、超高压汞灯、化学灯、准分子激光发生装 置等。作为用于显影处理的显影液，可以使用例如氢氧化钠、氢氧化钾、硅酸钠、偏硅酸钠、 氨、乙胺、正丙胺、二乙胺、二乙氨基乙醇、二正丙胺、三乙胺、甲基二乙胺、二甲基乙醇胺、 三乙醇胺、四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、吡咯、哌啶、1，8-二氮杂双环[5, 4, 0]-十一 碳-7-烯、1，5-二氮杂双环[4, 3, 0]-壬-5-烯等碱（碱性化合物）的水溶液。此外，可以 将在所述碱的水溶液中适量添加有甲醇、乙醇等水溶性有