共聚物、含有该共聚物的感光性树脂组合物及树脂膜的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种感光性树脂组合物，具体地，涉及一种感光性树脂组合物，其适宜 形成液晶显示元件、集成电路元件、固态摄像元件等电子部件的保护膜、平坦化膜或者层间 绝缘膜，适宜形成微透镜或微透镜阵列，适宜形成液晶显示元件的光扩散反射膜、取向控制 用突起或间隔，适宜形成滤色器或者适宜形成光波导路。
【背景技术】
[0002] 以往，在形成用于防止TFT型液晶显示元件、磁头元件、集成电路元件、固态摄像 元件等电子部件的劣化或损伤的保护膜，或者形成用于使配置为层状的布线之间绝缘的层 间绝缘膜时，一直以来使用感光性树脂组合物。其中，在液晶显示元件的情况下，由于是通 过在层间绝缘膜上形成ITO等透明导电线路层，并进一步在上面形成液晶取向膜的工序而 制造的，因此层间绝缘膜在透明电极膜的形成工序中会暴露于高温条件下，还会暴露于在 形成电极图案中使用的抗蚀剂剥离液中，因此需要对它们具有充分的抗性。因此，对于形成 层间绝缘膜的感光性树脂组合物，需要能够形成显影性优异、且透明性、耐热性、平坦性、贝占 附性、耐化学性和电性能优异的树脂膜。
[0003] 另一方面，作为传真机、电子复印机、固态摄像元件等芯片上滤色器（on-chip colour filter)的成像光学系统、或者光纤连接器的光学系统的材料，使用了具有3~ 100 y m左右的透镜直径的微透镜、或者使这些微透镜规则排列而成的微透镜阵列。其中，对 于在数码相机等中使用的CCD元件，近年来，在提高像素数的同时更加微细化，使得每1个 CCD元件的光接收区减少。因此，作为提高光接收量的手段，尝试了在CCD元件上形成凸透 镜状的微透镜的方法。作为用于CCD元件的微透镜，已知使光致抗蚀膜曝光、显影而形成凹 凸图案，通过以玻璃化转变点以上的温度加热该凹凸图案而使其流动，利用表面张力形成 半球状的微透镜的方法。因此，作为形成微透镜的感光性树脂组合物，需要优异的显影性、 透明性、熔体流动性及耐热性，从集光度的角度考虑，需要高折射率。
[0004] 作为上述感光性树脂组合物，例如，在专利文献1中记载了一种感光性树脂组合 物，其含有（a)不饱和羧酸与具有环氧基的聚合性不饱和化合物的共聚物、(b)不饱和羧酸 与其他单烯烃类不饱和化合物的共聚物、（c)具有醌二叠氮基的化合物、以及（d)有机溶 剂。另外，在专利文献2中记载了一种感光性树脂组合物，其含有（a)不饱和羧酸与具有环 氧基的聚合性不饱和化合物的共聚物、（b)苯乙烯类与不饱和羧酸的共聚物、（c)具有醌二 叠氮基的化合物、以及（d)有机溶剂。
[0005] 在专利文献3中记载了一种辐射敏感性树脂组合物，其含有[A]不饱和羧酸与具 有环氧基的不饱和化合物以及其他烯烃类不饱和化合物的共聚物、以及[B]特定的酚类化 合物与1，2-萘醌二叠氮磺酸卤化物的缩合物。
[0006] 另外，在专利文献4及5中记载了一种感光性树脂组合物，其含有不饱和羧酸与脂 环式具有环氧基的不饱和化合物的共聚物、以及1，2-萘醌二叠氮磺酸酯。
[0007] 上述现有的感光性树脂的共通之处在于，都使用了甲基丙烯酸等不饱和羧酸作为 显现碱溶性的成分。但是，这些感光性树脂也具有如下问题，由于它们与具有酚羟基的物质 相比，酸度高，除了显影性的管理困难之外，与环氧基的反应性优异的另一面，其显影边界 (development margin)及保存稳定性不充分。此问题虽然通过作为部分共聚成分而使用单 烯烃类不饱和化合物而得到改善，但由于其是形成浮垢的原因，因此不足以构成解决手段。
[0008] 另外，在专利文献6中记载了一种感光性树脂组合物，其含有（A)羟基苯乙烯与甲 基丙烯酸甲酯的共聚物、(B)具有醌二叠氮基的化合物、以及（C)热固性树脂。该树脂组合 物特征在于，使用羟基苯乙烯作为显现碱溶性的成分。但是，虽然该感光性树脂组合物由于 具有酚羟基，作为解决上述问题点是有效的，但存在因加热而着色的缺陷。
[0009] 另外，在专利文献7中记载了一种感光性树脂组合物，其含有作为聚合成分含有 羟基苯基（甲基）丙烯酸酯和具有环氧基的不饱和化合物的共聚物、具有醌二叠氮基的化 合物。尽管该感光性树脂组合物是为了能够克服上述感光性树脂组合物所具有的技术问题 而开发出来的，但其电性能和耐热变色性不足。
[0010] 现有技术文献
[0011] 专利文献
[0012] 专利文献1 :特开第2003-330180号公报
[0013] 特许文献2 :特开第2005-107314号公报
[0014] 特许文献3 :特开第2004-170566号公报
[0015] 特许文献4 :特开第2003-76012号公报
[0016] 特许文献5 :特开第2005-49691号公报
[0017] 特许文献6 :特开平5-158232号公报
[0018] 特许文献7 :特开第2007-33518号公报
【发明内容】
[0019] 本发明要解决的技术问题
[0020] 鉴于上述情况，本发明的目的在于提供一种透明性、耐热变色性及电性能优异，且 涂布性、显影性、固化性及保存稳定性良好的感光性树脂组合物，以及提供一种用于显现这 些特性的共聚物。
[0021] 解决技术问题的技术手段
[0022] 本发明的发明人等为了达到上述目的而进行了深入研宄，结果发现含有来自（甲 基）丙烯酸羟基苯酯的重复单元和来自具有嵌段异氰酸酯基的不饱和化合物的重复单元 的共聚物可实现上述目的，从而完成了本发明。
[0023] 即，本发明如以下[1]~[9]所示。
[0024] [1]一种共聚物，其特征在于，含有来自（甲基）丙烯酸羟基苯酯的重复单元和来 自具有嵌段异氰酸酯基的不饱和化合物的重复单元。
[0025] [2]根据[1]所述的共聚物，其特征在于，含有30mol%~90mol%的所述来自（甲 基）丙烯酸羟基苯酯的重复单元和lOmol%~70mol%的所述来自具有嵌段异氰酸酯基的 不饱和化合物的重复单元。
[0026] [3]根据[1]或[2]所述的共聚物，其特征在于，所述具有嵌段异氰酸酯基的不饱 和化合物为嵌段（甲基）丙稀酸2-异氰基乙醋（2-isocyanatoethyl methacrylate)。
[0027] [4]根据[1]至[3]中任一项所述的共聚物，其特征在于，所述嵌段是由甲基乙基 酮肟引起的嵌段。
[0028] [5]根据[1]至[4]中任一项所述的共聚物，其特征在于，所述具有嵌段异氰酸酯 基的不饱和化合物为2-(0_[1'-甲基亚丙基氨基]羧基氨基）乙基（甲基）丙烯酸酯。
[0029] [6]-种感光性树脂组合物，其特征在于，含有根据[1]至[5]中任一项所述的共 聚物、及具有醌二叠氮基的化合物。
[0030] [7]根据[6]所述的感光性树脂组合物，其特征在于，相对于100质量份的所述共 聚物，其含有5~60质量份所述具有醌二叠氮基的化合物。
[0031] [8]根据[6]或[7]所述的感光性树脂组合物，其特征在于，相对于溶剂以外的成 分的总量100质量份，其含有30~4000质量份的溶剂。
[0032] [9]一种树脂膜，其特征在于，将[6]至[8]中任一项所述的感光性树脂组合物涂 布到基板上，进行干燥而得到。
[0033] 发明效果
[0034]根据本发明，能够提供一种透明性、耐热变色性及电性能优异，且涂布性、显影性、 固化性及保存稳定性良好的感光性树脂组合物，并且能够提供一种用于显现这些特性的共 聚物。
【具体实施方式】
[0035] 下面对本发明的感光性树脂组合物进行详细的说明。
[0036]此外，在说明书和权利要求的范围内，（甲基）丙烯酸酯是指甲基丙烯酸酯或丙烯 酸酯。
[0037]在本发明的感光性树脂组合物中，作为必要成分含有的共聚物[A]包括：来自 (al)(甲基）丙烯酸羟基苯酯的重复单元和来自（a2)具有嵌段异氰酸酯基的不饱和化合物 的